2. 熱傳導(dǎo)真空計(jì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)通過(guò)氣體熱傳導(dǎo)的變化來(lái)測(cè)量壓力,，適用于低真空和中真空范圍。（1）皮拉尼真空計(jì)原理：利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測(cè)量壓力,。測(cè)量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr,。優(yōu)點(diǎn)：響應(yīng)快、成本低,。缺點(diǎn)：受氣體種類(lèi)影響較大,。應(yīng)用：普通真空系統(tǒng)監(jiān)測(cè)。（2）熱電偶真空計(jì)原理：通過(guò)熱電偶測(cè)量加熱絲溫度變化來(lái)間接測(cè)量壓力,。測(cè)量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr,。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性好,。缺點(diǎn)：精度較低,。應(yīng)用：低真空和中真空測(cè)量。電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用,？杭州皮拉尼真空計(jì)

陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域,。其**部件由陶瓷材料制成,，具有耐高溫、耐腐蝕,、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn),。主要特點(diǎn)耐高溫：陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環(huán)境,。絕緣性能：良好的電絕緣性,，適合高電壓環(huán)境。高精度：提供精確的真空度測(cè)量,。陶瓷真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子對(duì)陶瓷元件的熱傳導(dǎo)或壓力效應(yīng)來(lái)確定真空度,，常見(jiàn)類(lèi)型包括：熱電偶真空計(jì)：利用氣體熱傳導(dǎo)變化測(cè)量壓力。皮拉尼真空計(jì)：基于氣體熱傳導(dǎo)與壓力的關(guān)系,。電容式真空計(jì)：通過(guò)陶瓷薄膜的形變測(cè)量壓力,。應(yīng)用領(lǐng)域安徽金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家真空計(jì)校準(zhǔn)后為什么不準(zhǔn)了？

利用帶電粒子效用類(lèi)真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子在電場(chǎng)或磁場(chǎng)中被荷能粒子碰撞電離后產(chǎn)生的離子流或電子流來(lái)推算真空度,。典型**有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。a)熱陰極電離規(guī)通過(guò)加熱陰極使其發(fā)射電子，進(jìn)而與氣體分子發(fā)生碰撞并電離,。電離產(chǎn)生的離子流隨壓力變化,，通過(guò)測(cè)量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到壓力大小,。熱陰極電離規(guī)能夠提供高精度的真空度測(cè)量，常用于科研和高精度工業(yè)領(lǐng)域,。b)冷陰極電離規(guī)同熱陰極一樣,，也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理，不同的是,，冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,。在測(cè)量過(guò)程中無(wú)需加熱陰極，因此具有較低的能耗和更高的可靠性,。它特別適用于需要長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作的場(chǎng)合,，如大型科研設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)線。其測(cè)量精度和穩(wěn)定性也相當(dāng)出色,。

皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來(lái)測(cè)量真空度,。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲（通常為鉑絲），該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂（電阻）,。在測(cè)量過(guò)程中,，加熱絲由恒定電流加熱，溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí),，由于氣體分子數(shù)量減少,，加熱絲的熱導(dǎo)率降低，導(dǎo)致加熱絲溫度進(jìn)一步升高,。這一溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化,，通過(guò)惠斯通電橋測(cè)量電阻變化，即可間接獲得真空度的讀數(shù),。皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成,。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼，內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件,?？刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路，并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作,。真空計(jì)如何選型與使用,？

  常見(jiàn)的真空計(jì)類(lèi)型包括：直接讀取式真空計(jì)：如U型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等,，它們直接讀取氣體壓力,，其壓力響應(yīng)（刻度）可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。這類(lèi)真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,，且與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān),。相對(duì)真空計(jì)：如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等,，它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,，不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)行刻度，必須進(jìn)行校準(zhǔn),。這類(lèi)真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類(lèi)有關(guān),。電容式薄膜真空計(jì)：利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成，是一種絕壓,、全壓測(cè)量的真空計(jì),。它的測(cè)量直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān),，與氣體成分無(wú)關(guān),。電容真空計(jì)的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)。南京mems電容真空計(jì)設(shè)備廠家

真空計(jì)的讀數(shù)通常是不變的,，這是因?yàn)樗鼈兺ǔＪ褂靡粋€(gè)固定的參考?jí)毫?lái)校準(zhǔn)儀器,。杭州皮拉尼真空計(jì)

皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,，內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件,?？刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路，并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作,。根據(jù)測(cè)量方式的不同,，皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種：定電流式：在這種方式中，通過(guò)加熱燈絲的電流保持恒定,。當(dāng)真空壓力改變時(shí),，燈絲的溫度會(huì)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化,。這種電阻變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)測(cè)量,，并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式：在這種方式中,，加熱燈絲上的電壓保持恒定,。當(dāng)真空壓力變化時(shí)，燈絲的溫度和電阻值也會(huì)相應(yīng)變化,。通過(guò)測(cè)量通過(guò)燈絲的電流變化,，可以間接測(cè)量真空壓力。杭州皮拉尼真空計(jì)