（1）利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)力學(xué)效應(yīng)來(lái)推算真空度,，典型**有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),。a）皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),，熱絲的熱傳導(dǎo)性能會(huì)受到影響,，進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量電阻的變化,，可以推算出真空度的數(shù)值,。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測(cè)量范圍寬等特點(diǎn),。

b）熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進(jìn)行真空度測(cè)量的儀器,，其**原理在于熱電偶的溫差電勢(shì)與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化,，熱電偶的溫差電勢(shì)也會(huì)相應(yīng)改變,，從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、操作便捷等特點(diǎn),。 電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用？南京高質(zhì)量真空計(jì)

金屬電容薄膜真空計(jì)由金屬薄膜和電極構(gòu)成,。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),，薄膜電容會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，從而導(dǎo)致電容的大小變化,。電子測(cè)量電路負(fù)責(zé)測(cè)量這個(gè)電容的變化,，并將之轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。具體來(lái)說(shuō),，施加到電容薄膜上的壓力變化會(huì)導(dǎo)致膜片間距離變化,，進(jìn)而引起電容的變化。通過(guò)測(cè)量電容的變化,，并將其轉(zhuǎn)換為電流或電壓的變化,，就可以作為輸出的信號(hào)來(lái)測(cè)量真空度。

高精度：金屬電容薄膜真空計(jì)的測(cè)量精度較高,，部分產(chǎn)品的精度可達(dá)0.01%,，可以滿足各種精度要求的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)需求。高靈敏度：由于金屬薄膜的厚度只有幾個(gè)納米，因此該真空計(jì)能夠?qū)ξ⑿〉膲毫ψ兓龀龇磻?yīng),，具有高靈敏度,。長(zhǎng)壽命：金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性，使得金屬電容薄膜真空計(jì)能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作,，壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)年,。簡(jiǎn)單易用：金屬電容薄膜真空計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便,，只需連接電源和真空管路即可進(jìn)行測(cè)試,。同時(shí)，部分產(chǎn)品還具有自動(dòng)清零,、自動(dòng)校準(zhǔn)等功能,，使測(cè)試更加準(zhǔn)確、方便,。 杭州皮拉尼真空計(jì)公司真空計(jì)的讀數(shù)通常是不變的,，這是因?yàn)樗鼈兺ǔＪ褂靡粋€(gè)固定的參考?jí)毫?lái)校準(zhǔn)儀器。

皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成,。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,，內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件?？刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,，并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。根據(jù)測(cè)量方式的不同,，皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種：定電流式：在這種方式中,，通過(guò)加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時(shí),，燈絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,，從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)測(cè)量,，并轉(zhuǎn)換為真空壓力值,。定電壓式：在這種方式中，加熱燈絲上的電壓保持恒定,。當(dāng)真空壓力變化時(shí),，燈絲的溫度和電阻值也會(huì)相應(yīng)變化。通過(guò)測(cè)量通過(guò)燈絲的電流變化,，可以間接測(cè)量真空壓力,。

辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì)，已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,，產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì),。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,，填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),，已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,，產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,，填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響,。皮拉尼真空計(jì)在測(cè)量過(guò)程中需要注意哪些安全問(wèn)題,？

陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜,、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域,。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫,、耐腐蝕,、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。主要特點(diǎn)耐高溫：陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作,。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環(huán)境,。絕緣性能：良好的電絕緣性，適合高電壓環(huán)境,。高精度：提供精確的真空度測(cè)量,。

陶瓷真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子對(duì)陶瓷元件的熱傳導(dǎo)或壓力效應(yīng)來(lái)確定真空度，常見類型包括：熱電偶真空計(jì)：利用氣體熱傳導(dǎo)變化測(cè)量壓力,。皮拉尼真空計(jì)：基于氣體熱傳導(dǎo)與壓力的關(guān)系,。電容式真空計(jì)：通過(guò)陶瓷薄膜的形變測(cè)量壓力。應(yīng)用領(lǐng)域 電容真空計(jì)的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計(jì)進(jìn)行比對(duì),。安徽mems電容真空計(jì)多少錢

真空計(jì)的適用壓力范圍是,？南京高質(zhì)量真空計(jì)

熱傳導(dǎo)真空計(jì)：利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測(cè)量氣體壓強(qiáng)。在這類真空計(jì)中,，以一定加熱電流通過(guò)裝有熱絲的規(guī)頭,，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù),，故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化,。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要用于100~10^-1帕范圍，采取特殊措施可擴(kuò)大測(cè)量范圍,。不過(guò),，熱傳導(dǎo)真空計(jì)的指示不但和氣體種類有關(guān),，而且易受熱絲表面污染,、環(huán)境溫度等因素影響，故準(zhǔn)確度不高，只作粗略的真空指示用,。粘滯真空計(jì)：利用在真空中轉(zhuǎn)動(dòng)或振動(dòng)的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運(yùn)動(dòng)衰減的現(xiàn)象來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng),。氣體分子的阻尼力與壓強(qiáng)有關(guān)。實(shí)際使用的粘滯真空計(jì)主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)和振膜真空計(jì),。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)利用可控磁場(chǎng)把不銹鋼球懸浮在真空中,，用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒，然后停止加速,，任其自然衰減,，用電子學(xué)方法精確測(cè)量其轉(zhuǎn)速衰減率，從而確定壓強(qiáng),。這種真空計(jì)具有很高的測(cè)量精度,，吸氣、放氣速率小,，壓強(qiáng)指示受氣體種類影響小,，如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計(jì)在高真空端的讀數(shù)受振動(dòng)影響較大,，測(cè)量時(shí)間也較長(zhǎng),。因此，它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)或用作標(biāo)準(zhǔn)傳遞真空計(jì),。南京高質(zhì)量真空計(jì)