芯片制造的工藝復(fù)雜、流程眾多,,而晶圓切割就是半導(dǎo)體封測工藝中不可或缺的一道工序,,晶圓切割就是將單一晶圓進(jìn)行切割制作成一個個晶粒單元,但由于晶粒本身比較脆弱,、相互之間距離小,,并且切割時還需要注意晶粒不被污染、避免出現(xiàn)崩塌或者裂痕現(xiàn)象,,因此晶圓切割對于技術(shù)和切割設(shè)備的要求都極高。在晶圓切割過程中,,通常要用到的一項精密切割設(shè)備就是晶圓切割機(jī),,晶圓切割機(jī)可使安裝在主軸上的砥石高速旋轉(zhuǎn),從而切斷硅晶圓,。近幾年,,隨著激光技術(shù)的發(fā)展,,激光切割機(jī)逐漸成為了芯片制作領(lǐng)域的研究熱點。由于激光切割為非接觸式加工過程,,其不僅切割精度高,、效率高,而且可以避免對晶體硅表面造成損傷,,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量和效率,。無錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的詳細(xì)介紹。陜西先進(jìn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案
晶圓激光切割與傳統(tǒng)的機(jī)械切割法相比,,這種新的方法有幾個重要的優(yōu)點,。首先,這是一步即可完成的,、干燥的加工過程,。邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨,。并且,,激光引致的分離過程產(chǎn)生**度、自然回火的邊緣,,沒有微小裂痕,。使用這種方法,避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破,,降低了次品率,,提高了產(chǎn)量。因為裂痕是**地沿著激光光束所劃出的痕跡,,激光引致的分離可以切劃出非常**的曲線圖案,。我們所做的實驗也證明了無論直線或是曲線,激光切割都能連續(xù)地,、**地完成設(shè)定圖案,,重復(fù)性可達(dá)+50μm。所以激光可以進(jìn)行曲線圖形的**切割,。激光切割晶圓有速度快,、精度高,定位準(zhǔn)確等明顯優(yōu)勢,。江蘇超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的優(yōu)勢,。
超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備配備NCS、刀痕,、崩邊及切割道位置檢測功能,,還有數(shù)據(jù)管理、報警記錄和日志管理功能,,極大提高了生產(chǎn)效率,。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理,。超通智能的優(yōu)勢在于一些新產(chǎn)品的前期應(yīng)用場景,比如第三代材料,,碳化硅,、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,,幾乎全部使用激光進(jìn)行切割,。”超通智能將晶圓切割作為切入口,,希望今后業(yè)務(wù)可以覆蓋封裝產(chǎn)品激光類的全部應(yīng)用,,向激光晶圓制造環(huán)節(jié)上探,提供更***和質(zhì)量的服務(wù),。
相比于傳統(tǒng)的切割方式,,激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對晶體硅表面造成損傷,,并且具有加工精度高,、加工效率高等特點,可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量,、效率,、效益。據(jù)了解,,超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備,,配備***皮秒激光器,通過超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圓內(nèi)部產(chǎn)生非線性自聚焦效應(yīng),,達(dá)到激光成絲切割的效果,。該設(shè)備還可應(yīng)用于各類透明脆性材料的快速劃線、切割,。公司也通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證,,質(zhì)量優(yōu),歡迎詢價,!無錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備質(zhì)量可靠嗎,?
硅晶圓是一種極薄的片狀硅,它是由高純度,、幾乎無缺陷的單晶硅棒經(jīng)過切片制成,。硅晶圓是制造集成電路的載板,在上面布滿晶粒,,將晶粒切開后得到芯片,,將芯片經(jīng)過封裝測試,制成集成電路,。其中,,將晶粒切開得到單一芯片的過程,稱為晶圓切割,。晶圓切割是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中不可或缺的關(guān)鍵工序之一,,在晶圓制造中屬于后道工序。為了實現(xiàn)硅晶圓的比較大利用率,,其表面布滿了高密度集成電路,,對硅晶圓進(jìn)行切割時,尤其需要考慮切口的寬度和質(zhì)量,,以充分保護(hù)硅板上的電路,,同時兼顧加工效率。傳統(tǒng)切割方式主要是采用金剛石鋸片劃片切割,,存在效率低,,崩邊大,邊緣破碎物多,、不平整等問題,,而且機(jī)械應(yīng)力的存在容易對晶體的內(nèi)部和外部產(chǎn)生損傷,良品率低,,影響加工效率,。同時,還需要根據(jù)晶圓的厚度不同選擇不同的刀具,,增加成本支出,,因此傳統(tǒng)的切割方式已經(jīng)不能滿足當(dāng)前的加工需求。無錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備廠家直銷優(yōu)勢,。四川制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案
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碳化硅是寬禁帶半導(dǎo)體器件制造的**材料,SiC 器件具有高頻,、大功率,、耐高溫、耐輻射,、抗干擾,、體積小、重量輕等諸多優(yōu)勢,。對于它的加工也有很多方式,,其中激光劃片是目前較為理想的方式之一。激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,,波長主要有 1 064 nm,、532 nm、355 nm 三種,脈寬為納秒,、皮秒和飛秒級,。理論上,激光波長越短,、脈寬越短,,加工熱效應(yīng)越小,有利于微細(xì)精密加工,,但成本相對較高,。355 nm 的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低,、加工熱效應(yīng)小,,應(yīng)用非常多。近幾年 1 064 nm 的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速,,應(yīng)用到很多新領(lǐng)域,,獲得了很好的效果。陜西先進(jìn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案
無錫超通智能制造技術(shù)研究院有限公司在激光標(biāo)機(jī)及極限制造裝備,,細(xì)分領(lǐng)域的制造產(chǎn)線垂直整,,面向裝備的工業(yè)軟件,面向產(chǎn)線的管控軟件一直在同行業(yè)中處于較強(qiáng)地位,,無論是產(chǎn)品還是服務(wù),,其高水平的能力始終貫穿于其中。公司成立于2019-03-15,,旗下超通智能,,已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。超通智能以激光標(biāo)機(jī)及極限制造裝備,,細(xì)分領(lǐng)域的制造產(chǎn)線垂直整,,面向裝備的工業(yè)軟件,面向產(chǎn)線的管控軟件為主業(yè),,服務(wù)于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備等領(lǐng)域,,為全國客戶提供先進(jìn)激光標(biāo)機(jī)及極限制造裝備,細(xì)分領(lǐng)域的制造產(chǎn)線垂直整,,面向裝備的工業(yè)軟件,,面向產(chǎn)線的管控軟件。產(chǎn)品已銷往多個國家和地區(qū),,被國內(nèi)外眾多企業(yè)和客戶所認(rèn)可,。