目前,直拉法是生長晶圓**常用的方法了,,除了直拉法之外,,常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,,簡稱Fz法,。1939年,在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,,后來在亨利·休勒,、丹·多西等人的協(xié)助下,生長出了高純度的鍺以及硅單晶,,并獲得了**,。這種方法是利用熱能在半導(dǎo)體多晶棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū),使其重結(jié)晶為單晶,。使熔區(qū)沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動,,進(jìn)而通過整根棒料,使多晶棒料生長成一根單晶棒料,,區(qū)熔法也需要籽晶,,且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 普遍認(rèn)為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體,,可以實現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性,。汕尾正規(guī)晶圓運送機械吸臂維修電話
電動式 電力驅(qū)動是目前機械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點是電源方便,,響應(yīng)快,,驅(qū)動力較大(關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤),信號檢測,、傳遞、處理方便,,并可以采用多種靈活的控制方案,。驅(qū)動電機一般采用步進(jìn)電機,直流伺服電機以及交流伺服電機(其中交流伺服電機為目前主要的驅(qū)動形式),。由于電機速度高,,通常采用減速機構(gòu)(如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動,、螺旋行動和多桿式機構(gòu)等),。目前,有些機械臂已開始采用無減速機構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩,、低轉(zhuǎn)速的電機進(jìn)行直接驅(qū)動(DD),,這既可以使機構(gòu)簡化,又可提高控制精度,。二,、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣,一般只需點位控制,。即被搬運零件無嚴(yán)格的運動軌跡要求,,只要求始點和終點位姿準(zhǔn)確。如機床上用的上下料器人,,工件堆垛機械臂,,注塑機配套用的機械等。廣州官方晶圓運送機械吸臂銷售詞隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,,越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。
使用匯編語言編寫計算機程序,程序員仍然需要十分熟悉計算機系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),,所以從程序設(shè)計本身上來看仍然是低效率的,、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計算機硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,,在某些特定的場合,,如對時空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實時控制程序等,迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設(shè)計工具,。工業(yè)機械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn),。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類。一,、按驅(qū)動方式分1.液壓式 液壓驅(qū)動機械臂通常由液動機(各種油缸,、油馬達(dá))、伺服閥,、油泵,、油箱等組成驅(qū)動系統(tǒng),由驅(qū)動機械臂的執(zhí)行機構(gòu)進(jìn)行工作,。通常它具有很大的抓舉能力(高達(dá)幾百公斤以上),,其特點是結(jié)構(gòu)緊湊,動 作平穩(wěn),,耐沖擊,,耐振動,,防爆性好,但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能,,否則漏油將污染環(huán)境,。2.氣動式 其驅(qū)動系統(tǒng)通常由氣缸、氣閥,、氣罐和空壓機組成,,其特點是氣源方便,動作迅速,、結(jié)構(gòu)簡單,、造價較低、維修方便,。但難以進(jìn)行速度控制,,氣壓不可太高,故抓舉能力較低,。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型要解決的技術(shù)問題是:現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,,且傳送晶圓效率較低。
為了解決上述問題,,本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。
可選地,,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上,。
可選地,,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),,并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。
可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。
可選地,,所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。
可選地,,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。
可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,,各個所述絨毛墊之間間隔排布,。 有時往往相互矛盾,剛性好,、載重大,,結(jié)構(gòu)往往粗大、導(dǎo)向桿也多,。
接下來是單晶硅生長,,**常用的方法叫直拉法(CZ法)。如下圖所示,,高純度的多晶硅放在石英坩堝中,,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400 ℃,,爐中的氣體通常是惰性氣體,,使多晶硅熔化,同時又不會產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng),。為了形成單晶硅,,還需要控制晶體的方向:坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn),把一顆籽晶浸入其中,,并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn),,同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出,。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端,,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,,在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒,。柔性機械臂不只是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合的非線性系統(tǒng),。深圳本地晶圓運送機械吸臂銷售價格
機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,。汕尾正規(guī)晶圓運送機械吸臂維修電話
例如:尋找,運輸,,握取,,對準(zhǔn),裝配,,檢驗等動作. 為了明確地描述工業(yè)機械人,,美國機械人協(xié)會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制,多功能的操作器,,它透過程式控制和多變化的動作設(shè)計來移動材料,,工件,工具或特別設(shè)備,,以完成一連串的工作.所以,,雖然許多工業(yè)機械人并非有人的形態(tài),,但只要它們符合機械人的定義,便可以稱為機械人.工業(yè)機械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi),,但估計在不久將來還會有數(shù)以十萬計的工業(yè)機械人投入服務(wù).現(xiàn)時,,不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺,令機械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機械人的學(xué)問稱為機械人學(xué),。汕尾正規(guī)晶圓運送機械吸臂維修電話
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