光刻系統(tǒng)200包括照射系統(tǒng)230,。照射系統(tǒng)230包括光源205,，光源205產(chǎn)生脈沖光束210，并將脈沖光束210引導至對晶片220上的微電子特征進行圖案化的光刻曝光設備或掃描儀215,。晶片220放置在晶片臺222上,，晶片臺222構(gòu)造成保持晶片220并連接到定位器,，該定位器配置成根據(jù)某些參數(shù)準確地定位晶片220。光束210也被引導通過束準備系統(tǒng)212,，束準備系統(tǒng)212能夠包括修改光束210的多個方面的光學元件,。例如，束準備系統(tǒng)212能夠包括反射或折射光學元件,、光脈沖展寬器和光學光闌(包括自動遮蔽件),。光譜特征選擇系統(tǒng)250基于控制系統(tǒng)185的輸入來微調(diào)光源205的光譜輸出。光刻系統(tǒng)200使用具有例如在深紫外線(duv)范圍或極紫外線(euv)范圍內(nèi)的波長的光束210,。光刻系統(tǒng)100還包括測量(或量測)系統(tǒng)270和控制系統(tǒng)185,。量測系統(tǒng)270測量光束的一個或更多個光譜特征(諸如帶寬和/或波長)。量測系統(tǒng)270推薦地包括多個傳感器,。量測系統(tǒng)270接收被從束分離裝置260改變方向的光束210的一部分,，所述束分離裝置260放置在光源205和掃描儀215之間的路徑中。束分離裝置260將光束210的***部分引導至量測系統(tǒng)270中,，將光束210的第二部分朝向掃描儀215引導,。在一些實施方式中。車載線圈是由導線繞制成多個匝數(shù)和形狀的線圈,，可以產(chǎn)生強度較高的磁場和感應電勢,?；葜蓦姼芯€圈加工

    無線充電技術將加快普及速度,，逐步從智能手機向平板電腦、筆記本電腦,、可穿戴智能硬件,、醫(yī)療設備等多方面滲透，帶動行業(yè)整體發(fā)展,。在無線充電技術的推動之下,，電子線圈行業(yè)的發(fā)展會更加迅速,，在電子科技的投入也會越來越多，未來幾年市場上的線圈應用領域也會越來越來越***,，也將成為電子科技持續(xù)發(fā)展的主流趨勢,。而且隨著無線電技術的不斷進步，世界各主要國家均意識到無線電技術對于整個產(chǎn)業(yè)的支撐地位,，特別是為了應對國際金融危機,，它們紛紛調(diào)整電子技術政策，競相發(fā)展高科技無線充電器線圈,，以促進產(chǎn)業(yè)和國民經(jīng)濟的發(fā)展,。以東莞為例，線圈產(chǎn)業(yè)是東莞的重要支柱產(chǎn)業(yè)之一,，由于無線充電器線圈在電子行業(yè)的戰(zhàn)略地位,，東莞也從多方面進行了大力扶持。該城市非常重視無線充電器線圈的先進實用性,，各種功能部件在質(zhì)量,、性能上居世界前列。線圈生產(chǎn)制造業(yè)的另一個重要特點就是中小企業(yè)集中,，對此,，中國**采取一系列措施鼓勵中小企業(yè)積極進行研發(fā)和創(chuàng)新活動，提高競爭力,。如覆蓋范圍極廣的中小企業(yè)創(chuàng)新重點項目(ZIM),、為企業(yè)創(chuàng)新計劃提供長期低息的ERP項目等。國產(chǎn)扁平線圈迅速崛起近年來,，我國線圈行業(yè)取得許多進步,，經(jīng)濟規(guī)模實現(xiàn)“由小到大”的迅猛增長?；葜蓦姼芯€圈加工立繞線圈的特點是具有較高的自感值和較低的互感值,。

    基本功能是通過線圈將，電能以無線方式傳輸給電池,。只需把電池和接收設備放在充電平臺上即可對其進行充電,。實驗證明．雖然該系統(tǒng)還不能充電于無形之中．但已能做到將多個校電器放置于同一充電平臺上同時充電。免去接線的煩惱,。1無線充電器原理與結(jié)構(gòu)無線充電系統(tǒng)主要采用電磁感應原理,，通過線圈進行能量耦合實現(xiàn)能量的傳遞。如圖1所示,，系統(tǒng)工作時輸入端將交流市電經(jīng)全橋整流電路變換成直流電,，或用24V直流電端直接為系統(tǒng)供電。經(jīng)過電源管理模塊后輸出的直流電通過2M有源晶振逆變轉(zhuǎn)換成高頻交流電供給初級繞組,。通過2個電感線圈耦合能量,，次級線圈輸出的電流經(jīng)接受轉(zhuǎn)換電路變化成直流電為電池充電,。2．2發(fā)射電路模塊如圖3，主振電路采用2MHz有源晶振作為振蕩器,。有源晶振輸出的方波,，經(jīng)過二階低通濾波器濾除高次諧波，得到穩(wěn)定的正弦波輸出,。經(jīng)三極管13003及其外圍電路組成的丙類放大電路后輸出至線圈與電容組成的并聯(lián)諧振回路輻射出去．為接收部分提供能量,。2．2接收電路模塊測得與電容組成的并聯(lián)諧振回路的空芯耦合線圈的線徑為0．5mm，直徑為7cm,，電感為47uH,，載波頻率為2MHz。根據(jù)并聯(lián)諧振公式得匹配電容C約為140pF,。

