技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型的一個實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊,，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地,，所述絨毛墊包括托墊和絨毛,，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上,。

可選地,，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地,，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上,。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地,，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上，各個所述絨毛墊之間間隔排布,。 科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂,，可以抓起螞蟻而不是捏死。原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價

電鍍：

到這一步,，晶圓基本上就完成了,，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅，銅離子會從正極走向負(fù)極,。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨,，到這一步晶圓就真正的完成了。

切割：

對晶圓進(jìn)行切割,，值得一提的是晶圓十分易碎,，因此對切割的工藝要求也是非常高的。

測試：

測試分為三大類：功能測試,、性能測試,、抗老化測試。大致測試模式如下:接觸測試,、功耗測試,、輸入漏電測試、輸出電平測試,、動態(tài)參數(shù)測試,、模擬信號參數(shù)測試等等,。全部測試都通過的,，就是正片；部分測試未通過,，但正常使用無礙,，這是白片；未開始測試,，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,，這是黑片,。

廣東正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人簡單的搬運(yùn)與碼垛，根本無法稱之為智能制造,。

    基因決定”——生長方法導(dǎo)致若要回答這個問題,，首先要說一個大約有100余年歷史的原因。,。,。1918年，前蘇聯(lián)科學(xué)家切克勞斯基（Czochralski）建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法,，簡稱CZ法,。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長,、晶圓成型,。首先是硅砂的提純及熔煉。這個階段主要是通過溶解,、提純,、蒸餾等一系列措施得到多晶硅。接下來是單晶硅生長工藝,。就是從硅熔體中生長出單晶硅,。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，在保護(hù)性氣氛中高溫加熱使其熔化,。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升,，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠。***一步是晶圓成型,。單晶硅錠一般呈圓柱型,，直徑從3英寸到十幾英寸不等。硅錠經(jīng)過切片,、拋光之后,，就得到了單晶硅圓片，也即晶圓,。

割拋光：

單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割,，然后進(jìn)行研磨，將凹凸的切痕磨掉,，再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,，晶圓片制造就完成了。

二,，晶圓制造步驟

晶圓鍍膜：

通過物理或其他方式（如高溫等）使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅,。二氧化硅為絕緣材料，但有雜質(zhì)和特殊處理的二氧化硅有一定的導(dǎo)電性,。二氧化硅在這里的作用是為了傳導(dǎo)光,。像是用二氧化硅做光導(dǎo)纖維是同一個道理,。完成這步后就為后面光刻做好了準(zhǔn)備。

光刻膠涂抹：

顧名思義,，就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠,，而對其技術(shù)要求是要做到平整和薄。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有三個主自由度,。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī)、所述的一級關(guān)節(jié),、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動。

普遍認(rèn)為機(jī)械臂是實(shí)現(xiàn)智能制造的很好的載體,，可以實(shí)現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實(shí)現(xiàn)的大操作空間與靈活性,。原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價

機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取,、搬運(yùn)物件或操作工具的自動操作裝置,。原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價

輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個以上的自由度。這種機(jī)械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成,。在本說明書中,，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,，上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸,，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且,，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部,。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。在各個關(guān)節(jié)處安裝有軸承,，以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn)。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手中,，為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽（shield）安裝于關(guān)節(jié)的軸承,。原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價

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