目前,，直拉法是生長(zhǎng)晶圓**常用的方法了,，除了直拉法之外,，常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,，簡(jiǎn)稱Fz法,。1939年，在貝爾實(shí)驗(yàn)室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,，后來(lái)在亨利·休勒,、丹·多西等人的協(xié)助下，生長(zhǎng)出了高純度的鍺以及硅單晶,，并獲得了**,。這種方法是利用熱能在半導(dǎo)體多晶棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū)，使其重結(jié)晶為單晶,。使熔區(qū)沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動(dòng),，進(jìn)而通過(guò)整根棒料，使多晶棒料生長(zhǎng)成一根單晶棒料,，區(qū)熔法也需要籽晶,，且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 X移動(dòng),，Y移動(dòng),，Z移動(dòng)組成，通過(guò)在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動(dòng),，Y轉(zhuǎn)動(dòng),，Z轉(zhuǎn)動(dòng)可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點(diǎn)。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地,，所述表面為平面,。

另外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂,。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚,。 廣東晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點(diǎn)進(jìn)行作業(yè)。

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,，在傳送的過(guò)程中,，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜,，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形,，故稱為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化,，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.9%,。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,，因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓,。 手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。

半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域,，晶圓的身影隨處可見(jiàn),。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件,，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的,?？梢?jiàn)，晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的,。

所以疑問(wèn)?來(lái)了——硅片為什么要做成圓的,？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”,？

要解釋這個(gè)問(wèn)題,，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”,。 加設(shè)定位裝置和行程檢測(cè)機(jī)構(gòu),。韶關(guān)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧，才能做手臂運(yùn)動(dòng)輕快,、靈活,。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

接下來(lái)是單晶硅生長(zhǎng)，**常用的方法叫直拉法（CZ法）,。如下圖所示,，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,，溫度維持在大約1400 ℃,，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化,，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng),。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn),，把一顆籽晶浸入其中,，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)慢慢地,、垂直地由硅熔化物中向上拉出,。熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端,，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長(zhǎng)上去。因此所生長(zhǎng)的晶體的方向性是由籽晶所決定的,，在其被拉出和冷卻后就生長(zhǎng)成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒,。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

深圳市德澳美科技有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠,、勵(lì)精圖治,、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo),，有組織有體系的公司,，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明，攜手共畫(huà)藍(lán)圖,，在廣東省深圳市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),，也希望未來(lái)公司能成為*****,，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**德澳美和您一起攜手步入輝煌,，共創(chuàng)佳績(jī)，一直以來(lái),，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理,、創(chuàng)新發(fā)展,、誠(chéng)實(shí)守信的方針,，員工精誠(chéng)努力，協(xié)同奮取,，以品質(zhì),、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng)，我們一直在路上,！