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通常總是不加區(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統(tǒng)稱為微型真空泵,,但從技術(shù)角度二者是有區(qū)別的,,選型時更要特別注意。簡而言之,,氣體采樣泵只能帶小負(fù)載(即:泵抽氣端阻力不能太大),,但價格便宜;嚴(yán)格意義上的微型真空泵可以帶大負(fù)載(抽氣端允許大阻力,,甚至完全堵塞),,但價格稍貴。氣體采樣泵有:PM系列(具體型號如:PM950.2,、PM850.5,、PM8001,、PM7002,、PM6503);微型真空泵有:VM系列,、VAA系列,、PK系列、PC系列,、VCA系列,、VCC系列,、VCH系列、PH系列,、FM系列,、FAA系列、PCF系列,,這些系列下的所有規(guī)格都是真正的微型真空泵,,如VM7002、VAA6005,、PC3025等,。真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵,、滑閥泵,、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵,?;し栏婵毡弥圃焐?/p>
擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變,但在壓強(qiáng)較高或很低時,,抽速下降很快,。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時,氣體從前級通過射流的反擴(kuò)散會增加,,同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯,。入口壓強(qiáng)較高時,大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞,,射流的定向速度衰減較大,,增大了前級的反流,抽速降低,;油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級側(cè)氣體的反擴(kuò)散,、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度,、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān),,當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時,泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響,,氣體的反擴(kuò)散對泵的極限壓強(qiáng)影響不大,。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級噴嘴的工作狀態(tài),與蒸汽射流密度,、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān),。化工防腐真空泵制造商往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動的活塞,。
羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣,,在0°位置時,,下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時,,該腔與排氣口相通,。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,引起一部分氣體返沖過來,。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時,,下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外,。這時,,上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時,,上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,,重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的,。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體,。
歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量,。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵,、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等,。極限壓力從10Pa~10-2Pa,,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,,目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口,其價格十分昂貴,。所以,,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn),。真空泵是指利用機(jī)械,、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備,。
高真空機(jī)組往往需要三級機(jī)組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制,。泵都有起始工作壓強(qiáng),傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍,。因此前級泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作,。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間,因為隨著壓力降低泵的抽速在減小,,特別是對于周期性抽氣的真空機(jī)組,,對達(dá)到工作真空度的時間是有要求的,預(yù)抽時間越長,,進(jìn)入工作真空度的時間也越長,,故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合,可在較短的時間達(dá)到主泵可以工作的壓力,。液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),。化工防腐真空泵制造商
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化,?;し栏婵毡弥圃焐?/p>
有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨真空泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運(yùn)行的可靠性,。目前,,國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨真空泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟,。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得平衡,,所以這種泵可以直排大氣,。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,,所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級?;し栏婵毡弥圃焐?/p>
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