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一,、測(cè)控系統(tǒng)1.溫度控制裝置:日本進(jìn)口溫控器,,內(nèi)置PID自動(dòng)整定,斜率設(shè)定功能2.溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3.溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。二,、控制系統(tǒng)1.操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制,,更快速,,更穩(wěn)定。2.防護(hù)措施:緊急停止,,超溫保護(hù),斷線報(bào)警,,相序保護(hù),過(guò)載保護(hù),,短路保護(hù),,漏電保護(hù),及電磁門禁保護(hù)等,。合肥真萍科技試驗(yàn)箱誠(chéng)信經(jīng)營(yíng),。高低溫低壓試驗(yàn)箱的價(jià)格和照片
本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),,涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要,。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,,容易造成漂條、浮膠等,,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況,。將HMDS涂到硅片表面后,,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,,起著偶聯(lián)劑的作用。大型試驗(yàn)箱制造合肥真萍科技告訴您試驗(yàn)箱的選擇方法,。
下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計(jì),。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,,爐內(nèi)抽真空,,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,,H2),。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,,提高制品質(zhì)量的目的,。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1.后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟,,同時(shí)兩端降溫封頭開啟,,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的,。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié),、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置,。一,、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無(wú)2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫,、斷偶,、停水、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min試驗(yàn)箱制作原理是什么呢?合肥真萍科技為您專業(yè)解答,。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié),、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置,。一,、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無(wú)2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶,、停水,、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min二、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測(cè)量采用K分度熱偶測(cè)量2.控制儀表采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制,。具有PID參數(shù)自整定,、高溫3.上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能4.控制方式固態(tài)繼電器過(guò)零控制5.超溫處理⑴.當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)設(shè)定的安全值時(shí),,斷加熱,,并報(bào)警,。⑵.當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)目標(biāo)溫度達(dá)到安全偏差值時(shí),,報(bào)警。試驗(yàn)箱哪家好,,推薦合肥真萍科技,。高低溫低壓試驗(yàn)箱的價(jià)格和照片
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連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內(nèi)不斷移動(dòng),,完成加熱,、保溫,有時(shí)包括冷卻在內(nèi)全過(guò)程的熱處理爐,。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機(jī)械機(jī)構(gòu)連續(xù)地或間歇地進(jìn)行裝料和出料,,連續(xù)順序地通過(guò)按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過(guò)程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量,,提高勞動(dòng)生產(chǎn)率和改善勞動(dòng)條件,。下面為大家介紹一下連續(xù)爐的產(chǎn)品材質(zhì)和產(chǎn)品特點(diǎn)。一,、產(chǎn)品材質(zhì)1.外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼,;2.保護(hù)裝置定時(shí)報(bào)警斷電裝置、超溫?cái)嚯?、漏電保護(hù)斷路器,、電機(jī)過(guò)載保護(hù)。二、產(chǎn)品特點(diǎn)1.雙邊配有鏈條傳動(dòng),,解決傳送過(guò)程中跑偏的現(xiàn)象,;2.烘箱分段式加熱,單獨(dú)電箱控制,,方便操作,,結(jié)構(gòu)主要由輸送機(jī)系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成,多段單獨(dú),;3.PID溫度控制,,爐內(nèi)溫度均勻;4.輸送速度變頻調(diào)速,,調(diào)節(jié)自如,,運(yùn)行平穩(wěn),產(chǎn)能高,;5.每段單獨(dú)箱體設(shè)置廢氣排放接口,,可外接到車間外面,避免車間廢氣污染,。高低溫低壓試驗(yàn)箱的價(jià)格和照片