產(chǎn)品特性與用途二氧化鉿(HfO2)是一種具有較高介電常數(shù)的氧化物。作為一種介電材料,,因其較高的介電常數(shù)值(~20),,較大的禁帶寬度(~5.5eV),以及在硅基底上良好的穩(wěn)定性,,HfO2被認為是替代場效應晶體管中傳統(tǒng)SiO2介電層的理想材料,。如果互補金屬氧化物半導體器件尺寸低于1μm,以二氧化硅為傳統(tǒng)柵介質(zhì)的技術(shù)會帶來芯片的發(fā)熱量增加,、多晶硅損耗等一系列問題,,隨著晶體管的尺寸縮小,二氧化硅介質(zhì)要求必須越來Chemicalbook越薄,,但是漏電流的數(shù)值會因為量子效應的影響隨著二氧化硅介質(zhì)厚度的較小而急劇升高,,所以急需一種更可行的物質(zhì)來取代二氧化硅作為柵介質(zhì)。二氧化鉿是一種具有寬帶隙和高介電常數(shù)的陶瓷材料,,近來在工業(yè)界特別是微電子領(lǐng)域被引起極度的關(guān)注,,由于它很可能替代目前硅基集成電路的**器件金屬氧化物半導體場效應管(MOSFET)的柵極絕緣層二氧化硅(SiO2),,以解決目前MOSFET中傳統(tǒng)SiO2/Si結(jié)構(gòu)的發(fā)展的尺寸極限問題,。生產(chǎn)方法當加熱到高溫時鉿與氧直接化合生成氧化鉿。也可通過其硫酸鹽或草酸鹽經(jīng)灼燒而得,。氧化鉿的主要作用有哪些,?正規(guī)氧化鉿MSDS
基本信息IUPAC名稱:dioxohafnium元素含量比重:O(oxygen)15.2%,、Hf(hafnium)84.8%二氧化鉿分子結(jié)構(gòu)密度:9.68g/cm3熔點:2758℃摩爾質(zhì)量:210.49g/molCAS號:12055-23-1蒸發(fā)壓力:在2678℃時1Pa;在2875℃時10Pa線膨脹系數(shù):5.6×10-6/K溶解度:不溶解于水純度:99.99薄膜特性:透光范圍~220~12000nm;折射率(250nm)~2.15(500nm)~2蒸發(fā)條件:用電子***,,氧分壓~1~2×10-2Pa。蒸發(fā)溫度~2600~2800℃,,基片溫度~250℃,蒸發(fā)速率2nm/s應用領(lǐng)域:UV增透膜,,干涉膜青海氧化鉿作用用途氧化鉿是指二氧化鉿嗎?
氧化鉿又稱氧化鉿(IV),,它是一種無機化工產(chǎn)品,,其分子式為HfO2,分子量為210.4888,。產(chǎn)品特性與用途二氧化鉿(HfO2)是一種具有較高介電常數(shù)的氧化物,。作為一種介電材料,因其較高的介電常數(shù)值(~20),,較大的禁帶寬度(~5.5eV),以及在硅基底上良好的穩(wěn)定性,,HfO2被認為是替代場效應晶體管中傳統(tǒng)SiO2介電層的理想材料。如果互補金屬氧化物半導體器件尺寸低于1μm,,以二氧化硅為傳統(tǒng)柵介質(zhì)的技術(shù)會帶來芯片的發(fā)熱量增加、多晶硅損耗等一系列問題,,隨著晶體管的尺寸縮小,二氧化硅介質(zhì)要求必須越來Chemicalbook越薄,,但是漏電流的數(shù)值會因為量子效應的影響隨著二氧化硅介質(zhì)厚度的較小而急劇升高,,所以急需一種更可行的物質(zhì)來取代二氧化硅作為柵介質(zhì)。二氧化鉿是一種具有寬帶隙和高介電常數(shù)的陶瓷材料,,近來在工業(yè)界特別是微電子領(lǐng)域被引起極度的關(guān)注,由于它很可能替代目前硅基集成電路的**器件金屬氧化物半導體場效應管(MOSFET)的柵極絕緣層二氧化硅(SiO2),,以解決目前MOSFET中傳統(tǒng)SiO2/Si結(jié)構(gòu)的發(fā)展的尺寸極限問題,。
氧化鉿性質(zhì)熔點2810°C密度9.68g/mLat25°C(lit.)折射率2.13(1700nm)形態(tài)powder顏色Off-white比重9.68水溶解性Insolubleinwater.Merck14,4588InChemicalbookChIKeyCJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-NCAS數(shù)據(jù)庫12055-23-1(CASDataBaseReference)EPA化學物質(zhì)信息Hafniumoxide(HfO2)(12055-23-1)氧化鉿(HfO2)是白色晶體粉末,。純氧化鉿以三種形式存在,一種是無定型狀態(tài),,另外兩種為晶體。在<400℃煅燒氫氧化鉿,、氧氯化鉿等不穩(wěn)定的化合物時,,可以得到無定型氧化鉿,。將其氧化鉿Chemicalbook繼續(xù)加熱至450~480℃,開始轉(zhuǎn)化為單斜晶體,,繼續(xù)加熱至1000~1650℃發(fā)生晶格常數(shù)逐步增加的趨勢,并轉(zhuǎn)化為4個氧化鉿分子的單體,。當1700~1865℃時開始轉(zhuǎn)化為四方晶系,。氧化鉿的穩(wěn)定性和反應活性?
