可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運,。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速,，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用***,。廣東銷售晶圓運送機械吸臂哪里好

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一,，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械手：大氣機械手（FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot),。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對準設(shè)備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預(yù)對準設(shè)備上取下,，搬運到各個工位進行刻蝕等工藝流程加工,，并將加工完的晶圓搬運到接口位置，等待大氣機械手放回晶圓盒,。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進行,，機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求，控制精度和可靠性要求極高,。廣東銷售晶圓運送機械吸臂哪里好盡管它們的形態(tài)各有不同,，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令.

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,，該真空吸附機械手包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率,。

電動式 電力驅(qū)動是目前機械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式,。其特點是電源方便，響應(yīng)快,，驅(qū)動力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達400公斤）,，信號檢測、傳遞,、處理方便,，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機一般采用步進電機,，直流伺服電機以及交流伺服電機（其中交流伺服電機為目前主要的驅(qū)動形式）,。由于電機速度高，通常采用減速機構(gòu)（如諧波傳動,、RV擺線針輪傳動,、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構(gòu)等）,。目前,，有些機械臂已開始采用無減速機構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機進行直接驅(qū)動（DD）,，這既可以使機構(gòu)簡化,，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣,，一般只需點位控制,。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求，只要求始點和終點位姿準確,。如機床上用的上下料器人,，工件堆垛機械臂，注塑機配套用的機械等,。對了懸臂式的機械手,，還要考慮零件在手臂上布置。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手,，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),，所述的伸展電機,、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運動,。 手臂回轉(zhuǎn)升降機構(gòu)就是機械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的。中山原裝晶圓運送機械吸臂代理廠家

對于工業(yè)應(yīng)用來說,，有時并不需要機械手臂具有完整的六個自由度.廣東銷售晶圓運送機械吸臂哪里好

受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響，兩市**小幅低開，低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高,，早間收盤全線收漲,，午后在科技板塊的帶動下市場繼續(xù)震蕩走高，**終兩市**以中陽報收,。

昨天談到農(nóng)業(yè),、大消費和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢，果不其然***出現(xiàn)了此消彼長的情形,。

盤面上看,，市場***科技股再度走強，以大基金持有的科技股繼續(xù)**著相關(guān)題材概念和板塊進行做多,，北上資金***依舊大幅凈流入,，市場短期做多的因素和動能正在疊加。

盤后出了條消息,，“中方不會坐視不理美科技霸凌主義”,，先機哥由此猜測市場短期的反彈將還是延著科技股這條主線，畢竟帶動市場人氣方面沒有哪個板塊比科技股更適合,。

昨晚提醒大家關(guān)注的科遠智慧,，***低開高走收大陽，開盤后水下潛入的朋友也有7個點的收獲,，該股短期有望突破創(chuàng)新高,。

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