歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵,、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵,、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h,。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口,,其價(jià)格十分昂貴。所以,,我國(guó)應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣,、壓縮和排氣的,。深圳日東真空泵
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,分子增壓泵有極高的壓縮比,,這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能,,同時(shí)在中真空范圍也有較強(qiáng)的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵,,所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組,。具體地講由于分子增壓泵耐壓高,所以可使前級(jí)泵易于處于高流量狀態(tài),;而分子增壓泵吸入壓力高,,減緩了前級(jí)泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力,,保證了設(shè)備的使用效率,。VP0940真空泵求購(gòu)真空干燥箱對(duì)于所烘的物料是有要求的,其一是不能含有大量的水,,其二是不能含有有機(jī)化合物,。
當(dāng)真空泵中的葉輪順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí),,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,,水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán),。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度),。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn),,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,,且與端面上的吸氣口相通,,此時(shí)氣體被吸入,,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),,小腔由大變小,,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),,氣體便被排出泵外,。
真空泵在工作第1個(gè)月內(nèi),經(jīng)100小時(shí)更換潤(rùn)滑油,,以后每個(gè)500小時(shí),,換油一次。經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋,,保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常(以成滴漏出為宜),。定期檢查軸套的磨損情況,磨損較大后應(yīng)及時(shí)更換,。真空泵在寒冬季節(jié)使用時(shí),,停車后,需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈,。防止凍裂,。真空泵長(zhǎng)期停用,需將泵全部拆開,,擦干水分,,將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及結(jié)合處涂以油脂裝好,妥善保管,。對(duì)于真空泵的維護(hù)保養(yǎng)一定要做好,,不然真空泵的使用效果會(huì)減少。水環(huán)真空泵能獲得的極限真空為2000~4000Pa,。
爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu),,每級(jí)泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙,,即四級(jí)泵需嚴(yán)格控制8個(gè)端面間隙,泵在運(yùn)行時(shí)的熱膨脹及抽除粉未等時(shí)容易造成泵的故障,,另外爪式泵的多級(jí)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復(fù)雜性,,一般人員很難達(dá)到裝配要求;因爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu),,排氣通道復(fù)雜,,在抽除可凝性氣體時(shí)(例如:水蒸汽,有機(jī)溶劑氣體等),,在泵腔內(nèi)壓縮時(shí)會(huì)產(chǎn)生較多的液體,,這部分液體進(jìn)入泵的端面造成泵的負(fù)載明顯變大,四級(jí)爪形真空泵有8個(gè)端面,,不宜抽除大量可凝性氣體,。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的,。真空泵選型廠家直銷
液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),。深圳日東真空泵
為了使國(guó)產(chǎn)滑閥真空泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,,杜絕噴油和漏油,,提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,,直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大,。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,,價(jià)格又很低,,所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān),,價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜,,所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,,確保直聯(lián)泵在高速,、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力,。深圳日東真空泵
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