進(jìn)行光刻：

將設(shè)計好的電路掩模，置于光刻機(jī)的紫外射線下,，然后再在它的下面放置Wafer,，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,，刻上了電路圖,。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,，然后進(jìn)行再次光刻,。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻,。而隨著技術(shù)革新,，極紫光刻出現(xiàn)了，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高,，甚至于可以達(dá)到光刻一次完成,。

注射：

在真空下，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部,。其真空的標(biāo)準(zhǔn)比無菌室或ICU還要高出千萬倍,。 根據(jù)機(jī)械手運(yùn)動和工作的要求，如管路,、冷卻裝置,、行程定位裝置和自動檢測裝置等.江蘇官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂企業(yè)

背景技術(shù)：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù)，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè),。例如,，準(zhǔn)備對晶圓進(jìn)行刻蝕加工時，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺內(nèi),。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂,，該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡槽，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi),，以防止機(jī)械手臂在傳送晶圓時發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對機(jī)械手臂運(yùn)動),。然而，現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，另外,，機(jī)械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產(chǎn)效率。

江蘇官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂企業(yè)主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型,、重復(fù)性高的動作,。

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題,。4) 被動阻尼控制,。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設(shè)計臂的結(jié)構(gòu)以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻尼減振器,、阻尼材料,、復(fù)合型阻尼金屬板、,、阻尼合金或用粘彈性大阻尼材料形成附加阻尼結(jié)構(gòu)均屬于被動阻尼控制,。 近年來 粘彈性大阻尼材料用于柔性機(jī)械臂的振動控制已引起高度重視。RoSSi Mauro 和Wang David研究了柔性機(jī)器人的被動控制問題,。5) 力反饋控制法,。柔性機(jī)械臂振動的力反饋控制實(shí)際上是基于逆動力學(xué)分析的控制方法 即根據(jù)逆動力學(xué)分析 通過臂末端的給定運(yùn)動求得施加于驅(qū)動端的力矩 并通過運(yùn)動或力檢測對驅(qū)動力矩進(jìn)行反饋補(bǔ)償。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的應(yīng)用非常廣,，主要包括以下幾個方面：晶圓生產(chǎn)線：在晶圓生產(chǎn)線上,，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂被廣泛應(yīng)用于晶圓的裝載和卸載過程。它能夠?qū)⒕A從載體上吸附起來,，并將其準(zhǔn)確地運(yùn)送到目標(biāo)位置,，以完成各種工序，如清洗,、切割,、涂覆等。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的高精度和穩(wěn)定性能,，能夠確保晶圓在整個生產(chǎn)過程中的安全和穩(wěn)定運(yùn)輸,。半導(dǎo)體封裝和測試：在半導(dǎo)體封裝和測試過程中，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂被用于將封裝好的芯片從一個工序轉(zhuǎn)移到另一個工序,。它能夠?qū)⑿酒瑴?zhǔn)確地吸附在機(jī)械臂上,，并將其運(yùn)送到封裝或測試設(shè)備上，以完成后續(xù)的封裝和測試工作,。手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器,。

電動式 電力驅(qū)動是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點(diǎn)是電源方便,，響應(yīng)快,，驅(qū)動力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤），信號檢測,、傳遞,、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī),，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動形式）,。由于電機(jī)速度高，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動,、RV擺線針輪傳動,、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機(jī)構(gòu)等）,。目前,，有些機(jī)械臂已開始采用無減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動（DD）,，這既可以使機(jī)構(gòu)簡化,，又可提高控制精度。二,、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣,，一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無嚴(yán)格的運(yùn)動軌跡要求,，只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確,。如機(jī)床上用的上下料器人，工件堆垛機(jī)械臂,，注塑機(jī)配套用的機(jī)械等,。有X移動，Y移動,，Z移動，X轉(zhuǎn)動,，Y轉(zhuǎn)動,，Z轉(zhuǎn)動六個自由度組成。江蘇官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂企業(yè)

如剛性差則會引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.江蘇官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂企業(yè)

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂主要由以下幾個部分組成：

吸盤：用于吸附晶圓,，通常采用真空吸附原理,。吸盤材料應(yīng)具有耐磨、耐腐蝕,、低粒子產(chǎn)生等特性,，以保證晶圓表面不受污染。

機(jī)械臂：用于支撐和移動吸盤,，實(shí)現(xiàn)晶圓在不同工藝設(shè)備間的傳送,。機(jī)械臂應(yīng)具有高精度、高穩(wěn)定性和高剛性等特點(diǎn),，以確保晶圓在傳送過程中的精確定位和平穩(wěn)運(yùn)輸,。

傳動系統(tǒng)：為機(jī)械臂提供動力，實(shí)現(xiàn)吸臂的伸縮、旋轉(zhuǎn)等動作,。傳動系統(tǒng)通常采用電機(jī),、減速器、傳動帶等部件組成,，確保吸臂運(yùn)動的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,。

控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)控制機(jī)械臂的運(yùn)動軌跡、速度和加速度等參數(shù),?？刂葡到y(tǒng)一般采用先進(jìn)的伺服控制技術(shù)和高精度傳感器，實(shí)現(xiàn)吸臂的高精度定位和穩(wěn)定運(yùn)行,。 江蘇官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂企業(yè)

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