EdwardsiGX半導體干式真空泵iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護設定了新標準。提高效率降低了擁有成本,，并在整個壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務,。iGX干泵包括以太網(wǎng)連接,，允許通過網(wǎng)頁查看關鍵數(shù)據(jù)，以及一套***的網(wǎng)絡選項,，以確保泵的持續(xù)可用性,。iGX泵提供各種峰值速度和變體，可滿足從清潔到中型工藝的應用,。模塊化設計允許用戶配置iGX干泵以滿足個別晶圓廠的要求,。超緊湊的占地面積允許安裝選項,，包括工具上,、近距離或遠程。iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護設定了新標準,。提高效率降低了擁有成本,，并在整個壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務iGX干泵--iGX1000N真空泵維修，干泵維修iGX干式泵--iGX100L干式真空泵維修iGX干泵--iGX100M干式真空泵維修,，干泵維修,，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX100MTI干式真空泵維修，干泵維修,，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX100N干式真空泵維修,，干泵維修，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX600L干式真空泵維修,，干泵維修,，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX600M干式真空泵維修，干泵維修,，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX600N干式真空泵維修,，干泵維修，半導體真空泵維修,。在真空熱處理過程中,，真空泵有助于控制溫度和氣氛，優(yōu)化材料性能,。廈門真空泵常用知識

（1）以德國萊寶真空泵維修為例,，首先要分析真空泵的故障原因。a)若是真空泵已返油,，用手扳動皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周,，即可起動。b)若是由于長期不運轉(zhuǎn)或停機后未放入大氣,，可以將真空泵腔內(nèi)充滿真空泵油,，然后用手扳動皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，即可起動,。若是油溫太低導致的啟動困難,，那么就應給油加溫或讓室內(nèi)溫度保持在15度以上,，也可以用手扳動皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，再繼續(xù)通電運轉(zhuǎn)數(shù)分鐘,，即可正常工作,。另外，油變質(zhì)了必須更換新的真空泵油,，電源缺相,，應檢修電源。油封旋片真空泵長期使用后,，會出現(xiàn)真空度下降,、密封處漏油、真空泵轉(zhuǎn)動停滯,、甚至發(fā)生“卡死”,、油污染嚴重、真空泵腔生銹,、旋片有大的撞擊聲,、真空泵腔內(nèi)落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異?，F(xiàn)象,，此時必須對真空泵進行拆洗。（2）德國萊寶真空泵維修拆洗步驟如下：a)切斷電源,，將真空泵從真空系統(tǒng)上卸下,，用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環(huán)境,；b)卸下皮帶,、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶);c)先拆低真空端，取下后端蓋,，再取出低真空轉(zhuǎn)子,、旋片及彈簧等；d)將前端蓋拆下,，取出高真空轉(zhuǎn)子,、旋片及彈簧等；e)取下視鏡,、排氣閥,、排氣蓋等,；廈門真空泵常用知識降低了操作難度和出錯率,，用戶只需簡單的操作就能實現(xiàn)設備的啟停和調(diào)節(jié),。

真空機組一般由真空泵、控制系統(tǒng),、儲氣罐,、真空管道,、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng),，實現(xiàn)對真空系統(tǒng),、工件行走、磁控靶,、工藝設定和執(zhí)行,、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。工作原理啟動系統(tǒng),，主真空泵組開始工作,，直到真空罐內(nèi)真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行,，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持,。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動,。由此循環(huán)往復，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源,，滿足生產(chǎn)的要求,。

PS系列泵型號如下：型號：PS-80、PS-160,、PS-180,、PS-602、PS-902,、PS-1302,、PS-1802PS系列S／N型特點：抽速：1,600~30,000升/分鐘；極限壓力：7.5x10-3~7.5x10-4Torr,；**監(jiān)控系統(tǒng)（選配）可防止泵異常停機,；配備變頻器和接口選項，泵可用于一般真空鍍膜,、真空烘箱,、熱處理、食品和化學工業(yè)應用,。

