IGBT模塊中常用的絕緣陶瓷金屬化基板有Al2O3陶瓷基板和AlN陶瓷基板,。近年來,一種新型的絕緣陶瓷金屬化基板——Si3N4陶瓷基板也逐漸被應(yīng)用于IGBT模塊中,。Si3N4陶瓷基板具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性能,、強(qiáng)度,、高硬度,、高耐磨性,、高溫穩(wěn)定性和優(yōu)異的絕緣性能等特點(diǎn),,能夠滿足高功率,、高頻率,、高溫度等復(fù)雜工況下的應(yīng)用需求。同時,,Si3N4陶瓷基板還具有低介電常數(shù),、低介電損耗、低熱膨脹系數(shù)等優(yōu)點(diǎn),,能夠提高IGBT模塊的性能和可靠性,。目前,Si3N4陶瓷基板已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于IGBT模塊中,,成為了一種新型的絕緣陶瓷金屬化基板,。陶瓷金屬化可以使陶瓷表面具有更好的抗冷膨脹性能。茂名鍍鎳陶瓷金屬化規(guī)格
金屬材料具有良好的塑性,、延展性,、導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性,而陶瓷材料具有耐高溫,、耐磨,、耐腐蝕、高硬度和高絕緣性,,它們各有的應(yīng)用范圍,。陶瓷金屬化由美國化學(xué)家CharlesW.Wood和AlbertD.Wilson在20世紀(jì)初發(fā)明,將兩種材料結(jié)合起來,,以實現(xiàn)互補(bǔ)的性能,。他們于1903年開始研究將金屬涂層應(yīng)用于陶瓷表面的方法,并于1905年獲得了該技術(shù)的專,。該技術(shù)隨后被用于工業(yè)生產(chǎn),,以制造具有金屬外觀和性能的陶瓷產(chǎn)品,例如耐熱陶瓷和電子設(shè)備,。陶瓷金屬化是指將一層薄薄的金屬膜牢固地粘附在陶瓷表面,,以實現(xiàn)陶瓷與金屬之間的焊接,。陶瓷金屬化工藝多種多樣,包括鉬錳法,、鍍金法,、鍍銅法、鍍錫法,、鍍鎳法,、LAP法(激光輔助電鍍)。常見的金屬化陶瓷包括氧化鈹陶瓷,、氧化鋁陶瓷,、氮化鋁陶瓷和氮化硅陶瓷,。由于不同陶瓷材料的表面結(jié)構(gòu)不同,,不同的金屬化工藝適用于不同的陶瓷材料的金屬化。肇慶氧化鋯陶瓷金屬化價格陶瓷金屬化可以使陶瓷表面具有更好的抗拉伸性能,。
氧化鋁陶瓷金屬化工藝是將氧化鋁陶瓷表面涂覆一層金屬材料,,以提高其導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性,、耐磨性和耐腐蝕性等性能,。該工藝主要包括以下步驟:1.表面處理:將氧化鋁陶瓷表面進(jìn)行清洗、打磨,、去油等處理,,以保證金屬涂層與基材之間的牢固性。2.金屬涂覆:采用電鍍,、噴涂,、化學(xué)氣相沉積等方法將金屬涂覆在氧化鋁陶瓷表面上,常用的金屬包括銅,、銀,、鎳、鉻等,。3.燒結(jié)處理:將涂覆金屬的氧化鋁陶瓷進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)處理,,以使金屬與基材之間形成化學(xué)鍵合,提高涂層的牢固性和耐腐蝕性,。4.表面處理:對金屬涂層進(jìn)行打磨,、拋光等表面處理,以提高其光潔度和外觀質(zhì)量,。氧化鋁陶瓷金屬化工藝可以廣泛應(yīng)用于電子,、機(jī)械、化工等領(lǐng)域,,如電子元器件,、機(jī)械密封件,、化工閥門等。
