主要性能參數(shù)產(chǎn)品型號CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺參數(shù)平臺形式XY直線電機(jī)基座高精度大理石平臺加工范圍400×400 mm(可定制)定位精度±3 um重復(fù)定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業(yè)相機(jī)600W鏡頭遠(yuǎn)心鏡頭系統(tǒng)屬性支持文件格式DXF等常規(guī)CAD格式環(huán)境要求溫度:20-30℃,,濕度:<60%電力需求380V/50Hz/10KVA超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備如何選擇,?無錫超通智能告訴您。天津自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價格表
芯片制造的工藝復(fù)雜、流程眾多,而晶圓切割就是半導(dǎo)體封測工藝中不可或缺的一道工序,晶圓切割就是將單一晶圓進(jìn)行切割制作成一個個晶粒單元,,但由于晶粒本身比較脆弱、相互之間距離小,,并且切割時還需要注意晶粒不被污染,、避免出現(xiàn)崩塌或者裂痕現(xiàn)象,因此晶圓切割對于技術(shù)和切割設(shè)備的要求都極高,。在晶圓切割過程中,,通常要用到的一項(xiàng)精密切割設(shè)備就是晶圓切割機(jī),晶圓切割機(jī)可使安裝在主軸上的砥石高速旋轉(zhuǎn),,從而切斷硅晶圓,。近幾年,隨著激光技術(shù)的發(fā)展,,激光切割機(jī)逐漸成為了芯片制作領(lǐng)域的研究熱點(diǎn),。由于激光切割為非接觸式加工過程,其不僅切割精度高,、效率高,,而且可以避免對晶體硅表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量和效率,。北京制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價格表超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的廠家哪個好,?無錫超通智能告訴您。
激光劃片是利用高能激光束照射工件表面,,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化,,從而達(dá)到去除材料,,實(shí)現(xiàn)劃片的過程。激光劃片是非接觸式加工,,無機(jī)械應(yīng)力損傷,,加工方式靈活,不存在刀具損耗和水污染,,設(shè)備使用維護(hù)成本低,。為避免激光劃透晶圓時損傷支撐膜,采用耐高溫?zé)g的UV膜。目前,,激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,,波長主要有1064nm、532nm,、355nm三種,,脈寬為納秒、皮秒和飛秒級,。理論上,,激光波長越短、脈寬越短,,加工熱效應(yīng)越小,,有利于微細(xì)精密加工,但成本相對較高,。355nm的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟,、成本低、加工熱效應(yīng)小,,應(yīng)用非常***,。近幾年1064nm的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速,應(yīng)用到很多新領(lǐng)域,,獲得了很好的效果,。
超通智能自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備,隨著市場的持續(xù)增長,,LED制造業(yè)對于產(chǎn)能和成品率的要求變得越來越高,。激光加工技術(shù)迅速成為LED制造業(yè)普遍的工具,甚者成為了高亮度LED晶圓加工的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。激光刻劃LED刻劃線條較傳統(tǒng)的機(jī)械刻劃窄得多,,所以使得材料利用率顯著提高,因此提高產(chǎn)出效率,。另外激光加工是非接觸式工藝,,刻劃帶來晶圓微裂紋以及其他損傷更小,這就使得晶圓顆粒之間更緊密,,產(chǎn)出效率高,、產(chǎn)能高,同時成品LED器件的可靠性也**提高,。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的選材要求是什么,?無錫超通智能告訴您。
晶圓精密劃片切割中,,總會遇到各種情況,,而**常見的就是工件的崩邊問題,崩邊包括:正崩,背崩,,掉角及裂痕等,。而有很多種不同因素都會導(dǎo)致崩邊的產(chǎn)生,比如工件表面情況,、粘膜情況,、冷卻水、刀片等,。如何提高切割品質(zhì),,盡可能減少崩邊產(chǎn)生對劃片機(jī)來說是至關(guān)重要的,超通智能針對這一行業(yè)狀況,,也一直在不斷的摸索各種激光切割工藝,,以提高切割品質(zhì)并為客戶提供質(zhì)量服務(wù)為己任。超通智能通過不斷開拓創(chuàng)新,,提高劃片機(jī)切割不同材質(zhì)的效率,。晶圓精密劃片切割已有比較完善的解決方案。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備哪個性價比高,?無錫超通智能告訴您,。湖北自動化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價錢
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晶圓是半導(dǎo)體產(chǎn)品與芯片的基礎(chǔ)材料,,晶圓生長后需要經(jīng)過機(jī)械拋光,,后期尤為重要的是晶圓切割加工,也叫晶圓劃片,。早期短脈沖DPSS激光器切割晶圓技術(shù)已經(jīng)在歐洲,、美國發(fā)展成熟。隨著超快激光器的快速發(fā)展和功率提升,,超快激光切割晶圓未來將會逐漸成為主流,,特別在晶圓切割、微鉆孔,、封測等工序上,,設(shè)備需求潛力較大。目前國內(nèi)已經(jīng)有精密激光設(shè)備廠家能夠提供晶圓開槽設(shè)備,,可應(yīng)用于28nm制程以下12寸晶圓的表面開槽,,以及激光晶圓隱切設(shè)備應(yīng)用于MEMS傳感器芯片,存儲芯片等**芯片制造領(lǐng)域,。天津自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價格表
無錫超通智能制造技術(shù)研究院有限公司辦公設(shè)施齊全,辦公環(huán)境優(yōu)越,,為員工打造良好的辦公環(huán)境,。在超通智能近多年發(fā)展歷史,公司旗下現(xiàn)有品牌超通智能等。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力,,多年來一直專注于智能設(shè)備制造技術(shù),、激光加工技術(shù)的研究、開發(fā),、技術(shù)服務(wù),;科技企業(yè)的孵化;科技成果轉(zhuǎn)化和推廣,;機(jī)械工程研究服務(wù),;工程和技術(shù)基礎(chǔ)科學(xué)研究服務(wù);電子,、通信與自動控制技術(shù)研究服務(wù),,計算機(jī)科學(xué)技術(shù)研究服務(wù);信息系統(tǒng)集成服務(wù),;信息技術(shù)咨詢服務(wù),;互聯(lián)網(wǎng)信息服務(wù);激光精密加工設(shè)備,、機(jī)器人與自動化裝備的銷售,;面向成年人開展的培訓(xùn)服務(wù)(不含國家統(tǒng)一認(rèn)可的職業(yè)證書類培訓(xùn));以服務(wù)外包方式從事激光精密加工設(shè)備,、機(jī)器人與自動化裝備的制造,、加工。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動) 一般項(xiàng)目:軟件開發(fā),;軟件銷售(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)的發(fā)展和創(chuàng)新,,打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù),。無錫超通智能制造技術(shù)研究院有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋激光標(biāo)機(jī)及極限制造裝備,細(xì)分領(lǐng)域的制造產(chǎn)線垂直整,,面向裝備的工業(yè)軟件,,面向產(chǎn)線的管控軟件,堅(jiān)持“質(zhì)量保證,、良好服務(wù),、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴,。