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浙江無掩膜光刻工藝

來源: 發(fā)布時間:2024-02-26

世界上頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX實現(xiàn)了2D和2.5D微納結(jié)構(gòu)的增材制造,。該無掩模光刻系統(tǒng)將灰度光刻的出色性能與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)的精度和靈活性相結(jié)合,從而達(dá)到亞微米分辨率并實現(xiàn)對體素大小的超快控制,,自動化打印以及特別高的形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面,。高精度的增材制造可打印出頂端的折射微納光學(xué)元件。得益于Nanoscribe雙光子灰度光刻技術(shù)所具有的設(shè)計自由度和光學(xué)質(zhì)量的特點,,您可以進(jìn)行幾乎任何形狀,,包括球形,非球形或者自由曲面和混合的創(chuàng)新設(shè)計,。歡迎咨詢,。無掩膜光刻技術(shù)也適用于制造精細(xì)的電子元件和結(jié)構(gòu)。浙江無掩膜光刻工藝

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Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2提供世界上分辨率非常高的3D無掩模光刻技術(shù),,用于快速,,精度非常高的微納加工,可以輕松3D微納光學(xué)制作,??梢源钆洳煌幕澹úA?,硅晶片,,光子和微流控芯片等,也可以實現(xiàn)芯片和光纖上直接打印,。我們的3D微納加工技術(shù)可以滿足您對于制作亞微米分辨率和毫米級尺寸的復(fù)雜微機械元件的要求,。3D設(shè)計的多功能性對于制作復(fù)雜且響應(yīng)迅速的高精度微型機械,,傳感器和執(zhí)行器是至關(guān)重要的?;陔p光子聚合原理的激光直寫技術(shù),,可適用于您的任何新穎創(chuàng)意的快速原型制作遼寧德國無掩膜光刻德國Nanoscribe雙光子無掩模光刻微納技術(shù)你想了解嗎?歡迎咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維,。

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Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2提供世界上分辨率非常高的3D無掩模光刻技術(shù),,用于快速,,精度非常高的微納加工,,可以輕松3D微納光學(xué)制作??梢源钆洳煌幕?,包括玻璃,硅晶片,,光子和微流控芯片等,,也可以實現(xiàn)芯片和光纖上直接打印。我們的3D微納加工技術(shù)可以滿足您對于制作亞微米分辨率和毫米級尺寸的復(fù)雜微機械元件的要求,。3D設(shè)計的多功能性對于制作復(fù)雜且響應(yīng)迅速的高精度微型機械,,傳感器和執(zhí)行器是至關(guān)重要的?;陔p光子聚合原理的激光直寫技術(shù),,可適用于您的任何新穎創(chuàng)意的快速原型制作;也適合科學(xué)家和工程師們在無需額外成本增加的前提下,,實現(xiàn)不同參數(shù)的創(chuàng)新3D結(jié)構(gòu)的制作

Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2提供世界上分辨率非常高的3D無掩模光刻技術(shù),,用于快速,精度非常高的微納加工,,可以輕松3D微納光學(xué)制作,。可以搭配不同的基板,,包括玻璃,,硅晶片,光子和微流控芯片等,,也可以實現(xiàn)芯片和光纖上直接打印,。我們的3D微納加工技術(shù)可以滿足您對于制作亞微米分辨率和毫米級尺寸的復(fù)雜微機械元件的要求。3D設(shè)計的多功能性對于制作復(fù)雜且響應(yīng)迅速的高精度微型機械,,傳感器和執(zhí)行器是至關(guān)重要的,。基于雙光子聚合原理的激光直寫技術(shù),,可適用于您的任何新穎創(chuàng)意的快速原型制作,;也適合科學(xué)家和工程師們在無需額外成本增加的前提下,,實現(xiàn)不同參數(shù)的創(chuàng)新3D結(jié)構(gòu)的制作。微米級增材制造能夠突破傳統(tǒng)微納光學(xué)設(shè)計的上限,,借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)的出色的性能,,可以輕松實現(xiàn)球形,非球形,,自由曲面或復(fù)雜3D微納光學(xué)元件制作,,并具備出色的光學(xué)質(zhì)量表面和形狀精度。而Nanoscribe公司基于雙光子聚合原理的無掩模光刻系統(tǒng)設(shè)計自由度高,,輕松實現(xiàn)收集光束傳輸?shù)讲▽?dǎo)中,。

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QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),,以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力,。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計自由度,。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義,。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備,,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),很大程度推動了生命科學(xué),,微流體,,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作。靈活性高:由于無需制作實體掩膜版,,無掩膜光刻技術(shù)可以快速地更改光刻圖案,,方便進(jìn)行試制和修改。湖北Nanoscribe無掩膜光刻無掩膜激光直寫

無掩膜光刻技術(shù)是一種先進(jìn)的微納加工技術(shù),。浙江無掩膜光刻工藝

作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),,QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面的高精度微納光學(xué)聚合物母版,可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序,,例如注塑,,熱壓花和納米壓印等加工流程,從而拓展微納加工工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用,。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結(jié)合得益于新技術(shù)的亞微米分辨率和靈活性的特點,,同時縮短創(chuàng)新微納光學(xué)器件(如衍射和折射光學(xué)器件)的整體制造時間。Nanoscribe的QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作,。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求,。基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實現(xiàn)一氣呵成的制作,,即一步打印多級衍射光學(xué)元件,,并以經(jīng)濟高效的方法將多達(dá)4,096層的設(shè)計加工成離散的或準(zhǔn)連續(xù)的拓?fù)?。浙江無掩膜光刻工藝