整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制。2臺直驅電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個控制架構基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求,，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅動器,。Dual axis module同時驅動2臺直驅電機，Single axis module驅動1臺升降直流電機,。雙軸模塊式驅動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內部專業(yè)的技術支持X移動,，Y移動,，Z移動組成，通過在執(zhí)行終端加裝X轉動,，Y轉動,，Z轉動可以到達空間內的任何坐標點。汕頭庫存晶圓運送機械吸臂市場報價

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,，其特征在于,，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺,；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段,；位于所述吸附絕緣凸臺內的偽絕緣凸臺,，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內,；在垂直于所述手臂的方向上,，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。東莞官方晶圓運送機械吸臂制造價格各支承、連接件的剛性也要有一定的要求,，以保證能承受所需要的驅動力,。

裝配機械人 ；這燈機械臂要有較高的位姿精度,，手腕具有較大的柔性,。目前大多用于機電產品的裝配作業(yè)。⒌專門用途的機械臂 如醫(yī)用護理機械臂,、航天用機械臂,、探海用機械臂以及排險作業(yè)機械臂等。三,、按操作機的位置機構形式和自由度數(shù)量分類機械臂操作機的位置機構型式是機械臂重要的外形特征,，按這一類標準，機械臂可分為直角坐標型,，圓柱坐標型,，球（極）坐標型、關節(jié)型機械臂（或擬人機械臂）,。操作機本身的軸數(shù)（自由度數(shù)）**能反應機械臂的工作能力,，也是分類的重要依據(jù)。按這一分類要求，機械臂可分為4軸（自由度）,、5軸（自由度）,、6軸（自由度）、7軸（自由度）等機械臂,。還有其它多種分類方式,。基本介紹工業(yè)設計工業(yè)機械人通常由六項基本元素所組成,，包括：結構,臂端工具，電腦數(shù)碼控制器,，驅動器,，量度回輸系統(tǒng)和感應器。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,，其包括：托板,；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓,。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛,，所述托墊固定在所述托板上,，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,，所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔,，所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地,，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上,。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地,，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上，各個所述絨毛墊之間間隔排布,。 手臂的運動速度要適當,，慣性要小.

注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動剪水口,、模內鑲件,、模內貼標、模外組裝,、整形,、分類、堆疊,、產品包裝,、模具優(yōu)化等等。且可以對其進行自動控制使其按照預定要求輸送制品或操持工具進行生產操作的自動化生產設備,。注塑行業(yè)機械臂是為注塑生產自動化專門配備的機械,，它可以在減輕繁重的體力勞動、改善勞動條件和安全生產;提高注塑成型機的生產效率,、穩(wěn)定產品質量,、降低廢品率、降低生產成本,、增強企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用,。 手臂自重輕，其啟動和停止的平穩(wěn)性就好,。汕頭庫存晶圓運送機械吸臂市場報價

手臂,。起著連接和承受外力的作用。汕頭庫存晶圓運送機械吸臂市場報價

電動式 電力驅動是目前機械臂使用得**多的一種驅動方式,。其特點是電源方便,，響應快，驅動力較大（關節(jié)型的持重已達400公斤）,，信號檢測,、傳遞、處理方便,，并可以采用多種靈活的控制方案,。驅動電機一般采用步進電機，直流伺服電機以及交流伺服電機（其中交流伺服電機為目前主要的驅動形式）,。由于電機速度高,，通常采用減速機構（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動,、齒輪傳動,、螺旋行動和多桿式機構等）。目前,，有些機械臂已開始采用無減速機構的大轉矩,、低轉速的電機進行直接驅動（DD），這既可以使機構簡化，又可提高控制精度,。二,、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣，一般只需點位控制,。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求,，只要求始點和終點位姿準確。如機床上用的上下料器人,，工件堆垛機械臂,，注塑機配套用的機械等。汕頭庫存晶圓運送機械吸臂市場報價

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