具有廣泛的應用價值,。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,，顯而易見地,，下面描述中的附圖**是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講,，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下,，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明中無線充電線圈制作的流程示意圖,；其中,，圖中各附圖標記：01-銅箔；1-銅線圈層,；11-內(nèi)焊盤,；12-外焊盤；2-襯底,；3-***絕緣層,；4-第二絕緣層；5-導電銅膠帶,。具體實施方式為了使本發(fā)明要解決的技術問題,、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合實施例,，對本發(fā)明進行進一步詳細說明,。應當理解，此處所描述的具體實施例**用以解釋本發(fā)明,，并不用于限定本發(fā)明,。需要說明的是,，當元件被稱為“固定于”或“設置于”另一個元件,，它可以直接在另一個元件上或者間接在該另一個元件上,。當一個元件被稱為是“連接于”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或間接連接至該另一個元件上,。需要理解的是,。立繞扁平線圈的制造需要使用專業(yè)的繞線機和模具，繞制完成后需要進行熱處理和浸漆等工藝處理,。

    所述線圈具有實質(zhì)上平坦的***表面和實質(zhì)上平坦的第二表面,；和從所述實質(zhì)上平坦的***表面的至少一部分去除所述電絕緣材料。9.根據(jù)方面8所述的方法,，其中,，至少部分通過機加工執(zhí)行所述去除步驟。10.根據(jù)方面8所述的方法,，其中,，至少部分通過單點飛切執(zhí)行所述去除步驟。11.根據(jù)方面8所述的方法,，其中,，至少部分通過銑削執(zhí)行所述去除步驟。12.根據(jù)方面8所述的方法,，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：去除所述導體中的一些部分以調(diào)節(jié)所述線圈的電學屬性,。13.根據(jù)方面10所述的方法，其中,，所述電學屬性是電阻,。14.根據(jù)方面8所述的方法，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：測量所述線圈的電阻,。15.根據(jù)方面8所述的方法,，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：測量所述線圈的q因子。16.一種制造線圈的方法,，包括以下步驟：提供導電材料的片材,；用電絕緣材料的層覆蓋所述片材的至少一面；卷繞所述片材和層以形成卷,；和橫向于所述卷的長度切割所述卷以形成線圈,。以上描述包括多個實施例的示例。當然,，為了描述前述實施例的目的,，不可能描述部件或方法的每種可設想的組合，但是本領域的普通技術人員可以認識到,，各種實施例的許多進一步的組合和置換是可能的,。因此。立繞線圈可以用于制作各種電子設備中的濾波器、變壓器,、電感耦合器等,。惠州電感線圈加工

在制作鋁線圈時,，需要將鋁線纏繞在絕緣材料上,，并按照一定的匝數(shù)和形狀進行排列?；葜蓦姼芯€圈加工

    即相鄰銅線間的間隙)更均勻,，此外采用螺旋線加工的方式熱量累積少、效率更高,。采用本發(fā)明的方法,，可加工出縫寬精度為。進一步地,，為了防止加工完成的充電線圈受力變形,，導致線圈部分地方相連而影響充電效率，可以在加工過程中,，采用治具對銅箔/充電線圈進行固定,。具體的，可以在治具上設置若干通向治具的上表面(銅箔的承載面)的吸附孔,，通過對吸附孔抽氣實現(xiàn)對銅箔/充電線圈的固定,。還可以在治具的上表面上設置螺旋線槽，螺旋線槽正對螺旋切割線2,，較佳的是,，螺旋線槽的寬度略大于螺旋切割線的線寬，例如,，螺旋線槽的寬度為(d+)mm,，其中，d為螺旋切割線的線寬,?；谏鲜鰧嵤┓绞剑环N更為詳細的充電線圈加工方法包括如下步驟：(1)導入螺旋切割線圖檔至精密激光標記設備中,，并且將激光的螺旋線行進軌跡設置為螺旋圓,，螺旋圓直徑為d+，其中“d”為線圈縫寬,，可以確保減少毛刺,。對精密激光標記設備的加工參數(shù)進行設置，具體設置如下：表1精密激光標記設備的加工參數(shù)設置實例(2)將治具安裝在加工平臺上,，然后將沖壓好的銅箔放置于治具上,，打開吸附裝置，使治具的吸附孔將銅箔吸附固定。(3)開啟激光設備,，調(diào)整激光焦距到合適位置,，并進行激光切割。其中,?；葜蓦姼芯€圈加工