通過(guò)數(shù)顯儀表與溫感器的連接來(lái)控制溫度,采用熱風(fēng)循環(huán)送風(fēng)方式,，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式,。均經(jīng)精確計(jì)算,，風(fēng)源是由送風(fēng)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)由電熱器,，將熱風(fēng)送至風(fēng)道后進(jìn)入烘箱工作室,，且將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱運(yùn)用,，如此可有效提高溫度均勻性,。如箱門使用中被開關(guān),，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由送風(fēng)馬達(dá),、風(fēng)輪和電熱器組成,，送風(fēng)馬達(dá)帶動(dòng)風(fēng)輪送出冷風(fēng)，冷風(fēng)經(jīng)過(guò)電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風(fēng)道進(jìn)入工業(yè)烤箱的烘箱工作室,。合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用,。無(wú)塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.

下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下六腔體無(wú)塵烤箱產(chǎn)品介紹：本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423,，2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC,，醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門,。技術(shù)指標(biāo)：1無(wú)塵等級(jí)：Class100：（符合FED-STD209E標(biāo)準(zhǔn)：0.3um≤300個(gè)0.5≤100個(gè)）2溫度范圍：+60℃~+250℃（極限溫度350℃）3溫度均勻性：±2℃（空箱測(cè)試）4溫度精確度：±1℃（空箱測(cè)試）5設(shè)備型號(hào)規(guī)格:450*450*450；450*600*450,；600*800*600,；600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;無(wú)塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱對(duì)如今市場(chǎng)的影響。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要,。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,，尤其是正膠,，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,，容易造成漂條、浮膠等,，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕,。  增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況,。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用,。

石墨盤烤盤爐

一.產(chǎn)品介紹

真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi),，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2,，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等,，可達(dá)到有效清潔處理,，提高制品質(zhì)量的目的。

二,、設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1,、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)

2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟,，同時(shí)兩端降溫封頭開啟,，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,，達(dá)到快速降溫的目的

三,、技術(shù)指標(biāo)

1、使用溫度：1450℃,；比較高溫度：1500℃,；

2、絕熱材料：石墨纖維毯,、石墨紙,；

4、加熱元件：石墨加熱棒,；

5,、冷卻方式：氣冷 + 循環(huán)風(fēng)冷降溫；

6,、控溫穩(wěn)定度：±2℃,，具有PID參數(shù)自整定功能,；

7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）,；

8,、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈,、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%,；

9、極限真空: 10-3torr級(jí),；

10,、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr

11,、升溫功率：170kW,；

12、升溫速率：15℃/min（空載）,；

13,、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘

14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高） 工業(yè)烤箱使用時(shí)的注意事項(xiàng),。

工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu),，殼體為角鋼薄鋼板，內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì),。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁,，它能起到保溫的作用，形成可靠的保溫層,。工業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測(cè)量與控制系統(tǒng),。工業(yè)烤箱在工作時(shí)，操作人員通過(guò)儀表和感溫器來(lái)獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,，在通過(guò)控制系統(tǒng)進(jìn)行操作,。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比,，有著更好的氣體流動(dòng)性,，能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測(cè)量與控制系統(tǒng),。使用工業(yè)烤箱前的檢查步驟,。無(wú)塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.

工業(yè)烤箱的基本結(jié)構(gòu)級(jí)應(yīng)用！無(wú)塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.

用途介紹：無(wú)氧干燥箱應(yīng)用于航空,、航天,、石油、化工,、,、船舶,、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,，模壓固烤、IC（晶圓,、CMOS,、Bumping、TSV,、MENS,、指紋識(shí)別）,、FPD,、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干,，電工產(chǎn)品,、材料、零備件等的高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn),。1,、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃,；1.2爐膛腔數(shù):2個(gè),上下布置,；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器,；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無(wú)紙記錄儀,；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：±1℃,；2.3溫度均勻度：±2%℃（260℃平臺(tái)）,；無(wú)塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.