雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,,但在我國的石油、化工,、電力,、輕紡、造紙,、醫(yī)藥等領域仍然有著很大的市場,。在國外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,,只次于干泵,,所以很多外國公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡,不斷擴大在我國的市場份額,。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,,加工要求也不高,屬勞動密集型產(chǎn)品,,所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,,關鍵是要改進設計,縮小體積,,減輕重量,,提高效率,降低能耗,。由于滑閥泵比較耐用,、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥,、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴,。液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。上?;ふ婵毡?/p>
水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa,。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,,是屬于低壓的壓縮機,,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵開始用作自吸水泵,,而后逐漸用于石油,、化工、機械,、礦山,、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門,。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,,如真空過濾、真空引水,、真空送料,、真空蒸發(fā)、真空濃縮,、真空回潮和真空脫氣等,,水環(huán)泵得到普遍的應用。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展,,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視,。上海化工真空泵真空泵的傳動方式,,真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的,。
真空泵達到一定臨界壓力時,,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,,必然會引起真空機組不能正常工作,。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵,便可起到承上啟下的作用,,流量連續(xù),,而且各泵皆可工作在較好的狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍,,是適合的,,故又稱羅茨增壓泵,由于其壓縮比不高,,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍,。當三級高真空機組進入較高的真空度時,由于主泵的排氣流量明顯減少,,此時只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性,,在實際運用中這是經(jīng)常采用的方法,這樣可減少機組的能耗,。
歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,,提高了產(chǎn)品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,,國外有多級羅茨真空泵,、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵,、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,,抽速從20m3/h~500m3/h,。據(jù)統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%,,國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,,其價格十分昂貴。所以,,我國應大力研究開發(fā)干泵,,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。當真空泵中的葉輪順時針方向旋轉時,,由于離心力的作用,,形成了一個決定于泵腔形狀的封閉圓環(huán)。
如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,,需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器,,起到一個過濾的作用。我們在使用真空干燥箱的同時,, 也一定要加強對于真空泵的維護,,及時給真空泵換油,延長它的使用壽命,。干式真空泵目前在國內仍處于起步階段,,國產(chǎn)替代進口將會成為日后的趨勢。干式真空泵對于制程的良率會產(chǎn)生較大的效果,。干泵替代現(xiàn)有的水泵,、油泵也是一個趨勢。1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,;轉子具有良好的幾何對稱性,,故振動小,運轉平穩(wěn),。水環(huán)真空泵泵腔內沒有金屬磨擦表面,,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小,。上?;ふ婵毡?/p>
真空泵普遍用于冶金、化工,、食品,、電子鍍膜等行業(yè)。上?;ふ婵毡?/p>
臥式往復真空泵一般為有油式,,立式多為無油式。羅茨泵在泵腔內,,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,,轉子與泵殼內壁之間,,保持有一定的間隙,可以實現(xiàn)高轉速運行,。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,,通常壓縮比很低,故高,、中真空泵需要前級泵,。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空,。為了提高泵的極限真空度,,可將羅茨泵串聯(lián)使用,。上海化工真空泵
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