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附近真空泵常用知識(shí)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-09-23

EdwardsiGX半導(dǎo)體干式真空泵iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護(hù)設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。提高效率降低了擁有成本,,并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務(wù),。iGX干泵包括以太網(wǎng)連接,允許通過(guò)網(wǎng)頁(yè)查看關(guān)鍵數(shù)據(jù),,以及一套***的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng),,以確保泵的持續(xù)可用性。iGX泵提供各種峰值速度和變體,,可滿(mǎn)足從清潔到中型工藝的應(yīng)用,。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶(hù)配置iGX干泵以滿(mǎn)足個(gè)別晶圓廠的要求。超緊湊的占地面積允許安裝選項(xiàng),,包括工具上、近距離或遠(yuǎn)程,。iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護(hù)設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn),。提高效率降低了擁有成本,并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務(wù)iGX干泵--iGX1000N真空泵維修,,干泵維修iGX干式泵--iGX100L干式真空泵維修iGX干泵--iGX100M干式真空泵維修,,干泵維修,半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX100MTI干式真空泵維修,,干泵維修,,半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX100N干式真空泵維修,干泵維修,,半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600L干式真空泵維修,,干泵維修,半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600M干式真空泵維修,干泵維修,,半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600N干式真空泵維修,,干泵維修,半導(dǎo)體真空泵維修,。Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶(hù)的信賴(lài),,包括半導(dǎo)體和液晶制造領(lǐng)域。附近真空泵常用知識(shí)

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其他用途還有木材烘干處理,、蒸汽回收,、溶劑回收、土壤凈化等等結(jié)構(gòu)特點(diǎn)1,、機(jī)泵同軸式直聯(lián)設(shè)計(jì),,可靠性高,易于安裝,,比傳統(tǒng)真空泵體積少30%,,2、采用機(jī)械密封作為標(biāo)準(zhǔn)配置,,消除了泄露,,采用無(wú)油設(shè)計(jì),基本上免于維護(hù)3,、采用Y2系列電動(dòng)機(jī),,防護(hù)等級(jí)為IP54;4,、運(yùn)行平穩(wěn),,噪音可低至62分貝;5,、統(tǒng)一的耐腐蝕設(shè)計(jì),,青銅葉輪強(qiáng)度高,經(jīng)久耐用,,并提高了泵的耐腐蝕性,,過(guò)流部件采用不銹鋼材質(zhì)則適用于更為苛刻的應(yīng)用環(huán)境;6,、的柔性排氣口設(shè)計(jì),,不會(huì)產(chǎn)生過(guò)壓縮,確保了2BV系列真空泵在其性能范圍內(nèi)效率江蘇真空泵設(shè)備廠家TXD系列產(chǎn)品采用整體式缸體結(jié)構(gòu),,從結(jié)構(gòu)上保證缸 體 的 精 度和變形對(duì)真空泵的影響同時(shí)采用頂面切點(diǎn)圓弧設(shè)計(jì),。

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產(chǎn)品特性:1.整體式缸體靜音運(yùn)行TXD系列產(chǎn)品采用整體式缸體結(jié)構(gòu),從結(jié)構(gòu)上保證缸體的精度和變形對(duì)真空泵的影響,,同時(shí)采用頂面切點(diǎn)圓弧設(shè)計(jì),,使產(chǎn)品的限真空穩(wěn)定在4×10Pa以下。2.強(qiáng)制進(jìn)油系統(tǒng)強(qiáng)制潤(rùn)滑可靠運(yùn)行TXD系列產(chǎn)品采用內(nèi)置油泵循環(huán)強(qiáng)制進(jìn)油系統(tǒng),對(duì)泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤(rùn)滑,,因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下較長(zhǎng)時(shí)間工作,。3.防返油進(jìn)氣口閥迅速關(guān)閉防止返流TXD系列產(chǎn)品采用自動(dòng)防返油閥結(jié)構(gòu),可在停泵時(shí)自動(dòng)切斷被抽系統(tǒng),,保證系統(tǒng)的真空及不被污染,。4.可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)強(qiáng)的水蒸汽處理能力TXD系列產(chǎn)品裝有可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn),保證強(qiáng)的耐水蒸汽能力,,有效排除可凝性氣體,。5.大散熱設(shè)計(jì)低溫運(yùn)行結(jié)構(gòu)原理:真空泵為雙級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵,產(chǎn)品以高可靠性,、低噪音和高限真空度為設(shè)計(jì)定位,,通過(guò)采用世界的整體式泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),強(qiáng)制油泵潤(rùn)滑油壓控制系統(tǒng),,同時(shí)具有不同滲氣的氣鎮(zhèn)閥設(shè)計(jì)使得產(chǎn)品在不同使用環(huán)境中保持高可靠性,。用途及使用范圍:TXD系列真空泵是真空應(yīng)用領(lǐng)域中基本的真空獲得設(shè)備,特別適用于需要獲得高限真空低噪音環(huán)境的科研,、教學(xué),、實(shí)驗(yàn)室、分析儀器,、醫(yī)療器械,、真空鍍膜等不同真空應(yīng)用領(lǐng)域。TXD系列真空泵可作為中,、低真空系統(tǒng)的主軸泵,,也可以作為羅茨泵、擴(kuò)散泵