中文名氧化鉿(IV)英文名Hafnium(IV)oxide中文別名氧化鉿(III)|二氧化鉿|氧化鉿物理性質(zhì)氧化鉿(HfO2)是白色晶體粉末,。純氧化鉿以三種形式存在,一種是無定型狀態(tài),,另外兩種為晶體。在<400℃煅燒氫氧化鉿,、氧氯化鉿等不穩(wěn)定的化合物時,可以得到無定型氧化鉿,。將其氧化鉿繼續(xù)加熱至450~480℃,,開始轉(zhuǎn)化為單斜晶體,,繼續(xù)加熱至1000~1650℃發(fā)生晶格常數(shù)逐步增加的趨勢,,并轉(zhuǎn)化為4個氧化鉿分子的單體。當1700~1865℃Chemicalbook時開始轉(zhuǎn)化為四方晶系,。向氧化鉿中添加少量氧化鎂、氧化鈣,、氧化錳等氧化鉿,在1500℃以上可以形成面心立方晶格的固溶體,。如向氧化鉿中加8%~20%氧化鈣,,則晶格常數(shù)α相應從0.5082nm增加至0.5098nm,。若添加的量達到形成CaHfO3時,則晶體結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為菱形晶系,。單斜晶體氧化鉿的密度為9.68g/cm3,,熔點3031K,沸點5673K,。氧化鉿的 氫鍵受體數(shù)量,?氧化鉿使用注意事項
氧化鉿的滅火方法及滅火劑,?正規(guī)氧化鉿MSDS
化學性質(zhì)氧化鉿的化學性質(zhì)與氧化鋯相似,,其活性與煅燒溫度有關(guān),煅燒溫度越高,,化學活性性越低。無定型氧化鉿容易溶解于酸中,,但是結(jié)晶型氧化鉿即使是在熱鹽酸或者是硝酸中也不發(fā)生反應,而*溶于熱濃的氫氟酸和硫酸中,。結(jié)晶型氧化鉿與堿和鹽酸溶后,,則容易稀酸中。在1100℃下,,氧化鉿與鉿酸鋰。在高Chemicalbook于1500℃氧化鉿與堿土金屬氧化鉿與二氧化硅等作用,,生成鉿酸鹽和硅酸鉿。在1800℃以上與氧化硅組成一系列的固溶體,。鉿鹽水解可以得到兩性的氫氧化鉿,,氫氧化鉿在100℃下干燥能夠達到HfO(OH)2,,再升高溫度即轉(zhuǎn)換為氧化鉿,。在碳化過程中可有Hf2O3與HfO形成,但是對此研究較少,。性質(zhì)氧化鉿為白色立方晶體,比重9.68,。熔點2,758±25℃,。沸點約5,400℃,。單斜晶系的二氧化Chemicalbook鉿在1,,475~1,600℃足量氧氣氛中轉(zhuǎn)化為四方晶系,。不溶于水和一般無機酸,,但在氫氟酸中緩慢溶解,。正規(guī)氧化鉿MSDS