多功能一體化機(jī)械臂,，包括機(jī)械臂主體,，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座,、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機(jī)械臂,，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，本機(jī)械臂*由底座,、前臂和后臂構(gòu)成的，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),，且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小,，廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低，同時(shí)工人在使用時(shí),，移動(dòng)較為方便,，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細(xì)不會(huì)真空腔體開(kāi)口于所述鋁合金平板上表面.徐匯區(qū)進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

2．噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上,，重復(fù)位姿精度要求不高,。但由于漆霧易燃，一般采用液壓驅(qū)動(dòng)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),。3．焊接機(jī)械臂 這是目前使用**多的一類(lèi)機(jī)械臂,，它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類(lèi)。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時(shí)，許多人會(huì)想到有手,，有腳的人型機(jī)械.不過(guò)， 這類(lèi)機(jī)械人往往出現(xiàn)在科幻電影,，***所,，展覽會(huì)和玩具店中，它們與工業(yè)用的機(jī)械人大不相同. 工業(yè)機(jī)械人（Industrial Robots）簡(jiǎn)稱(chēng)為IR,，它們大多為簡(jiǎn)單的操作設(shè)備,，有時(shí)會(huì)被稱(chēng)為機(jī)械臂，例如：進(jìn)行簡(jiǎn)單的提起或放下動(dòng)作,，在機(jī)器內(nèi)放入或取出工件等.不過(guò),，亦有不少工業(yè)機(jī)械人可以完全用程式控制，并可進(jìn)行不同類(lèi)型工作,，徐匯區(qū)正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人手臂由靜止?fàn)顟B(tài)達(dá)到正常的運(yùn)動(dòng)速度為啟動(dòng),，由常速減到停止不動(dòng)為制動(dòng)，速度的變化過(guò)程為速度特性曲線,。

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手,。具體地，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber）,，或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出,。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi),。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動(dòng),。傳送室相當(dāng)于小的無(wú)塵室。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓,。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔,。另外，傳送室內(nèi)有時(shí)被保持為真空,。要求使在傳送室內(nèi)工作的機(jī)械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法,。

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素,。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性,。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類(lèi)晶圓搬運(yùn)機(jī)械手：大氣機(jī)械手（FI robot) 和真空機(jī)械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求,，控制精度要求相對(duì)較低。后者將晶圓從預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上取下，搬運(yùn)到各個(gè)工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工,，并將加工完的晶圓搬運(yùn)到接口位置,，等待大氣機(jī)械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,，機(jī)械手必須要完全滿足真空潔凈度要求,，控制精度和可靠性要求極高。主要代替人工從事場(chǎng)景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型,、重復(fù)性高的動(dòng)作,。

機(jī)械臂是指高精度，多輸入多輸出,、高度非線性,、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng)。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。機(jī)械臂是一個(gè)復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動(dòng),、外界干擾及未建模動(dòng)態(tài)等不確定性。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性,，對(duì)于不同的任務(wù), 需要規(guī)劃?rùn)C(jī)械臂關(guān)節(jié)空間的運(yùn)動(dòng)軌跡,，從而級(jí)聯(lián)構(gòu)成末端位姿 [1]  。機(jī)器人系統(tǒng)是由視覺(jué)傳感器,、機(jī)械臂系統(tǒng)及主控計(jì)算機(jī)組成,，其中機(jī)械臂系統(tǒng)又包括模塊化機(jī)械臂和靈巧手兩部分。整個(gè)系統(tǒng)的構(gòu)建模型如圖1 所示．此外,，對(duì)于熱加工的機(jī)械手,，還要考慮熱輻射，手臂要較長(zhǎng),，以遠(yuǎn)離熱源,，并須裝有冷卻裝置。陽(yáng)江官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格優(yōu)惠

工業(yè)機(jī)械臂的工作原理,。徐匯區(qū)進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座,，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。 徐匯區(qū)進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

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