干式螺桿真空泵A／H型型號：PS-80,、PS-160、PS-180,、PS-602,、PS-902、PS-1302,、PS-1802PS系列A／H型特點：抽速：1,600~30,000升/分鐘,；極限壓力：7.5x10-3~7.5x10-4Torr,；結(jié)合N2加熱系統(tǒng)，可減少氣體沉淀,，延長大修之間的運行時間,，延長泵的使用壽命。**監(jiān)控系統(tǒng)（選配）可以防止泵的異常停機,。適用于半導體,、TFT-LCD、LED,、太陽能相關,、電池和熱處理行業(yè)應用。 真空泵是實驗室中不可或缺的設備,，它能夠有效地創(chuàng)造出所需的真空環(huán)境,，確保實驗的精確性和可靠性。

供應萊寶真空泵維修型號：萊寶SV系列泵浦,，萊寶雙級泵D系列泵浦,，如SV10B、SV16B,、SV25B,、SV40B、SV65B,、SV100B,、SV120B、SV200,、SV300,、SV300B、SV500B,、SV630B,、SV630BF、SV750B,、SV750BF等,。雙級旋片式真空泵D8C、D16C,、D30C,、D40C、D60C,、D65B,、D25B、D8A,、D60A,、D30A等普旭真空泵維修型號：RA0020,、RA0040、RA0063,、RA0100,、RA0160、RA0250,、RA0302,、RA0630、R5-0004B,、R5-0008B,、R5-0010C、R5-0016C,、R5-0021C,、R5-0025F、R5-0040F,、R5-0063F,、R5-0100F、R5-0160D,、R5-0202D,、R5-0250D、R5-0302D,、R5-0400B、R5-0502B,、R5-0630B,、里其樂真空泵維修型號：VC50、VC75,、VC100,、VC150、VC200,、VC300,、VC500、VC700,、VGC050,、VGC075、VGC0100,、VGC0150,、VGC0200、VGC0300,、VGC0400,、VGC0500,、VGC0700、貝克真空泵維修型號：U3.6,、U4.20,、U4.40、U4.70,、U4.100,、U4.165、U4.190,、U4.250,、U4.400、U4.630,、無油旋片真空泵VT4.4,、VT4.8、VT4.10,、VT4.16,、VT4.25、VT4.40,、DVT3.60,、DVT3.80、DVT3.100,、DVT3.140,、VTLF200、VTLF250,、VTLF360,、VTLF400、VTLF500離子泵不僅能提供高真空,，還能有效去除帶電粒子,，保持環(huán)境的純凈。廈門真空泵常用知識

分子泵在超高真空系統(tǒng)中表現(xiàn)出色,，能有效排除殘留氣體分子,。廈門真空泵常用知識

注意事項：?特油100號真空泵油換油時真空泵油換油時必須將舊油排放干凈，將新油從泵的吸氣口倒入,，并用手緩慢轉(zhuǎn)動泵軸,，清掃泵腔并排盡殘油，再重復清洗泵腔數(shù)次,，然后將泵殼內(nèi)的殘油洗凈裝入新油,；?100號真空泵油要配備zhuan用加油工具，不能使用盛過其它油或溶劑的容器；?不同牌號,，不同品種的油不能混用,，新舊油不能混用。性能：150號真空泵油（一級品）具有適宜的粘度,，在低溫下能使真空泵迅速啟動,，在高溫下具有良好的密封性；分別滿足規(guī)定要求的真空度和使用場合,；較好的抗氧化性和熱穩(wěn)定性,，降低油垢和結(jié)焦的產(chǎn)生，生產(chǎn)效率更高,，延長換油周期,；粘度指數(shù)高、閃點高,，150號真空泵油（一級品）在泵溫升高時能保持穩(wěn)定的真空壓強,，ji限真空更低；較好的抗乳化性,，油水分離性強,，產(chǎn)生油泥少，長期使用更加清潔,；150號真空泵油（一級品）較好的抗泡沫性,，減少由于溢流、斷流引起泵體的磨損,，延長泵的使用壽命,。廈門真空泵常用知識