本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂,、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。

手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧,，才能做手臂運(yùn)動(dòng)輕快,、靈活。珠海庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

例如：尋找,，運(yùn)輸,，握取，對(duì)準(zhǔn),，裝配,，檢驗(yàn)等動(dòng)作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人，美國(guó)機(jī)械人協(xié)會(huì)在1979年將機(jī)械人定義為一個(gè)可用程式控制,，多功能的操作器,，它透過(guò)程式控制和多變化的動(dòng)作設(shè)計(jì)來(lái)移動(dòng)材料，工件,，工具或特別設(shè)備,，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài),，但只要它們符合機(jī)械人的定義,，便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi)，但估計(jì)在不久將來(lái)還會(huì)有數(shù)以十萬(wàn)計(jì)的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時(shí),，不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺和感覺,，令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問稱為機(jī)械人學(xué)。東莞庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場(chǎng)價(jià)注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手,、塑料機(jī)機(jī)械手,。

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素,。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性,。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運(yùn)機(jī)械手：大氣機(jī)械手（FI robot) 和真空機(jī)械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求,，控制精度要求相對(duì)較低。后者將晶圓從預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上取下，搬運(yùn)到各個(gè)工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工,，并將加工完的晶圓搬運(yùn)到接口位置,，等待大氣機(jī)械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,，機(jī)械手必須要完全滿足真空潔凈度要求,，控制精度和可靠性要求極高,。

場(chǎng)景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán),，場(chǎng)景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來(lái)的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景,，即無(wú)法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,，這對(duì)它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢,？它的應(yīng)用特點(diǎn)十分明顯,，主要代替人工從事場(chǎng)景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動(dòng)作,。如果工作場(chǎng)景符合上述兩個(gè)特點(diǎn),，機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。

機(jī)械手臂應(yīng)用場(chǎng)景多在制造業(yè),，有重工業(yè)屬性,，如金屬加工、拋光打磨,、裝配,、機(jī)床上下料、碼垛/搬運(yùn),、橡膠/塑料,、分揀等。 圖為單軸機(jī)械手臂,。單軸機(jī)械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計(jì)的成本.

電鍍：

到這一步,，晶圓基本上就完成了，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,，銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極,。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨，到這一步晶圓就真正的完成了,。

切割：

對(duì)晶圓進(jìn)行切割,，值得一提的是晶圓十分易碎，因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的,。

測(cè)試：

測(cè)試分為三大類：功能測(cè)試,、性能測(cè)試、抗老化測(cè)試。大致測(cè)試模式如下:接觸測(cè)試,、功耗測(cè)試,、輸入漏電測(cè)試、輸出電平測(cè)試,、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試,、模擬信號(hào)參數(shù)測(cè)試等等。全部測(cè)試都通過(guò)的,，就是正片,；部分測(cè)試未通過(guò)，但正常使用無(wú)礙,，這是白片,；未開始測(cè)試，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,，這是黑片,。

單軸機(jī)械手臂作為一個(gè)組件在工業(yè)中應(yīng)用***。深圳本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家

因此,，在設(shè)計(jì)手臂時(shí),，須根據(jù)機(jī)械手抓取重量、自由度數(shù),、工作范圍,、運(yùn)動(dòng)速度及機(jī)械手的整體布局。珠海庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手,、塑料機(jī)機(jī)械手,，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口、模內(nèi)鑲件,、模內(nèi)貼標(biāo),、模外組裝、整形,、分類,、堆疊、產(chǎn)品包裝,、模具優(yōu)化等等,。且可以對(duì)其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備。注塑行業(yè)機(jī)械臂是為注塑生產(chǎn)自動(dòng)化專門配備的機(jī)械,，它可以在減輕繁重的體力勞動(dòng),、改善勞動(dòng)條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機(jī)的生產(chǎn)效率、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量,、降低廢品率,、降低生產(chǎn)成本,、增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力等方面起到及其重要的作用。 珠海庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

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