干式真空泵分類編輯干式真空泵主要有下列幾種形式:雙圓裂片式雙圓裂片式設計和目前當行和普遍應用的羅茨泵非常相似,。事實上,一些**早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來,。這種多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用,。同時,,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求,。當然,,這種設計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同,,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份,。這兩種設計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量,,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力—下降,。同雙圓裂片式設計一樣,,三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。組合式(羅茨+爪)組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率,。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其一級改為星型設計,,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣,,在很多工藝中,。沃德氣體過硬的產(chǎn)品質量、質量的售后服務,、認真嚴格的企業(yè)管理,,贏得客戶的信譽,。昆明螺桿干式真空泵廠家
通過曲柄連桿機構的作用(旋轉運動轉變成直線運動),使氣缸內(nèi)的活塞作往復運動,。當活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時,,由于氣缸的左腔體積不斷增大,左腔空間的壓強不斷的降低,,當左腔空間內(nèi)的壓強低于被抽容器內(nèi)的壓強,,根據(jù)氣體壓強平衡的原理,被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過吸氣閥不斷地被抽進左腔,,此時正處于吸氣過程,。當活塞達到**右位置時,氣缸左腔內(nèi)就充滿了氣體,。接著活塞從右端向左端運動,,此時吸氣閥自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮,。當氣缸內(nèi)的氣體達到排氣壓力時,,此時排氣閥被打開,氣體被排出,,完成了一個工作循環(huán),。當活塞在從左端向右端運動時,重復上述循環(huán),,直到被抽容器達到某一平衡壓力為止,。在干式真空泵中,吸氣閥和排氣閥是非常重要的部件且是易損部件,,它們工作的好壞直接影響往復泵的極限壓力、抽氣速率,、功率消耗以及運行的可靠性,。干式真空泵功能的散布:在擴大企業(yè)生產(chǎn)力發(fā)展優(yōu)勢的過程中,應不斷提式真空泵產(chǎn)品實際性能的優(yōu)越性,,加快其應用效果,。其產(chǎn)品應用和實踐能力的整體驅動力是不斷提高其產(chǎn)品強度的整體發(fā)展,通過綜合驅動產(chǎn)品優(yōu)勢來提高設備的應用效率,。因此,,其各方面的性能能力不斷提高,充分發(fā)揮其產(chǎn)品的實用優(yōu)勢,。昆明螺桿干式真空泵廠家沃德氣體用先進的生產(chǎn)工藝和規(guī)范的質量管理,,打造優(yōu)良的產(chǎn)品!
干式機械真空泵的應用是較廣的,,主要有以下幾個方面: 1 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,; 2 半導體刻蝕工藝,。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒; 3 除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,; 4 在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾,、干燥、脫泡,、包裝等,,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵,; 5 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,,以防止油污染。
連接管的口徑不能小于真空泵進氣口的內(nèi)徑,,否則會影響抽速,,但必須小于進氣口的外徑,否則影響密封度,。被抽容積不能過于大,,一般會選用泵的抽速以秒為單位的15-20倍。在活動的接頭處,,涂上真空脂,,以增強其密封度。4,、接上電源,,裝接電線時,要注意電機銘牌上的接線規(guī)定的要求,。真空泵如何安全操作真空泵是常見的真空設備,,而且是很多實驗室的輔助設備,那么,,真空泵如何安全操作呢?1,、操作前的準備工作首先應將設備放置在水平、通風,、干燥處,,將真空機組抽氣口與被抽系統(tǒng)連接好,密封一定要嚴密,,不應有泄漏點存在,。檢查真空泵和羅茨泵內(nèi)的油位及油杯中的潤滑油是否符合要求,,連接好電源線和接地線。檢查是否有其他不安全因素,。2,、操作機組的啟動運行接通主電源開關,主電源指示燈亮;將控制方式放在手動或自動位置;按下控制電源按鈕,,指示燈亮(真空泵,、增壓泵和急停按鈕應復位,否則控制電源按鈕無法接通),,如電源相序錯誤黃色指示燈亮,,則需換相。將真空泵斷路器接通,,按下真空泵控制按鈕,,真空泵指示燈亮,同時真空泵運轉,。根據(jù)實際情況調節(jié)增壓泵的延時(通過時間繼電器,,調節(jié)范圍在1—6分鐘)。將增壓泵斷路器接通,,按下增壓泵控制按鈕,,增壓泵指示燈亮。沃德氣體為客戶服務,,要做到更好,。
重新裝配的真空泵應進行幾個小時的運轉試驗,以觀察是否達到使用要求)真空泵的結構特點真空泵的結構:(1)真空泵總體結構型式真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構,。立式結構的進,、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便,。但泵的重心較高,,在高速運轉時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵,。真空泵臥式泵的進氣口在上,,排氣口在下,。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,,可將排氣口從水平方向接出,即進,、排氣方向是相互垂直的,。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,,除接排氣管道一端外,,另一端堵死或接旁通閥,。這種泵結構重心低,高速運轉時穩(wěn)定性好,。一般大,、中型泵多采用此種結構。真空泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝,。這種結構裝配間隙容易控制,,轉子裝配方便,泵占地面積小,。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,,潤滑機構也相對復雜。(2)真空泵的傳動方式真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的,。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接,。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變。沃德氣體以質量求生存,,以信譽求發(fā)展,!昆明斡旋干式真空泵價格
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應維修電機,重新繞制定子線圈,。軸承和線圈損壞嚴重時,,應更換電機。2,、旋片卡阻,。主要表現(xiàn)為旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大,致使電機無法帶動轉子(旋片),。其原因是旋片變形,,轉子內(nèi)的彈簧張開后不能復位,或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大,,導致旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大,。這時應當修復旋片和彈簧,不能修復時,,更換二者,。真空泵有哪些密封要求真空泵是常見的真空設備,那么,,真空泵有哪些密封要求呢?真空泵在其工作壓強下,,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,,互相補充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,,便會使真空裝置得到較好的真空度,。真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空,,有的真空泵出口壓強低于大氣壓,,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用,。真空設備對油污染的要求,。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,。昆明螺桿干式真空泵廠家
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