我們往往需要通過灰度光刻的方式來實(shí)現(xiàn)微透鏡陣列結(jié)構(gòu)，灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版（掩膜接觸式光刻）或者計(jì)算機(jī)控制激光束或者電子束劑量從而達(dá)到在某些區(qū)域完全曝透，而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,，從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)（如下圖4所示,，八邊金字塔結(jié)構(gòu)）。微透鏡陣列也是類似,，可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài),。需要注意，灰度光刻方法獲得的微透鏡陣列的表面粗糙度相比于熱回流和噴墨法獲得的透鏡要大的多,，約為Ra=100nm,，前兩者可以會(huì)的Ra=50nm的球面。微納3D打印這種方法與灰度光刻有點(diǎn)類似,，但是原理不同,，我們常見的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合，利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu),，不僅只是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)（如下圖5所示）,，該方法的優(yōu)勢(shì)是可以完全按照設(shè)計(jì)獲得想要的結(jié)構(gòu)，后續(xù)可以通過LIGA工藝獲得金屬模具,，并通過納米壓印技術(shù)進(jìn)行復(fù)制,。雙光子灰度光刻技術(shù)多強(qiáng)大，如需了解詳情請(qǐng)咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司,。湖北高分辨率灰度光刻無掩光刻

    Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,，可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作，例如用光敏聚合物,，納米顆粒復(fù)合物,，或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人，并可以選擇添加金屬涂層,。此外,，微納米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）,。微米級(jí)增材制造能夠突破傳統(tǒng)微納光學(xué)設(shè)計(jì)的上限,，借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)的出色的性能，可以輕松實(shí)現(xiàn)球形,，非球形,，自由曲面或復(fù)雜3D微納光學(xué)元件制作，并具備出色的光學(xué)質(zhì)量表面和形狀精度,。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件（DOE）,，并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻,，刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝,，衍射光學(xué)元件（DOE）的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長且成本高,。而利用增材制造即可簡單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件，可以直接作為原型使用,，也可以作為批量生產(chǎn)母版工具,。 湖南2GL灰度光刻三維光刻N(yùn)anoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司邀您一起探討灰度光刻技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀。

德國Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會(huì)展 LASER World of Photonics上發(fā)布了全新工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng) Quantum X ,，并榮獲創(chuàng)新獎(jiǎng),。該系統(tǒng)是世界first基于雙光子灰度光刻技術(shù)（2GL®）的精密加工微納米打印系統(tǒng)，可應(yīng)用于折射和衍射微光學(xué),。該系統(tǒng)的面世表示著Nanoscribe已進(jìn)軍現(xiàn)代微加工工業(yè)領(lǐng)域,。具有全自動(dòng)化系統(tǒng)的Quantum X無論從外形或者使用體驗(yàn)上都更符合現(xiàn)代工業(yè)需求。這項(xiàng)技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動(dòng)態(tài)聚焦定位達(dá)到準(zhǔn)同步,，這種智能方法能夠輕松控制每個(gè)掃描平面的體素大小,，并在不影響速度的情況下，使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面,。該技術(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的精確性和靈活性結(jié)合,，使其同時(shí)具備高速打印，完全設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn),。從而滿足了復(fù)雜增材制造對(duì)于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求,。

微透鏡陣列對(duì)表面質(zhì)量和形貌要求比較高，因此對(duì)制備工藝提出了很嚴(yán)格的要求,?？蒲腥藛T提出了許多方法來實(shí)現(xiàn)具有高表面質(zhì)量的微透鏡陣列的高效制備，比如針對(duì)柔性材料的熱壓印成型方法實(shí)現(xiàn)了大面積微透鏡陣列,；利用灰度光刻工藝和轉(zhuǎn)印方法在柔性的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)襯底上實(shí)現(xiàn)了微透鏡陣列,；利用光刻和熱回流方式實(shí)現(xiàn)了基于聚二甲基硅氧烷材料的微透鏡陣列等。上述方法可以實(shí)現(xiàn)具有較高表面質(zhì)量的微透鏡陣列,，但通常需要使用復(fù)雜的工藝和步驟,。此外，這些微透鏡基質(zhì)通常為軟質(zhì)材料,，材料本身的機(jī)械抗性和耐酸堿的能力比較差,。相對(duì)而言，透明硬脆材料例如石英,、藍(lán)寶石等由于其極高的硬度和極強(qiáng)的化學(xué)穩(wěn)定性,，在光學(xué)窗口、光學(xué)元件等方面的應(yīng)用更加廣,。因此,，如何制備具有高表面質(zhì)量的透明硬脆材料微透鏡陣列等微光學(xué)元件成為研究人員研究的焦點(diǎn)。想要了解更多雙光子灰度光刻技術(shù),，請(qǐng)致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司,。

