微小孔的加工一直是機(jī)械制造中的一個(gè)難點(diǎn),，圍繞這個(gè)問(wèn)題研究人員進(jìn)行了大量研究。目前可用于加工微小孔的方法有：機(jī)械加工,、激光加工,、電火花加工,、超聲加工、電子束加工及復(fù)合加工等,。有關(guān)各種方法可加工的微小孔直徑范圍已有較多的報(bào)道,，而對(duì)于加工所得微小孔側(cè)壁粗糙度的研究卻比較少。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)品的日益精密化,、集成化和微型化,，微小孔越來(lái)越廣地應(yīng)用于汽車、電子,、光纖通訊和流體控制等領(lǐng)域,，這些應(yīng)用對(duì)微小孔的加工也提出了更高的要求?；瘜W(xué)蝕刻微孔加工利用特定化學(xué)試劑與材料的化學(xué)反應(yīng)來(lái)蝕除材料形成微孔,，大面積微孔陣列時(shí)有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。南通金屬微孔加工

由于PEEK材料的特性,，在高精度微孔深孔加工中存在諸多加工難點(diǎn),，極易出現(xiàn)變形、炸裂,、斷刀等情況,。本次項(xiàng)目Kasite微納加工中心PEEK導(dǎo)向柱微小孔深孔加工，在主軸轉(zhuǎn)速,、進(jìn)給量、進(jìn)給速度等工藝方面進(jìn)行了優(yōu)化,，實(shí)現(xiàn)了獨(dú)特的技術(shù)突破,，搞定了微孔深孔加工存在的技術(shù)難點(diǎn)！加工要求：PEEK導(dǎo)向柱超高精度深孔加工,，孔洞加工深度23mm,，直徑0.256mm，正向精度±0.005mm,?？锥刺幱谥w中心位置，精度：±0.02mm,。對(duì)深孔的圓度,、中心垂直度、位置精度要求高,，并且要求內(nèi)孔表面光滑無(wú)毛刺,。加工難點(diǎn)：1.PEEK材料膨脹系數(shù)比金屬大，極易出現(xiàn)毛刺,、變形,、開(kāi)裂等加工問(wèn)題,。2.深孔孔徑與孔深比高達(dá)1:90，加工難度極大,。3.鉆孔后出現(xiàn)孔不圓,、位置精度差、中心線不直等情況,。4.深孔加工中刀具極易磨損或者崩刀,、斷刀。東莞激光微孔加工廠寧波米控機(jī)器人科技有限公司的微孔加工技術(shù)在半導(dǎo)體制造中表現(xiàn)優(yōu)異,。

不銹鋼微孔加工,，介于傳統(tǒng)加工和微細(xì)加工之間。雖然可以采用激光加工微孔,，但加工過(guò)程中通過(guò)高溫切割,，會(huì)改變材料性質(zhì)，也會(huì)因?yàn)楦邷囟a(chǎn)生變形,。用電火花也可以加工0.15mm直徑的微孔,，但微孔孔壁會(huì)留下再鑄層，影響微孔的使用壽命,，使得微孔的孔壁表面質(zhì)量發(fā)生惡化,。用機(jī)械鉆孔加工，鉆頭非常容易斷,，微孔的出口處會(huì)留下毛刺,，這些毛刺會(huì)影響裝配的效果。這些微孔只有在高倍顯微鏡下才能看到,，許多微小型鉆孔的決定因素也類似于標(biāo)準(zhǔn)尺寸的鉆削加工,。數(shù)印通根據(jù)零件的種類、內(nèi)孔直徑,、形狀,、尺寸精度和深度等，采用蝕刻優(yōu)版加工,，先將客戶需要的不銹鋼微孔的圖文在電腦中定稿,，將定制好的圖文通過(guò)蝕刻優(yōu)版軟件和噴墨印刷打印設(shè)備，直接對(duì)工件按需進(jìn)行噴印蝕刻掩膜層,，然后進(jìn)入蝕刻環(huán)節(jié),。

