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吉林雙光子灰度光刻3D微納加工

來源: 發(fā)布時間:2024-04-09

微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,,但是原理不同,,我們常見的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術(shù),,利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu),,不光是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)(如下圖5所示),該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設(shè)計獲得想要的結(jié)構(gòu),,對于雙光子聚合的微結(jié)構(gòu),,我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結(jié)構(gòu)可以直接進行后續(xù)的復(fù)制工作,,并通過納米壓印技術(shù)進行復(fù)制,。灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版(掩膜接觸式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透,,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)(如下圖4所示,八邊金字塔結(jié)構(gòu)),。微透鏡陣列也是類似,,可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài)灰度光刻技術(shù)可用于制造復(fù)雜掩膜版。吉林雙光子灰度光刻3D微納加工

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該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),,可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計自由度,。Quantum X shape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義,。全新Quantum X shape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)Quantum X產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備,可實現(xiàn)在25 cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),,很大程度推動了生命科學(xué),,微流體,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作,。Quantum X shape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng),,非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造。北京灰度光刻設(shè)備微納3D打印和灰度光刻技術(shù)有什么區(qū)別,?

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Nanoscribe在全球30多個國家擁有各科領(lǐng)域的客戶群體,。基于2PP微納加工技術(shù)方面的專業(yè)知識,,Nanoscribe為頂端科學(xué)研究和工業(yè)創(chuàng)新提供強大的技術(shù)支持,,并推動生物打印、微流體,、微納光學(xué),、微機械、生物醫(yī)學(xué)工程和集成光子學(xué)技術(shù)等不同領(lǐng)域的發(fā)展,?!拔覀兎浅F诖尤隒ELLINK集團,共同探索雙光子聚合技術(shù)在未來所帶來的更大機遇”NanoscribeCEOMartinHermatschweiler說道。Nanoscribe作為一家納米,,微米和中尺度高精度結(jié)構(gòu)增材制造**,,一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)和無掩模光刻系統(tǒng),以及自研發(fā)的打印材料和特定應(yīng)用不同解決方案,。在全球頂端大學(xué)和創(chuàng)新科技企業(yè)的中,,有超過2,500多名用戶在使用我們突破性的3D微納加工技術(shù)和定制應(yīng)用解決方案。

   Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的子公司,,開發(fā)并提供用于納米,、微米和中尺度的3D打印機以及光敏材料和工藝解決方案。其口號是:“我們讓小物件變得重要”,,公司創(chuàng)始人開發(fā)出一種技術(shù),,對智能手機、手持設(shè)備和醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域至關(guān)重要的3D打印產(chǎn)品,。通過基于雙光子聚合(2PP)的3D打印機投入市場,,他們已經(jīng)為全球的大學(xué)和新興行業(yè)提供了新的解決方案,致力于3D微打印生命科學(xué)研究以及納米級3D打印光學(xué),,甚至利用他們的技術(shù)來開發(fā)創(chuàng)新的設(shè)備,,例如用于類固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法,,“Beer's定律對當(dāng)今的無掩模光刻設(shè)備施加了強大的限制,,QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,,提供了前所未有的設(shè)計自由度和易用性,我們的客戶正在微加工的前沿工作,。在灰度光刻技術(shù)的幫助下,,芯片制造商可以更好地滿足不斷增長的市場需求。

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傳感器對可控技術(shù)的重要性,,在眾多領(lǐng)域都是顯而易見的,,無論是從簡單的家用電器,還是到可穿戴設(shè)備,,甚至到航空應(yīng)用,,只有控制良好的流程才有被優(yōu)化的可能。理想的傳感器應(yīng)該具有高敏感度,,不易故障,,并且易于集成到流程中等優(yōu)點。光纖端面的微型傳感器在這個方面具有巨大的潛力,。這些傳感器空間占有率小,,可以輕松多路復(fù)用,并且不需要額外的外部能源供應(yīng)。對于這些基于光纖的傳感器的加工,,雙光子聚合技術(shù)已被證明是其完美的搭檔,。事實上,任何設(shè)計模型都能在微觀尺寸上被實現(xiàn),。然而,,大多數(shù)設(shè)計都是靜態(tài)的,打印出來的部件在被加工出來后不能進行進一步的活動,。Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您了解目前灰度光刻的發(fā)展,。北京高精度灰度光刻

歡迎咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)。吉林雙光子灰度光刻3D微納加工

作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),,Quantum X可以打印出具有出色形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面的高精度微納光學(xué)聚合物母版,,可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序,例如注塑,,熱壓花和納米壓印等加工流程,,從而拓展微納加工工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結(jié)合得益于新技術(shù)的亞微米分辨率和靈活性的特點,,同時縮短創(chuàng)新微納光學(xué)器件(如衍射和折射光學(xué)器件)的整體制造時間,。另外,QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作,。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求,。基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實現(xiàn)一氣呵成的制作吉林雙光子灰度光刻3D微納加工