本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),,涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要,。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,,尤其是正膠,,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條,、浮膠等,,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕,。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,,起著偶聯(lián)劑的作用,。網(wǎng)帶爐選購應(yīng)該注意哪些呢?合肥真萍科技告訴您,。干燥網(wǎng)帶爐推薦廠家
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標,。1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成,;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化,、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然,。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度,。3.微電腦智能控溫儀,,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,,控溫精確,,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,,溫度,,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,,真空箱密封性能佳,,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,,無發(fā)塵材料,,適用100級光刻間凈化環(huán)境。常州小型網(wǎng)帶爐價格多少網(wǎng)帶爐的結(jié)構(gòu)如何組成,?
冷熱沖擊試驗箱具有模擬大氣環(huán)境中溫度變化規(guī)律,。主要針對于電工,電子產(chǎn)品,,以及其元器件及其它材料在高溫,,低溫綜合環(huán)境下運輸,使用時的適應(yīng)性試驗,。用于產(chǎn)品設(shè)計,,改進,鑒定及檢驗等環(huán)節(jié),。真萍科技作為冷熱沖擊試驗箱設(shè)備制造廠商,,在冷熱沖擊試驗箱設(shè)備制造領(lǐng)域的專業(yè)性是不用多說的。下面讓真萍科技從溫度方面,,帶您了解冷熱沖擊試驗箱,。一、溫度均勻度舊標準稱均勻度,,新標準稱梯度,。溫度穩(wěn)定后,在任意時間間隔內(nèi),,工作空間內(nèi)任意兩點的溫度平均值之差的較大值,。這個指標比下面的溫度偏差指標更可以考核產(chǎn)品的**技術(shù),因此好多公司的樣本及方案刻意隱藏此項。一般標準要求指標為≤2℃,。二,、溫度偏差溫度穩(wěn)定后,在任意時間間隔內(nèi),,工作空間中心溫度的平均值和工作空間內(nèi)其它點的溫度平均值之差,。雖然新舊標準對此指標的定義和稱呼相同,但檢測已有所改變,,新標準更實際,,更苛刻一點,但考核時間短點,。一般標準要求指標為±2℃,,純高溫試驗箱200℃以上可按實際使用溫度攝氏度(℃)±2%要求。
三綜合試驗是指綜合溫度,、濕度,、振動三個環(huán)境應(yīng)力的試驗,具有極寬大的溫濕度控制范圍,,可滿足用戶的各種需要采用獨特的平衡調(diào)溫調(diào)濕方式,,可獲得安全、精確的溫濕度環(huán)境,。同時可在三綜合試驗箱內(nèi)將電振動應(yīng)力按規(guī)定的周期施加到試品上,,供用戶對整機(或部件)、電器,、儀器,、材料等作溫濕度、振動綜合應(yīng)力篩選試驗,,以便考核試品的適應(yīng)性或?qū)υ嚻返男袨樽鞒鲈u價,。下面為大家介紹一下真萍科技的溫濕度振動三綜合試驗箱特點。1.試驗室與制冷系統(tǒng)整體組合式結(jié)構(gòu),,緊湊美觀,,便于操作制冷壓縮機組及主要配件均為口。2.進口LCD彩色液晶觸摸屏,,溫、濕度程序自動控制,,配有RS232通訊接口3.可根據(jù)用戶要求選配不同制造商不同型號的振動臺,,振動臺接口接口可有多種形式選用,保證冷,、熱,、汽密封的同時,振動臺具有良好的力學傳遞性。4.可根據(jù)用戶要求設(shè)計,、制造不同規(guī)格,。網(wǎng)帶爐的功能具體介紹。
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應(yīng)用于解決晶圓片的潮濕,、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,,解決線路板受潮問題,。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜的過濾系統(tǒng)。1.EBM電子式EC馬達控制無塵室FFU,。2.鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體,。3.特殊導(dǎo)流風道設(shè)計,風壓平均,,可有效提供風量,,降低噪音。4.電路板控制模塊,,提供安全保護裝置,,運轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點輸出。5.無段式風量調(diào)速器可任意調(diào)整風量大小,。6.濾網(wǎng)ULPA,,0.12μm,99.9995%以上的過濾效果,。7.電力規(guī)格:單相220V50Hz0.95A,,輸出功率150W。網(wǎng)帶爐給社會帶來了什么好處,?復(fù)合網(wǎng)帶爐代理公司
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精密鼓風烘箱適用于電子元器件、橡膠,、塑料,、裝飾材料等行業(yè)對溫度均勻性要求比較嚴格的實驗。下面為大家介紹一下真萍科技精密鼓風烤箱的箱體結(jié)構(gòu),。1.門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結(jié)構(gòu),,密封、耐高溫性,、抗老化性好,。2.箱內(nèi)風道采用雙循環(huán)系統(tǒng),不銹鋼多翼式離心風輪及循環(huán)風道組成,,置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風道向前排出,,經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風輪吸入,,形成合理的風道,能使熱空氣充分對流,,使箱內(nèi)溫度相當大限度達到均勻,。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性,。3.加熱器用不銹鋼電加熱管,,升溫快,壽命長,。干燥網(wǎng)帶爐推薦廠家