結(jié)構(gòu)原理:真空泵為雙級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵,,產(chǎn)品以高可靠性,、低噪音和高限真空度為設(shè)計(jì)定位,通過(guò)采用世界的整體式泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),,強(qiáng)制油泵潤(rùn)滑油壓控制系統(tǒng),,同時(shí)具有不同滲氣的氣鎮(zhèn)閥設(shè)計(jì)使得產(chǎn)品在不同使用環(huán)境中保持高可靠性。用途及使用范圍:TXD系列真空泵是真空應(yīng)用領(lǐng)域中基本的真空獲得設(shè)備,,特別適用于需要獲得高限真空低噪音環(huán)境的科研、教學(xué),、實(shí)驗(yàn)室,、分析儀器、醫(yī)療器械,、真空鍍膜等不同真空應(yīng)用領(lǐng)域,。TXD系列真空泵可作為中、低真空系統(tǒng)的主軸泵,也可以作為羅茨泵,、擴(kuò)散泵,、分子泵等中高真空、超高真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,。旋片式真空泵系統(tǒng):2臺(tái)(1臺(tái))旋片泵+儲(chǔ)氣罐,。

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真空原理:TRP系列羅茨真空泵是利用兩個(gè)8字形轉(zhuǎn)子相互垂直安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1:1的一對(duì)齒輪坐反向同步旋轉(zhuǎn),,在轉(zhuǎn)子之間,、轉(zhuǎn)子與泵腔之間保持一定的間隙,進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn),,從而完成吸氣和排氣的過(guò)程,,達(dá)到抽出系統(tǒng)內(nèi)氣體的目的。泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子處于位置1和2時(shí),,進(jìn)氣口側(cè)內(nèi)體積增加,。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)到位置3時(shí),一部分容積從進(jìn)氣口側(cè)被分離出來(lái),。在位置4時(shí),,這個(gè)容積開(kāi)放到排氣口測(cè)流入。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),,氣體通過(guò)排氣口排出,。轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)動(dòng)一圈完成兩次以上的過(guò)程。羅茨泵進(jìn)氣口和排氣口之間的壓差是受到限制的,。TRP系列羅茨泵在進(jìn)排氣口間設(shè)置了一旁通閥(2),,當(dāng)今氣口的壓差達(dá)到一定值時(shí),旁通閥就自動(dòng)打開(kāi),,排氣口處的部分氣體通過(guò)旁通閥和反流通道(1)反流到進(jìn)氣口,,這就**降低了高壓差下羅茨泵和前級(jí)泵的運(yùn)行負(fù)荷。同時(shí),,因?yàn)榇蜷_(kāi)的旁通閥具有泄流作用,,可確保TRP系列真空泵和前級(jí)泵可以同時(shí)啟動(dòng)而不會(huì)使羅茨泵和前級(jí)泵過(guò)載。由于羅茨泵不能單獨(dú)工作,,必須與前級(jí)泵(如旋片泵,、滑閥泵、水環(huán)泵等)組成羅茨泵機(jī)組使用,,若欲獲得更高的真空度,,可采用兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)組成三級(jí)羅茨泵機(jī)組。穩(wěn)定可靠:我們的真空泵采用好材料和精密制造工藝,,具有良好的抗腐蝕性和耐用性,。附近真空泵常用知識(shí)

用戶(hù)可以通過(guò)界面直觀地調(diào)整參數(shù)和監(jiān)測(cè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),,提高操作便利性和工作安全性。附近真空泵常用知識(shí)

性能:?100號(hào)真空泵油具有適宜的粘度,,在低溫下能使真空泵迅速啟動(dòng),,在高溫下具有良好的密封性;?分別滿(mǎn)足規(guī)定要求的真空度和使用場(chǎng)合,;?較好的抗乳化性,,適應(yīng)于常規(guī)生產(chǎn)環(huán)境和工況要求;?較好的抗泡沫性,,減少由于溢流,、斷流引起泵體的磨損。?100號(hào)真空泵油在使用過(guò)程中不易氧化,,延長(zhǎng)換油周期,,產(chǎn)生油泥少減少對(duì)泵部件的磨損和腐蝕,延長(zhǎng)泵的使用壽命

用途:?適用于8L-70L旋片真空泵適用客戶(hù):?沈陽(yáng)恒星,、成都南光,、北京北儀、上海真空泵,、浙江力鑫包裝:?16L/桶,、200L/桶 附近真空泵常用知識(shí)