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黑龍江2GL灰度光刻微納光刻

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-10-25

Quantum X 新型超高速無掩模光刻技術(shù)的重要部分是Nanoscribe獨(dú)有的雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合,,使其同時(shí)具備高速打印,,完全設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn)。從而滿足了高級(jí)復(fù)雜增材制造對(duì)于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求,。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計(jì)迭代,,打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗(yàn)證原型,也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具,。而且Nanoscribe的Quantum X打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作,。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求?;陔p光子灰度光刻技術(shù) (2GL ®)的Quantum X打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作,,即一步打印多級(jí)衍射光學(xué)元件,并以經(jīng)濟(jì)高效的方法將多達(dá)4,096層的設(shè)計(jì)加工成離散的或準(zhǔn)連續(xù)的拓?fù)?。Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您講解灰度光刻的特點(diǎn)和應(yīng)用,。黑龍江2GL灰度光刻微納光刻

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    Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,,例如用光敏聚合物,,納米顆粒復(fù)合物,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人,,并可以選擇添加金屬涂層,。此外,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),。微米級(jí)增材制造能夠突破傳統(tǒng)微納光學(xué)設(shè)計(jì)的上限,借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)的出色的性能,,可以輕松實(shí)現(xiàn)球形,,非球形,自由曲面或復(fù)雜3D微納光學(xué)元件制作,,并具備出色的光學(xué)質(zhì)量表面和形狀精度,。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件(DOE),并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí),。由于需要多次光刻,,刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝,衍射光學(xué)元件(DOE)的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高,。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件,,可以直接作為原型使用,也可以作為批量生產(chǎn)母版工具,。 德國(guó)德國(guó)灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)想要了解灰度光刻技術(shù)的運(yùn)用,,歡迎咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。

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在雙光子灰度光刻工藝中,,激光功率調(diào)制和動(dòng)態(tài)聚焦定位在高掃描速度下可實(shí)現(xiàn)同步進(jìn)行,,以便對(duì)每個(gè)掃描平面進(jìn)行全體素大小控制,。Nanoscribe稱,QuantumX在每個(gè)掃描區(qū)域內(nèi)可產(chǎn)生簡(jiǎn)單和復(fù)雜的光學(xué)形狀,,具有可變的特征高度,。離散和精確的步驟,以及本質(zhì)上為準(zhǔn)連續(xù)的形貌,,可以在一個(gè)步驟中完成打印,,而不需要多步光刻或多塊掩模制造。Quantum X支持多種類型襯底,,包括透明和不透明的襯底,,可用于比較大尺寸為6英寸的晶圓。Nanoscribe展示了其公司易于操作的光刻機(jī),,允許高縱橫比,,支持高結(jié)構(gòu),無需掩模,、旋涂和預(yù)烘烤或后烘烤,。

作為全球頭一臺(tái)雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),Quantum X可以打印出具有出色形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面的高精度微納光學(xué)聚合物母版,,可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序,,例如注塑,熱壓花和納米壓印等加工流程,,從而拓展微納加工工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用,。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結(jié)合得益于新技術(shù)的亞微米分辨率和靈活性的特點(diǎn),同時(shí)縮短創(chuàng)新微納光學(xué)器件(如衍射和折射光學(xué)器件)的整體制造時(shí)間,。另外,,QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求,?;陔p光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作,,即一步打印多級(jí)衍射光學(xué)元件,,并以經(jīng)濟(jì)高效的方法將多達(dá)4,096層的設(shè)計(jì)加工成離散的或準(zhǔn)連續(xù)的拓?fù)洹anoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(shù)(2GL ?)可用于工業(yè)領(lǐng)域2.5D微納米結(jié)構(gòu)原型母版制作,。

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    Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的子公司,,開發(fā)并提供用于納米、微米和中尺度的3D打印機(jī)以及光敏材料和工藝解決方案,。其口號(hào)是:“我們讓小物件變得重要”,,公司創(chuàng)始人開發(fā)出一種技術(shù),對(duì)智能手機(jī),、手持設(shè)備和醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域至關(guān)重要的3D打印產(chǎn)品,。通過基于雙光子聚合(2PP)的3D打印機(jī)投入市場(chǎng),,他們已經(jīng)為全球的大學(xué)和新興行業(yè)提供了新的解決方案,致力于3D微打印生命科學(xué)研究以及納米級(jí)3D打印光學(xué),,甚至利用他們的技術(shù)來開發(fā)創(chuàng)新的設(shè)備,,例如用于類固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法,,“Beer's定律對(duì)當(dāng)今的無掩模光刻設(shè)備施加了強(qiáng)大的限制,,QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,,提供了前所未有的設(shè)計(jì)自由度和易用性,,我們的客戶正在微加工的前沿工作?!凹{米標(biāo)記系統(tǒng)基于雙光子吸收,,這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過程。為了使用雙光子工藝制造3D物體,,使用含有單體和雙光子活性光引發(fā)劑的凝膠作為原料,。將激光照射到光敏材料上以形成納米尺寸的3D打印物體,其中吸收的光的強(qiáng)度非常高,。 聚焦Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,,給您講解灰度光刻技術(shù)。江蘇進(jìn)口灰度光刻系統(tǒng)

Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司邀您一起探討灰度光刻技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀,。黑龍江2GL灰度光刻微納光刻

光子集成電路 (Photonic Integrated Circuit,,PIC) 與電子集成電路類似,但不同的是電子集成電路集成的是晶體管,、電容器,、電阻器等電子器件,而光子集成電路集成的是各種不同的光學(xué)器件或光電器件,,比如激光器,、電光調(diào)制器、光電探測(cè)器,、光衰減器,、光復(fù)用/解復(fù)用器以及光放大器等。集成光子學(xué)可較廣地應(yīng)用于各種領(lǐng)域,,例如數(shù)據(jù)通訊,,激光雷達(dá)系統(tǒng)的自動(dòng)駕駛技術(shù)和YL領(lǐng)域中的移動(dòng)感應(yīng)設(shè)備等。而光子集成電路這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),,尤其是微型光子組件應(yīng)用,,可以很大程度縮小復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的尺寸并降低成本。光子集成電路的關(guān)鍵技術(shù)還在于連接接口,,例如光纖到芯片的連接,,可以有效提高集成度和功能性,。類似于這種接口的制造非常具有挑戰(zhàn)性,需要權(quán)衡對(duì)準(zhǔn),、效率和寬帶方面的種種要求,。針對(duì)這些困難,科學(xué)家們提出了寬帶光纖耦合概念,,并通過Nanoscribe的雙光子微納3D打印設(shè)備而制造的3D耦合器得以實(shí)現(xiàn),。黑龍江2GL灰度光刻微納光刻

納糯三維科技(上海)有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,,多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在上海市等地區(qū)的儀器儀表中始終保持良好的商業(yè)口碑,,成績(jī)讓我們喜悅,,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,,和諧溫馨的工作環(huán)境,,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無限潛力,,納糯三維科技供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來,,回首過去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來越激烈的市場(chǎng)氛圍,,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,,要不畏困難,,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,,共同走向輝煌回來,!