    作為基于雙光子聚合技術(shù)（2PP）的微納加工領(lǐng)域市場帶領(lǐng)者,，Nanoscribe在全球30多個(gè)國家擁有各科領(lǐng)域的客戶群體?；?PP微納加工技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí),，Nanoscribe為頂端科學(xué)研究和工業(yè)創(chuàng)新提供強(qiáng)大的技術(shù)支持,，并推動(dòng)生物打印,、微流體、微納光學(xué),、微機(jī)械,、生物醫(yī)學(xué)工程和集成光子學(xué)技術(shù)等不同領(lǐng)域的發(fā)展?！拔覀兎浅Ｆ诖尤隒ELLINK集團(tuán),，共同探索雙光子聚合技術(shù)在未來所帶來的更大機(jī)遇”NanoscribeCEOMartinHermatschweiler說道。Nanoscribe作為一家納米,，微米和中尺度高精度結(jié)構(gòu)增材制造**,，一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)和無掩模光刻系統(tǒng)，以及自研發(fā)的打印材料和特定應(yīng)用不同解決方案,。在全球頂端大學(xué)和創(chuàng)新科技企業(yè)的中,，有超過2,500多名用戶在使用我們突破性的3D微納加工技術(shù)和定制應(yīng)用解決方案。 Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)Quantum X適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件,。湖南2GL灰度光刻三維光刻

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目前，PPGT2,，Quantum X系列,，雙光子微納激光直寫系統(tǒng)，雙光子微納光刻系統(tǒng)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,，實(shí)驗(yàn)分析儀器等中產(chǎn)品的市場占比不斷上升,，行業(yè)技術(shù)上總體已達(dá)到的中等國際水平，少數(shù)產(chǎn)品接近或達(dá)到當(dāng)前較高國際水平,。儀器儀表在工業(yè)發(fā)展中具有重要作用,，這也使得儀器儀表得到快速發(fā)展。各行各業(yè)對(duì)儀器儀表的市場需求也在不斷提升,，貿(mào)易企業(yè)正在發(fā)展中尋求技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量提升,。儀器儀表的質(zhì)量、性能關(guān)系到工業(yè)安全,，必須重視,。目前我國作為Nanoscribe在中國全資子公司，納糯三維科技（上海）有限公司可進(jìn)行三維打印科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā),，技術(shù)轉(zhuǎn)讓,，技術(shù)咨詢,，技術(shù)服務(wù)，三維打印設(shè)備,，光電機(jī)一體化設(shè)備和相關(guān)零配件的批發(fā),，進(jìn)出口，傭金代理,，并提供相關(guān)配套服務(wù),，貿(mào)易信息咨詢，企業(yè)管理咨詢,。產(chǎn)品,，主要集中在中低檔市場，而市場則主要被國外品牌所占據(jù),。在某些領(lǐng)域,，國產(chǎn)產(chǎn)品甚至是空白，這就需要未來我國儀器儀表向市場進(jìn)軍,，擴(kuò)大產(chǎn)品占比,。從貿(mào)易廣義角度來說，儀器儀表也可具有自動(dòng)操控,、報(bào)警,、信號(hào)傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能，例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動(dòng)操控中的氣動(dòng)調(diào)節(jié)儀表,，和電動(dòng)調(diào)節(jié)儀表,，以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表。湖北高分辨率灰度光刻無掩光刻