輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個(gè)以上的自由度,。這種機(jī)械手典型地由兩個(gè)連桿和手部構(gòu)成,。在本說明書中，將兩個(gè)連桿稱作上臂連桿和前臂連桿,。典型地,，上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端,。而且,，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。在各個(gè)關(guān)節(jié)處安裝有軸承，以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn),。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手中,，為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽（shield）安裝于關(guān)節(jié)的軸承。與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,。汕尾新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)

機(jī)械臂的工作原理：

一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓,、氣動(dòng),、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)（如臺(tái)虎鉗）,、斜鍥壓緊,、

導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)（破碎機(jī)常用）、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)（如抓磚頭的）等等,。還有簡(jiǎn)單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的,。如果是小物品，可直接購買FESTO等公司的氣動(dòng)手指,。

底座是用來安裝和固定機(jī)器的,。

油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。

升降位置檢測(cè)器,，要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置,，要么是實(shí)時(shí)檢測(cè)其高度的。

手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的,。

手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器,，只是測(cè)量對(duì)象換了。

機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動(dòng)作功能,，用以按固定程序抓取,、搬運(yùn)物件或操作工具的自動(dòng)操作裝置。 韶關(guān)直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠手臂由靜止?fàn)顟B(tài)達(dá)到正常的運(yùn)動(dòng)速度為啟動(dòng),，由常速減到停止不動(dòng)為制動(dòng),，速度的變化過程為速度特性曲線。

背景技術(shù)：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù),，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè),。例如，準(zhǔn)備對(duì)晶圓進(jìn)行刻蝕加工時(shí),，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺(tái)內(nèi),。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂，該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡槽,，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi),，以防止機(jī)械手臂在傳送晶圓時(shí)發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對(duì)機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng))。然而,，現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，另外，機(jī)械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產(chǎn)效率,。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手,，其特征在于，包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái),；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺(tái)呈環(huán)形,，所述吸附絕緣凸臺(tái)所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段,；位于所述吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的偽絕緣凸臺(tái),，所述偽絕緣凸臺(tái)與手臂一體成型,，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺(tái)內(nèi)；在垂直于所述手臂的方向上,，所述吸附絕緣凸臺(tái)比所述偽絕緣凸臺(tái)突出,；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。臂應(yīng)承載能力大,、剛性好、自重輕.

多功能一體化機(jī)械臂,，包括機(jī)械臂主體,，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,，該種多功能一體化機(jī)械臂,，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低,、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，本機(jī)械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的,，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),，且在生產(chǎn)過程中由于體積較小，廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低,，同時(shí)工人在使用時(shí),，移動(dòng)較為方便，設(shè)有的安全離合器,、液壓器和液壓室,，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn)，在使用過程中完全依靠程序芯片控制,，液壓器液壓精細(xì)不會(huì)圖為單軸機(jī)械手臂,。單軸機(jī)械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計(jì)的成本.中山原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格

X移動(dòng)，Y移動(dòng)，Z移動(dòng)組成,，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動(dòng),，Y轉(zhuǎn)動(dòng)，Z轉(zhuǎn)動(dòng)可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點(diǎn),。汕尾新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)

與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,，因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,，有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),，在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位,。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,，越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求,。柔性機(jī)械臂作為簡(jiǎn)單的非平凡多柔體系統(tǒng),，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型。 汕尾新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)

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