一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái)；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記,，提高了晶圓的合格率。通用性強(qiáng)，能適應(yīng)多種作業(yè),；工藝性好,，便于維修調(diào)整,。對(duì)了懸臂式的機(jī)械手,，還要考慮零件在手臂上布置。福建晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

研究背景近年來,，隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度、高精度,、 高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。由于運(yùn)動(dòng)過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低,。所以,，機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮，實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性,。柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng),，其動(dòng)力學(xué)方程具有非線性, 強(qiáng)耦合, 實(shí)變等特點(diǎn)。而進(jìn)行柔性臂動(dòng)力學(xué)問題的研究,，其模型的建立是極其重要的,。柔性機(jī)械臂不僅是一個(gè)剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng)，而且也是系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機(jī)電耦合的非線性系統(tǒng),。動(dòng)力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計(jì)提供依據(jù),。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時(shí)域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機(jī)械臂的動(dòng)力學(xué)特性密切相關(guān),。福建晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來確定,，其誤差是積累誤差，因而精度較差,，其位置精度也更難保證,。

車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手,，車床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過程的完全自動(dòng)化,，并采用了集成加工技術(shù)，適用于生產(chǎn)線的上下料,、工件翻轉(zhuǎn),、工件轉(zhuǎn)序等。在國(guó)內(nèi)的機(jī)械加工,， 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式,， 這在產(chǎn)品比較單一、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的,， 但是隨著社會(huì)的進(jìn)步和發(fā)展,， 科技的日益進(jìn)步,， 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快， 使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn),， 一方面專機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜,、維修不便， 不利于自動(dòng)化流水線的生產(chǎn),；另一方面,， 它的柔性不夠， 難以適應(yīng)日益加快的變化,，不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整,；其次， 使用人工會(huì)造成勞動(dòng)強(qiáng)度的增加,， 容易產(chǎn)生工傷事故,， 效率也比較低下， 且使用人工上下料的產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠,， 不能滿足大批量生產(chǎn)的需求,。

例如：尋找，運(yùn)輸,，握取,，對(duì)準(zhǔn)，裝配,，檢驗(yàn)等動(dòng)作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人,，美國(guó)機(jī)械人協(xié)會(huì)在1979年將機(jī)械人定義為一個(gè)可用程式控制，多功能的操作器,，它透過程式控制和多變化的動(dòng)作設(shè)計(jì)來移動(dòng)材料,，工件，工具或特別設(shè)備,，以完成一連串的工作.所以,，雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài)，但只要它們符合機(jī)械人的定義,，便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi),，但估計(jì)在不久將來還會(huì)有數(shù)以十萬計(jì)的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時(shí)，不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺和感覺,，令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問稱為機(jī)械人學(xué),。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光電子等領(lǐng)域,。

使用匯編語言編寫計(jì)算機(jī)程序，程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)，所以從程序設(shè)計(jì)本身上來看仍然是低效率的,、煩瑣的,。但正是由于匯編語言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切，在某些特定的場(chǎng)合,，如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等,，迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn),。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類,。一,、按驅(qū)動(dòng)方式分1．液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)（各種油缸,、油馬達(dá)）、伺服閥,、油泵,、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作,。通常它具有很大的抓舉能力（高達(dá)幾百公斤以上）,，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊，動(dòng) 作平穩(wěn),，耐沖擊，耐振動(dòng),，防爆性好,，但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能，否則漏油將污染環(huán)境,。2．氣動(dòng)式 其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通常由氣缸,、氣閥、氣罐和空壓機(jī)組成,，其特點(diǎn)是氣源方便,，動(dòng)作迅速、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、造價(jià)較低,、維修方便,。但難以進(jìn)行速度控制,，氣壓不可太高,，故抓舉能力較低。設(shè)備配備智能控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作,。南京晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧,，才能做手臂運(yùn)動(dòng)輕快、靈活,。福建晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座,，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī),、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng),。 福建晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

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