與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比，蛙腿型機(jī)械手的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)更簡(jiǎn)單,，剛性更高,，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機(jī)械手手臂為對(duì)稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu),，包括1對(duì)大臂和2對(duì)小臂,。2個(gè)直驅(qū)電機(jī)分別通過(guò)2個(gè)同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過(guò)4個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對(duì)小臂,，2對(duì)小臂的末端又通過(guò)2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤。 該機(jī)械手雖然只有3個(gè)電機(jī),，但水平連桿卻有10個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié),，因此對(duì)整個(gè)真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程手臂自重輕，其啟動(dòng)和停止的平穩(wěn)性就好,。江門正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)

隨著人工智能,、物聯(lián)網(wǎng)和自動(dòng)化技術(shù)的快速發(fā)展，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂也呈現(xiàn)出智能化,、自動(dòng)化和網(wǎng)絡(luò)化的發(fā)展趨勢(shì),。智能化方面，吸臂將集成更多的智能傳感器和算法,，實(shí)現(xiàn)自主感知,、決策和控制。例如,，通過(guò)機(jī)器學(xué)習(xí)算法對(duì)吸臂的運(yùn)行數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和優(yōu)化,，能夠提前判斷預(yù)測(cè)潛在的故障風(fēng)險(xiǎn)，并自動(dòng)調(diào)整運(yùn)行參數(shù),，提高吸臂的性能和可靠性,。同時(shí)，智能吸臂還可以根據(jù)晶圓的不同類型和加工工藝要求,，自動(dòng)調(diào)整搬運(yùn)策略和參數(shù),，實(shí)現(xiàn)個(gè)性化的晶圓搬運(yùn)服務(wù)。江門正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)通用性強(qiáng),，能適應(yīng)多種作業(yè),；工藝性好，便于維修調(diào)整,。

輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個(gè)以上的自由度,。這種機(jī)械手典型地由兩個(gè)連桿和手部構(gòu)成。在本說(shuō)明書中,，將兩個(gè)連桿稱作上臂連桿和前臂連桿,。典型地，上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸,，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端,。而且，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。在各個(gè)關(guān)節(jié)處安裝有軸承，以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn),。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手中,，為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽（shield）安裝于關(guān)節(jié)的軸承。

它通常有幾個(gè)自由度,，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）,。”所以對(duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置,；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng)，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。如夾持焊鉗或焊***,，對(duì)汽車或摩托車車體進(jìn)行了點(diǎn)焊或弧焊；搬運(yùn)壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件,；進(jìn)行激光切割,；噴涂；裝配機(jī)械零部件等等,。編程就是讓計(jì)算機(jī)為解決某個(gè)問題而使用某種程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫程序代碼,，并**終得到結(jié)果的過(guò)程。為了使計(jì)算機(jī)能夠理解人的意圖,，人類就必須要將需解決的問題的思路,、方法、和手段通過(guò)計(jì)算機(jī)能夠理解的形式告訴計(jì)算機(jī),，使得計(jì)算機(jī)能夠根據(jù)人的指令一步一步去工作,，完成某種特定的任務(wù)。這種人和計(jì)算機(jī)之間交流的過(guò)程就是編程,。機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)速度一般是根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)節(jié)拍要求來(lái)決定的,，但不宜盲目追求高速度。

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn),。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)）

或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 如剛性差則會(huì)引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.惠州正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

吸臂具有高度可調(diào)節(jié)功能,，適應(yīng)不同尺寸的晶圓,。江門正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂主要由以下幾個(gè)部分組成：

吸盤：用于吸附晶圓，通常采用真空吸附原理,。吸盤材料應(yīng)具有耐磨,、耐腐蝕、低粒子產(chǎn)生等特性,，以保證晶圓表面不受污染,。

機(jī)械臂：用于支撐和移動(dòng)吸盤，實(shí)現(xiàn)晶圓在不同工藝設(shè)備間的傳送,。機(jī)械臂應(yīng)具有高精度,、高穩(wěn)定性和高剛性等特點(diǎn),，以確保晶圓在傳送過(guò)程中的精確定位和平穩(wěn)運(yùn)輸,。

傳動(dòng)系統(tǒng)：為機(jī)械臂提供動(dòng)力，實(shí)現(xiàn)吸臂的伸縮,、旋轉(zhuǎn)等動(dòng)作,。傳動(dòng)系統(tǒng)通常采用電機(jī)、減速器,、傳動(dòng)帶等部件組成,，確保吸臂運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)控制機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡,、速度和加速度等參數(shù),。控制系統(tǒng)一般采用先進(jìn)的伺服控制技術(shù)和高精度傳感器,，實(shí)現(xiàn)吸臂的高精度定位和穩(wěn)定運(yùn)行,。 江門正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)

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