HMDS真空烤箱整機(jī)尺寸,、真空腔體尺寸:1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫,。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片,;8寸晶圓片等,。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫),。合肥真萍科技為您提供專業(yè)的售后服務(wù),!南京定制工業(yè)烤箱
折疊擺放場(chǎng)地如果烤箱是放置在樓層上。要考慮能不能進(jìn)門,,進(jìn)電梯,。其實(shí),都是一些技術(shù)上要滿足的問題,??鞠錄]有多大的技術(shù)難度。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,。很容易被仿造,。建議簽署技術(shù)協(xié)議進(jìn)行性能驗(yàn)收比較好。折疊編輯本段使用指南折疊編輯本段維護(hù)保養(yǎng)日保養(yǎng)1.打掃表面及內(nèi)腔灰塵,,保持機(jī)器干凈,、衛(wèi)生。2.檢查電流表電流跟正常時(shí)是否一樣,,如有異樣,,通知維修工檢修。3.突然停電,,要把加熱開關(guān)關(guān)閉,,防止來電時(shí)自動(dòng)啟動(dòng),。4.檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常,有無異常聲音,,如有立即關(guān)閉機(jī)器并通知維修工檢修,。南京定制工業(yè)烤箱工業(yè)烤箱運(yùn)用再哪些領(lǐng)域?
可靠的測(cè)控系統(tǒng)1溫度控制裝置:進(jìn)口溫控器,,內(nèi)置PID自動(dòng)整定,,斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置:采用六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀,,可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印,。完善的控制系統(tǒng),及安全防護(hù)措施1操作控制系統(tǒng),,采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制,,更快速,更穩(wěn)定,。2防護(hù)措施:緊急停止,,超溫保護(hù),斷線報(bào)警,相序保護(hù),,過載保護(hù),,短路保護(hù),漏電保護(hù),,及電磁門禁保護(hù)等
HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo):1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成,;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化,、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然,。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,,確保箱內(nèi)高真空度,。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,,控溫精確,可靠,。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,,溫度,真空度及每一程序時(shí)間,。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),,真空箱密封性能佳,,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,,無發(fā)塵材料,,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。6HMDS管路加熱功能,,使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱,,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易。7.低液報(bào)警裝置,,采用紅外液體感測(cè)器,,能及時(shí)靈敏給出指令(當(dāng)HMDS液過低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能)8.溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能(當(dāng)PLC沒有啟動(dòng)程序時(shí),加溫功能啟動(dòng)不了,,相反加溫功能啟動(dòng)時(shí),,PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能,發(fā)出警報(bào))9.整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,,整體使用無縫焊接(避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害)工業(yè)烤箱哪家好,?推薦選擇合肥真萍科技。
電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕,、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,,解決線路板受潮問題,。柜體規(guī)格、配備:1.左右雙開門,,3mm鋼化玻璃,,1mm厚不銹鋼板,氣密式隱藏鎖把手,。2.柜體密封高吸附力磁性膠條與柜體密閉,,腳墊采高承載車輪及調(diào)整高低腳墊。3.附高載重不銹鋼隔板,,柜體加裝高載重煞車輪,。4.上掀式氣密蓋,方便FFU保養(yǎng)及維修,。5.回風(fēng)循環(huán)設(shè)計(jì),,單向氮?dú)庋h(huán)不產(chǎn)生紊流。6.背面氣密開門式設(shè)計(jì),,方便潔凈清理與保養(yǎng),。工業(yè)烤箱可以去哪里購買?無錫工業(yè)烤箱門把手
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工業(yè)烤箱的原理工業(yè)烤箱在工作時(shí),,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進(jìn)行操作,。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式,,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動(dòng)性,,能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度,。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由送風(fēng)馬達(dá)、風(fēng)輪和電熱器組成,,送風(fēng)馬達(dá)帶動(dòng)風(fēng)輪送出冷風(fēng),,冷風(fēng)經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風(fēng)道進(jìn)入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性,,在工業(yè)烤箱開關(guān)箱門運(yùn)送物料的過程中,,溫度值會(huì)受到影響發(fā)生變動(dòng),熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內(nèi)恢復(fù)工作狀態(tài)的溫度值,。南京定制工業(yè)烤箱