機械臂的工作原理：

一般機構(gòu)可由電力,、液壓,、氣動,、人力驅(qū)動,。機構(gòu)有螺紋頂緊機構(gòu)（如臺虎鉗）,、斜鍥壓緊,、

導(dǎo)桿滑塊機構(gòu)（破碎機常用）,、利用重力的自鎖機構(gòu)（如抓磚頭的）等等,。還有簡單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品,，可直接購買FESTO等公司的氣動手指,。

底座是用來安裝和固定機器的。

油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的,。

升降位置檢測器,，要么是確定物體或機器部件是否位于某幾個預(yù)定高度位置，要么是實時檢測其高度的,。

手臂回轉(zhuǎn)升降機構(gòu)就是機械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的,。

手臂伸縮機構(gòu)是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器，只是測量對象換了,。

機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能,，用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置,。 柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學系統(tǒng),，其動力學方程具有非線性、強耦合,、實變等特點,。長寧區(qū)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家

研究背景近年來，隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度,、高精度、 高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以,，機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,，實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學特性。柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學系統(tǒng),，其動力學方程具有非線性, 強耦合, 實變等特點,。而進行柔性臂動力學問題的研究，其模型的建立是極其重要的,。柔性機械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，而且也是系統(tǒng)動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng)。動力學建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù),。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關(guān),。黃浦區(qū)直銷晶圓運送機械吸臂企業(yè)直角坐標系機械手臂,，球坐標系機械手臂，極坐標機械手臂.

多功能一體化機械臂，包括機械臂主體,，所述機械臂主體由設(shè)置在該機械臂主體底部的底座,、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機械臂,，改進了原有產(chǎn)品的缺點,，本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅(qū)動充足的特點,，本機械臂*由底座,、前臂和后臂構(gòu)成的，實現(xiàn)了占地面積小的特點,，且在生產(chǎn)過程中由于體積較小,，廠家生產(chǎn)成本費較低，同時工人在使用時,，移動較為方便,，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,，實現(xiàn)了本新型機械臂驅(qū)動充足的特點,，在使用過程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細不會

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,，在傳送的過程中,，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè),。

進行光刻：

將設(shè)計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下,，然后再在它的下面放置Wafer,，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,，刻上了電路圖,。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,，然后進行再次光刻,。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻。而隨著技術(shù)革新,，極紫光刻出現(xiàn)了,，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成,。

注射：

在真空下,，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍,。 手臂,。起著連接和承受外力的作用。黃浦區(qū)直銷晶圓運送機械吸臂企業(yè)

單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用***,。長寧區(qū)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構(gòu)造模塊,。TO-DOM由兩個旋轉(zhuǎn)模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據(jù)空間機械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設(shè)計,即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié),。由這樣數(shù)個不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個自由度的空間機器臂,。采用一體化概念設(shè)計的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過對由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進行的試驗初步驗證了TODOM設(shè)計概念的合理性及可行性,。長寧區(qū)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家

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