電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣,、儀表、元器件,、電子,、電工及汽車(chē),、航空、通訊塑膠,、機(jī)械,、食品、化工,、化學(xué)品,、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu),。1.工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是優(yōu)良超細(xì)玻璃纖維保溫棉,,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,,國(guó)內(nèi),,高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔,、外殼,、超細(xì)玻璃纖維,、鋁制反射鋁箔片,、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少,。內(nèi)膽外箱及門(mén)膽結(jié)構(gòu)獨(dú)特,,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。2.門(mén)與門(mén)框之間采用高性能密封材料及獨(dú)特的橡膠密封結(jié)構(gòu),,密封,、耐高溫性、抗老化性好,。3.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng),,不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成,,置于箱體背部的電加熱器熱量通過(guò)側(cè)面風(fēng)道向前排出,經(jīng)過(guò)干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入,,形成合理的風(fēng)道,,能使熱氣充分對(duì)流,使箱內(nèi)溫度相當(dāng)大限度達(dá)到均勻,。提高了空氣流量加熱的能力,,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。4.加熱器用不銹鋼電加熱管,,升溫快,,壽命長(zhǎng)。合肥真萍科技為您提供網(wǎng)帶爐的詳細(xì)介紹,。馬鞍山小型網(wǎng)帶爐專(zhuān)賣(mài)
本篇介紹專(zhuān)業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),,涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,,容易造成漂條、浮膠等,,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況,。將HMDS涂到硅片表面后,,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,,起著偶聯(lián)劑的作用。生產(chǎn)網(wǎng)帶爐生產(chǎn)廠家使用網(wǎng)帶爐能給人們帶來(lái)便利嗎,?
下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的各項(xiàng)系統(tǒng),。一、氣氛系統(tǒng),。1.爐膛氣氛:2路空氣,,流量計(jì)量程為7~70L/min,每路流量可調(diào)節(jié);2.排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣囪,,用于廢氣排放,。二、傳動(dòng)系統(tǒng)1.傳動(dòng)方式:升降式2.傳動(dòng)類(lèi)型:電動(dòng)推桿傳動(dòng)3.容積:20L三,、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu):無(wú)2.產(chǎn)品降溫:隨爐降溫四,、安全保護(hù)1.升、降,、停按鈕:載料臺(tái)的升,、降、??刂?.報(bào)警指示:超溫,、斷偶、過(guò)載,、超程,、偏差等聲光報(bào)警3.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min五、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測(cè)量:采用B分度熱偶測(cè)量2.控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制2.1當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)設(shè)定的安全值時(shí),,斷加熱,,并報(bào)警2.2當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時(shí),報(bào)警3.控制儀表:采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制,。具有PID參數(shù)自整定,、高溫上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能
一,、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二,、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無(wú)2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶,、停水,、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min,在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),,涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要,。使用網(wǎng)帶爐前的檢查步驟,。
1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:0.5℃4.真空泵:油泵或無(wú)油真空泵。真空度:133pa,,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫,。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片,;8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),,為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫),。網(wǎng)帶爐使用時(shí)的注意事項(xiàng),。福州烘干網(wǎng)帶爐
網(wǎng)帶爐的運(yùn)用領(lǐng)域有哪些?馬鞍山小型網(wǎng)帶爐專(zhuān)賣(mài)
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類(lèi)似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié),、熱處理工作,,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一,、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二,、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無(wú)2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶,、停水,、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min馬鞍山小型網(wǎng)帶爐專(zhuān)賣(mài)