低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量,。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè),、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn),。首先，分子泵要從小到大建立完整的系列,，并研究開(kāi)發(fā)出各種復(fù)合分子泵,、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要,。國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè),、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,。水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa,。化工防腐真空泵

擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變,，但在壓強(qiáng)較高或很低時(shí),，抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時(shí),，氣體從前級(jí)通過(guò)射流的反擴(kuò)散會(huì)增加,，同時(shí)工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強(qiáng)較高時(shí),，大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞,，射流的定向速度衰減較大，增大了前級(jí)的反流,，抽速降低,；油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級(jí)側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓,、泵油的裂化程度,、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān)，當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時(shí),，泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響,，氣體的反擴(kuò)散對(duì)泵的極限壓強(qiáng)影響不大。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級(jí)噴嘴的工作狀態(tài),，與蒸汽射流密度,、噴嘴蒸汽流量以及一級(jí)噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。真空泵設(shè)備供貨價(jià)格真空泵達(dá)到一定臨界壓力時(shí),，往往抽速會(huì)減小,。

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量,。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵,、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等,。極限壓力從10Pa～10-2Pa,，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％,，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴,。所以,，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn),。

在實(shí)際應(yīng)用中,，微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的：一類(lèi)是排氣很順暢，直通大氣,；另一類(lèi)是排氣阻力較大,，比如在排氣管路上有閥、細(xì)小彎管,、大阻尼傳感器,、非專(zhuān)門(mén)用的消音器、在液面以下排氣,、氣體排往密閉或半密閉容器等,。在現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造中，把面對(duì)不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對(duì)待,。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力,，讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡(jiǎn)單地說(shuō),，對(duì)于排氣阻力大的系統(tǒng),，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列,、PCF系列,；對(duì)于排氣阻力小的系統(tǒng)，選型范圍是：VM系列,、VAA系列,、PK系列、PC系列,、VCA系列,、VCC系列,、VCH系列、PH系列,。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,，水環(huán)真空泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。

由于真空泵的重心較高,，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進(jìn)氣口在上,，排氣口在下,。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出,，即進(jìn),、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口,，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥,。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大,、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu),。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,，轉(zhuǎn)子裝配方便,，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜,。往復(fù)真空泵中活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來(lái)完成的。電動(dòng)真空泵制造商

真空泵的維護(hù)檢查油的位置,。經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油?；し栏婵毡?/p>

水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸,，可以獲得大的排氣量，占地面積也小,。壓縮氣體基本上是等溫的,，即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑,，而且磨損很小,。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。吸氣均勻,，工作平穩(wěn)可靠,，操作簡(jiǎn)單，維修方便,。水環(huán)式真空泵的缺點(diǎn)，效率低,，一般在30%左右,，較好的可達(dá)50%。真空度低,，這不只是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制,，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,，故可以抽除易燃,、易爆的氣體。由于沒(méi)有排氣閥及摩擦表面,，故可以抽除帶塵埃的氣體,、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn),，盡管它效率低,，仍然得到了普遍的應(yīng)用?；し栏婵毡?/p>