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簡化高真空機組,,取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,,也可適當(dāng)加強前級泵的預(yù)抽能力,,進一步縮短抽氣時間,由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短,,所以前級泵的使用時間也很短,,因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用,而這往往是非?,F(xiàn)實的,。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機組得到的簡化,。在某些中真空應(yīng)用中,,需要進入10-1Pa范圍,這對羅茨泵的二級機組往往難于實現(xiàn),,而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數(shù)量級而進入10-1Pa,,所以中真空應(yīng)用也常用三級機組。真空泵市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大。VP0435A真空泵訂做費用
水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸,,可以獲得大的排氣量,,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,,即壓縮氣體過程溫度變化很小,。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面,無須對泵內(nèi)進行潤滑,,而且磨損很小,。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,,工作平穩(wěn)可靠,,操作簡單,維修方便,。水環(huán)式真空泵的缺點,,效率低,一般在30%左右,,較好的可達50%,。真空度低,這不只是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制,,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制,。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除易燃,、易爆的氣體,。由于沒有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體,、可凝性氣體和氣水混合物,。有了這些突出的特點,盡管它效率低,,仍然得到了普遍的應(yīng)用,。工業(yè)水環(huán)真空泵供應(yīng)費用真空干燥箱對于所烘的物料是有要求的,其一是不能含有大量的水,,其二是不能含有有機化合物,。
關(guān)于真空泵的發(fā)展,國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,,技術(shù)上已經(jīng)成熟,。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,,從而使壓縮熱得到平衡,,所以這種泵可以直排大氣,。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,,所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),,實際上也是屬于干泵,。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工,、塑料,、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡,、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,,所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),,實際上也是屬于干泵,。目前,,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油,、化工、塑料,、農(nóng)藥,、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,,尤其是濺射,、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長,。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,,稱之為低溫分子泵,,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走,。如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,,需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器,起到一個過濾的作用,。
擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內(nèi)保持不變,,但在壓強較高或很低時,抽速下降很快,。當(dāng)泵入口壓強很低時,,氣體從前級通過射流的反擴散會增加,,同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時,,大量氣體分子進入射流與蒸汽分子碰撞,,射流的定向速度衰減較大,增大了前級的反流,,抽速降低,;油擴散泵的極限壓強與前級側(cè)氣體的反擴散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓,、泵油的裂化程度,、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān),當(dāng)泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時,,泵的入口壓強不受出口壓強的影響,,氣體的反擴散對泵的極限壓強影響不大。油擴散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態(tài),,與蒸汽射流密度,、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。真空泵整體結(jié)構(gòu)不勻稱,,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側(cè),。吸氣真空泵制作報價
水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,。VP0435A真空泵訂做費用
由于真空泵的重心較高,,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵,。臥式泵的進氣口在上,,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,,可將排氣口從水平方向接出,,即進、排氣方向是相互垂直的,。此時,,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,,另一端堵死或接旁通閥,。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好,。一般大,、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝,。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,,轉(zhuǎn)子裝配方便,,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,,潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜,。VP0435A真空泵訂做費用
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