本發(fā)明涉及一種半導體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術(shù)：

在半導體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,，在傳送的過程中,，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來越復雜,，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導體設(shè)備,。

因此，在設(shè)計手臂時,，須根據(jù)機械手抓取重量,、自由度數(shù)、工作范圍,、運動速度及機械手的整體布局,。揭陽晶圓運送機械吸臂聯(lián)系人

    9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制。是一種語言控制器,可反映人在進行控制活動時的思維特點,。其主要特點之一是控制系統(tǒng)設(shè)計并不需要通常意義上的被控對象的數(shù)學模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗知識,操作數(shù)據(jù)等,。[3]研究意義與剛性機械臂相比較,柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,其響應快速而準確,有著很多潛在的優(yōu)點,在工業(yè),、**等應用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).。傳統(tǒng)的多剛體動力學的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求.柔性機械臂作為**簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),被***地用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 上海原裝晶圓運送機械吸臂公司越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機器人代替人工作業(yè),。

    環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導致其實，除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個原因之外,，還有以下3條其他的決定因素：2??有人計算過,，比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形,，考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的，算算就知道正方形浪費的使用面積比率是比圓型高的,。所以，圓形是等周長時表面積做大的二維圖形,，加工時能夠充分利用原料,，在一片晶圓上能分出**多的芯片。3??在實際的加工制成當中,，圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作,。圓型具有任意軸對稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求，可以想象一下,，在圓型晶圓表面可以通過旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating,，事實上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層，但其它形狀的晶圓呢,？不可能或非常難,，可以的話也是成本很高。

    6)自適應控制,。采用組合自適應控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng),。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設(shè)計,?？刂破鞯脑O(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應控制設(shè)計。通過狀態(tài)轉(zhuǎn)換將系統(tǒng)分成兩個子系統(tǒng),。用自適應控制和魯棒控制分別對兩個子系統(tǒng)進行控制,。7)PID控制。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應用的控制器,由于其簡單,、有效,、實用,被普遍地用于剛性機械臂控制,常通過調(diào)整控制器增益構(gòu)成自校正PID控制器或與其它控制方法結(jié)合構(gòu)成復合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能。8)變結(jié)構(gòu)控制,。變結(jié)構(gòu)控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑?？刂剖?*普遍的變結(jié)構(gòu)控制。其特點;在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統(tǒng)對參數(shù)變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質(zhì),。變結(jié)構(gòu)控制器的設(shè)計,不需要機械臂精確的動態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構(gòu)造一個控制器,。 實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學特性。

    目前,，直拉法是生長晶圓**常用的方法了,，除了直拉法之外，常用的方法還有區(qū)熔法,。區(qū)熔法,，簡稱Fz法,。1939年，在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,，后來在亨利·休勒,、丹·多西等人的協(xié)助下，生長出了高純度的鍺以及硅單晶,，并獲得了**,。這種方法是利用熱能在半導體多晶棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū)，使其重結(jié)晶為單晶,。使熔區(qū)沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動,，進而通過整根棒料，使多晶棒料生長成一根單晶棒料,，區(qū)熔法也需要籽晶,，且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 有X移動,，Y移動,，Z移動，X轉(zhuǎn)動,，Y轉(zhuǎn)動,，Z轉(zhuǎn)動六個自由度組成。徐州原裝晶圓運送機械吸臂價位

有時往往相互矛盾,，剛性好,、載重大，結(jié)構(gòu)往往粗大,、導向桿也多,。揭陽晶圓運送機械吸臂聯(lián)系人

隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展，我們越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機器人代替人工作業(yè),，那么我們來說說工業(yè)機器人如六軸機器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機器人是一種用于自然科學相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器,，六軸機器人的六個軸，每個軸都是一個電機配備減速機來傳動,，各個軸的運動方式和方向都不同,，每個軸其實是模擬人手的各個關(guān)節(jié)的動作。

一軸：一軸是連接底座的部位,，主要是承載上面軸的重量與底座的左右旋轉(zhuǎn),，一個左右旋轉(zhuǎn)的動作就是使用電機與減速機傳動的結(jié)果，每個軸都是代替一個方向的運動方式,。

二軸：控制機器人主臂的前后擺動,、整個主臂上下運動的功能。

三軸：三軸同樣是控制機器人前后擺動功能，只是比第二軸的擺臂范圍小,。

四軸：四軸是控制機器人上面的圓形管的部分可自由旋轉(zhuǎn)的部位,，活動范圍相當于人的小臂，不過不是360°旋轉(zhuǎn)里面有電線跟人小臂的范圍相同,。

五軸：第五軸控制微調(diào)的上下翻轉(zhuǎn)動作,，通常是當產(chǎn)品抓取后可以使產(chǎn)品翻轉(zhuǎn)的動作。

六軸：第六軸就是末端法蘭哪個部分旋轉(zhuǎn)功能,?？梢?60°旋轉(zhuǎn)。 揭陽晶圓運送機械吸臂聯(lián)系人

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