有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機械手,。具體地,，該機械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出,。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室,。機械手配置在該傳送室內(nèi),。利用機械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動。傳送室相當(dāng)于小的無塵室,。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓,。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔。另外，傳送室內(nèi)有時被保持為真空,。要求使在傳送室內(nèi)工作的機械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法,。根據(jù)機械手運動和工作的要求，如管路,、冷卻裝置,、行程定位裝置和自動檢測裝置等.肇慶官方晶圓運送機械吸臂設(shè)計

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機,、所述的一級關(guān)節(jié),、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動,。

金山區(qū)官方晶圓運送機械吸臂新報價合理選擇機械手的坐標形式,。直角坐標式機械手的位置精度較高，其結(jié)構(gòu)和運動都比較簡單,、誤差也小,。

可選地，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端,、所述第二支板遠離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地，所述表面為平面,。

另外,，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂,。

在本實用新型的技術(shù)方案中,，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,，本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚,。

2．噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上,，重復(fù)位姿精度要求不高,。但由于漆霧易燃,，一般采用液壓驅(qū)動或交流伺服電機驅(qū)動。3．焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂,，它又可分為點焊和弧焊兩類,。點焊機械臂負荷大基本介紹當(dāng)提到機械人時，許多人會想到有手,，有腳的人型機械.不過,， 這類機械人往往出現(xiàn)在科幻電影，***所,，展覽會和玩具店中,，它們與工業(yè)用的機械人大不相同. 工業(yè)機械人（Industrial Robots）簡稱為IR，它們大多為簡單的操作設(shè)備,，有時會被稱為機械臂,，例如：進行簡單的提起或放下動作，在機器內(nèi)放入或取出工件等.不過,，亦有不少工業(yè)機械人可以完全用程式控制,，并可進行不同類型工作,，此外，對于熱加工的機械手,，還要考慮熱輻射,，手臂要較長，以遠離熱源,，并須裝有冷卻裝置,。

與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,，其響應(yīng)快速而準確,，有著很多潛在的優(yōu)點，在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位,。隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。傳統(tǒng)的多剛體動力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求,。柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng)，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 手臂就要產(chǎn)生振動,，或動作時工件卡死無法工作。福建庫存晶圓運送機械吸臂維修

盡管它們的形態(tài)各有不同,，但它們都有一個共同的特點,，就是能夠接受指令.肇慶官方晶圓運送機械吸臂設(shè)計

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