其他陶瓷金屬化方法有:(1)機(jī)械連接法,、(2)厚膜法,、(3)激光活化金屬法;(4)化學(xué)鍍銅金屬化,;(6)薄膜法,。(1)機(jī)械連接法是采取合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計,將AlN基板與金屬連接在一起,,主要有熱套連接和螺栓連接兩種,。熱套連接是利用金屬與陶瓷兩種材料的熱膨脹系數(shù)存在較大差異和物質(zhì)的熱脹冷縮來實現(xiàn)連接的。機(jī)械連接法工藝簡單,,可行性好,,但它常常會產(chǎn)生應(yīng)力集中,不適用于高溫環(huán)境,。(2)厚膜法是讓金屬粉末在高溫還原性氣氛中,,在陶瓷表面上燒結(jié)成金屬膜。主要有Mo-Mn金屬化法和貴金屬(Ag,、Au,、Pd、Pt)厚膜金屬化法,。涂敷金屬可以用絲網(wǎng)印刷的方法,,根據(jù)金屬漿料粘度和絲網(wǎng)網(wǎng)孔尺寸不同,制備的金屬線路層厚度一般為10μm-20μm該方法工藝簡單,,適于自動化和多品種小批量生產(chǎn),,且導(dǎo)電性能好,但結(jié)合強(qiáng)度不夠高,,特別是高溫結(jié)合強(qiáng)度低,,且受溫度形象大。(3)激光活化金屬法是一種比較新穎的方法,,首先利用沉降法在氮化鋁陶瓷基板表面快速覆金屬,,并在室溫下通過激光掃描實現(xiàn)金屬在氮化鋁陶瓷基板表面金屬化。形成致密的金屬層,,且金屬層在氮化鋁陶瓷表面粒度分布均勻,。激光束是將部分能量傳遞給所鍍金屬和陶瓷基板,氮化鋁陶瓷基板與金屬層是通過一層熔融后形成的凝固態(tài)物質(zhì)緊密連接的,。 陶瓷金屬化可以使陶瓷表面具有更好的防腐蝕性能,。
迄今為止,陶瓷金屬化基板的新技術(shù)包括在陶瓷基板上絲網(wǎng)印刷通常是貴金屬油墨,或者沉積非常薄的真空沉積金屬化層以形成導(dǎo)電電路圖案,。這兩種技術(shù)都是昂貴的,。然而,一個非常大的市場已經(jīng)發(fā)展起來,,需要更便宜的方法和更有效的電路,。陶瓷上的薄膜電路通常由通過真空沉積技術(shù)之一沉積在陶瓷基板上的金屬薄膜組成。在這些技術(shù)中,,通常具有約0.02微米厚度的鉻或鉬膜充當(dāng)銅或金層的粘合劑,。光刻用于通過蝕刻掉多余的薄金屬膜來產(chǎn)生高分辨率圖案。這種導(dǎo)電圖案可以被電鍍至典型地7微米厚,。然而,,由于成本高,薄膜電路只限于特殊應(yīng)用,,例如高頻應(yīng)用,,其中高圖案分辨率至關(guān)重要。陶瓷金屬化可以提高陶瓷的導(dǎo)電性,、耐腐蝕性和耐磨性,。云浮銅陶瓷金屬化種類
陶瓷金屬化可以使陶瓷表面具有更好的抗熱疲勞性能。茂名鍍鎳陶瓷金屬化規(guī)格
陶瓷金屬化是一種將陶瓷表面涂覆金屬層的工藝,,可以提高陶瓷的導(dǎo)電性、耐腐蝕性和美觀性,。以下是幾種常見的陶瓷金屬化工藝:1.電鍍法:將陶瓷制品浸泡在電解液中,,通過電流作用將金屬離子還原成金屬沉積在陶瓷表面上。電鍍法可以制備出均勻,、致密的金屬層,,但需要先進(jìn)行表面處理,如鍍銅前需要先鍍鎳,。2.熱噴涂法:將金屬粉末噴射到陶瓷表面,,利用高溫將金屬粉末熔化并附著在陶瓷表面上。熱噴涂法可以制備出厚度較大的金屬層,,但需要注意控制噴涂溫度和壓力,,以避免陶瓷燒裂。3.化學(xué)氣相沉積法:將金屬有機(jī)化合物蒸發(fā)在陶瓷表面,,利用化學(xué)反應(yīng)將金屬沉積在陶瓷表面上,。化學(xué)氣相沉積法可以制備出高質(zhì)量,、均勻的金屬層,,但需要控制反應(yīng)條件和金屬有機(jī)化合物的選擇。4.真空蒸鍍法:將金屬蒸發(fā)在真空環(huán)境下,利用金屬蒸汽沉積在陶瓷表面上,。真空蒸鍍法可以制備出高質(zhì)量,、致密的金屬層,但需要先進(jìn)行表面處理,,如鍍鉻前需要先進(jìn)行氧化處理,。5.氧化物還原法:將金屬氧化物和陶瓷表面接觸,利用高溫還原反應(yīng)將金屬沉積在陶瓷表面上,。氧化物還原法可以制備出高質(zhì)量,、均勻的金屬層,但需要控制反應(yīng)條件和金屬氧化物的選擇,??傊煌奶沾山饘倩に嚫饔袃?yōu)缺點(diǎn),。 茂名鍍鎳陶瓷金屬化規(guī)格