本發(fā)明涉及一種半導體制造技術,，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術：

在半導體加工設備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,，在傳送的過程中，傳送精度越高,，設備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺設備的產(chǎn)能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展,，設備處理的工藝越來越復雜,，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求,，適用于各種半導體設備,。

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與剛性機械臂相比較,，柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,，因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率，其響應快速而準確,，有著很多潛在的優(yōu)點,，在工業(yè)、**等應用領域中占有十分重要的地位,。隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。傳統(tǒng)的多剛體動力學的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求,。柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型。 茂名庫存晶圓運送機械吸臂怎么聯(lián)系機械手的運動速度一般是根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)節(jié)拍要求來決定的,，但不宜盲目追求高速度,。

    近年來全球硅晶圓供給不足，導致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底,。目前國內(nèi)多個硅晶圓項目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴,，并有足夠的能力滿足市場需求,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純,、單晶硅生長、晶圓成型,。一,，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中,，在高溫下,，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應（碳氧結(jié)合，得硅）,，提純得純度約為98%的純硅,，又稱冶金級硅，這對微電子器件來說依然不夠純,，因為半導體材料的電學特性對雜質(zhì)的濃度相當?shù)拿舾?，因而對冶金級硅作進一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應，生成液態(tài)的硅烷,，然后通過蒸餾和化學還原工藝,，得到了高純度的多晶硅，其純度達99%,，成為電子級硅,。

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺,、GaAs等材料的提純和單晶生長,；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏,？這是由于硅的熔點高,，化學性能活潑，容易受到異物的玷污,，所以難以找到適合的器皿來盛方,，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋,，引入的雜質(zhì)更少,，生長的材料雜質(zhì)含量也就更少。總而言之,，單晶硅棒是圓柱形的,，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎,？Bingo,，圖左的尖尖是籽晶，圖右的尖尖是晶棒長到***,，從熔融態(tài)里出來后,，由于復雜的流體力學原理，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導致的,。 X移動,，Y移動，Z移動組成,，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動,，Y轉(zhuǎn)動，Z轉(zhuǎn)動可以到達空間內(nèi)的任何坐標點,。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,，其特征在于，包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺,；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形,，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段,；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型,，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi),；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出,；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。設備配備智能控制系統(tǒng),，可實現(xiàn)自動化操作,。蘇州進口晶圓運送機械吸臂維修

工業(yè)機械臂的工作原理。南京銷售晶圓運送機械吸臂銷售價格

工業(yè)機械臂是擬人手臂,、手腕和手功能 的機械電子裝置,。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置,；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動,，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊,；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件,；進行激光切割；噴涂,；裝配機械零部件等等,。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響,，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置,。但事實并不是這樣,，特別是工業(yè)機械臂,，與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標準,，工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,，可重復編程、多用途,，并可以對3個以上軸進行編程,。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應用中使用”,。操作機又定義為“是一種機器,，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。南京銷售晶圓運送機械吸臂銷售價格

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