在微孔加工過(guò)程中應(yīng)避免出現(xiàn)孔徑擴(kuò)大孔直線度過(guò)大.工件表.面粗糙度差及鉆頭過(guò)快磨損等問(wèn)題，以防影響鉆孔質(zhì)量和增大加工成本,，應(yīng)盡量保證以下的技術(shù)要求:①尺寸精度:孔的直徑和深度尺寸的精度;②形狀精度:孔的圓度,、圓柱度及軸線的直線度;③位置精度:孔與孔軸線或孔與外圓軸線的同軸度;孑L與孔或孔與其他表面之間的平行度、垂直度等,。同時(shí),，還應(yīng)該考慮以下5個(gè)要素:1.孔徑,、孔深、公差,、表面粗糙度,、孔的結(jié)構(gòu);2.工件的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，包括夾持的穩(wěn)定性,、懸伸量和回轉(zhuǎn)性;3.機(jī)床的功率,、轉(zhuǎn)速冷卻液系統(tǒng)和穩(wěn)定性;4.加工批量;5.加工成本。寧波米控機(jī)器人科技有限公司的微孔加工設(shè)備配備智能控制系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作,，提高生產(chǎn)效率。

激光加工：其生產(chǎn)效率高,、成本低,、加工質(zhì)量穩(wěn)定可靠、具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益,。它主要加工0.1mm以下的材料,，電子部件、多層電路板的焊接,、陶瓷基片,，寶石基片上的鉆孔、劃線和切片,；半導(dǎo)體加工工種的激光走域加熱和退貨,、激光刻蝕、摻雜和氧化等,，對(duì)金屬微孔加工激光工藝容易產(chǎn)生燒黑的現(xiàn)象,，且容易改變材料的材質(zhì)，殘?jiān)灰浊謇砘驘o(wú)法清理的現(xiàn)象,。線性切割：采用線電極連續(xù)供絲的方式,，慢走絲線切割機(jī)在運(yùn)用領(lǐng)域得到了普及,，工件表面粗糙度通?？蛇_(dá)到Ra=0.8μm及以上，但線切割工藝材料容易變形,，批量切割生產(chǎn)價(jià)格昂貴,。蝕刻：加工工藝即光化學(xué)蝕刻,通過(guò)曝光顯影后將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液,使用兩個(gè)陽(yáng)性圖形通過(guò)從兩面的化學(xué)研磨達(dá)到溶解的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。對(duì)形狀復(fù)雜,，精密度要求高二機(jī)械加工難以實(shí)現(xiàn)的超薄形工件,。蝕刻加工能夠滿足部件平整、無(wú)毛刺,、圖形復(fù)雜的要求,，加工周期短,、成本低。微鉆加工:是直接小于3.175mm的鉆頭,，它主要加工Ф0.1-Ф0.3mm,，深徑比超過(guò)10。寧波米控機(jī)器人科技有限公司的微孔加工設(shè)備支持高速加工,，縮短生產(chǎn)周期,。金屬微孔加工供應(yīng)

激光微孔加工憑借其高能量密度光束，可在金屬,、陶瓷等多種材料上精確雕琢出微米級(jí)孔洞,，且加工熱影響區(qū)小。南通金屬微孔加工

激光LIGA技術(shù)它采用準(zhǔn)分子激光深層刻蝕代替載射線光刻,，從而避開(kāi)了高精密的載射線掩膜制作,、套刻對(duì)準(zhǔn)等技術(shù)難題，同時(shí)激光光源的經(jīng)濟(jì)性和使用的普遍性明顯優(yōu)于同步輻射載光源,，從而有效降低LIGA工藝的制造成本,，使LIGA技術(shù)得以廣泛應(yīng)用。盡管激光LIGA技術(shù)在加工微構(gòu)件高徑比方面比載射線差,，但對(duì)于一般的微構(gòu)件加工完全可以接受,。此外，激光LIGA工藝不像載射線光刻需要化學(xué)腐蝕顯影,，而是“直寫(xiě)”刻蝕,，不存在化學(xué)腐蝕的橫向浸潤(rùn)腐蝕影響，因而加工邊緣陡直,，精度高,，光刻性能優(yōu)于同步載射線光刻。南通金屬微孔加工