在現(xiàn)代設(shè)計制造中,，把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待,?！芭艢饪谠试S較大阻力Por值”這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng),。簡單地說,，對于排氣阻力大的系統(tǒng)，我們的選型范圍是：FM系列,、FAA系列,、PCF系列；對于排氣阻力小的系統(tǒng),，選型范圍是：VM系列,、VAA系列、PK系列,、PC系列,、VCA系列、VCC系列,、VCH系列,、PH系列。根據(jù)我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了,。對于質(zhì)量欠佳的產(chǎn)品盡量不要選用,。真空泵泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥,。手動真空泵制造商

往復(fù)真空泵活塞從右端向左端運動,，此時吸氣閥關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮,，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力達(dá)到或稍大于一個大氣壓時,，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中,，完成一個工作循環(huán),。當(dāng)活塞再左向右運動時，又重復(fù)前一循環(huán),，如此反復(fù)下去,，被抽容器內(nèi)達(dá)到某一穩(wěn)定的平衡壓力。為提高抽氣效率,，一般在氣缸的兩端均設(shè)有吸氣閥和排氣閥,，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來。往復(fù)真空泵從安裝形式來分,，有臥式往復(fù)真空泵及立式往復(fù)真空泵,；從油潤滑來分，有有油往復(fù)真空泵及無油往復(fù)真空泵?；炇矣谜婵毡霉┴浌玖_茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,。

往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運動的活塞，活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)來完成的,。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,，以及機座、曲軸箱,、動密封和靜密封等輔助部件,。運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下,，通過曲柄連桿機構(gòu)的作用,，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時,，由于氣缸的左腔體積不斷增大,，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過程,，此時被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時,，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體,。

真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑,，摩擦損失小,，可降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速,；泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；泵腔內(nèi)無壓縮,，無排氣閥,。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,；壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差,；轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,，加工和檢查比較困難。結(jié)構(gòu),，泵總體結(jié)構(gòu)型式,。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,，裝配和連接管路都比較方便,。往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運動的活塞。

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量,。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵,、多級爪式真空泵,、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵,、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等,。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h,。據(jù)統(tǒng)計,，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口,，其價格十分昂貴,。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點,。冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用。不銹鋼真空泵廠商

由于真空泵的重心較高,，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,，故這種型式多用于小泵。手動真空泵制造商

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子,、半導(dǎo)體、制藥,、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備,。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),，在殼體上開有冷卻水通道,，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑,，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果,。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件,，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件,。在傳動方式上,，目前通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動,。手動真空泵制造商