超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備配備NCS,、刀痕,、崩邊及切割道位置檢測(cè)功能,,還有數(shù)據(jù)管理,、報(bào)警記錄和日志管理功能,,極大提高了生產(chǎn)效率,。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理,。超通智能的優(yōu)勢(shì)在于一些新產(chǎn)品的前期應(yīng)用場(chǎng)景,,比如第三代材料,,碳化硅,、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,,幾乎全部使用激光進(jìn)行切割,。”超通智能將晶圓切割作為切入口,,希望今后業(yè)務(wù)可以覆蓋封裝產(chǎn)品激光類的全部應(yīng)用,,向激光晶圓制造環(huán)節(jié)上探,提供更***和質(zhì)量的服務(wù),。選擇超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)該注意什么,?無錫超通智能告訴您。山東自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)用范圍
晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,,其原始材料是硅,。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,,形成圓柱形的單晶硅,。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,,切片后,,形成硅晶圓片,,也就是晶圓。國內(nèi)晶圓以 8英寸和 12 英寸為主,。激光切割SiC晶圓的方案為激光內(nèi)部改質(zhì)切割,,其原理為激光在SiC晶圓內(nèi)部聚焦,在晶圓內(nèi)部形成改質(zhì)層后,,配合裂片進(jìn)行晶粒分離,。SiC作為寬禁帶半導(dǎo)體,禁帶寬度在3.2eV左右,,這也意味著材料表面的對(duì)于大部分波長的吸收率很低,,使得SiC晶圓與激光內(nèi)部改質(zhì)切割擁有較好的相匹配性。山西品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)錢無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備安心售后,。
劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區(qū)域的時(shí)間,,也就是決定了在某一區(qū)域內(nèi)輸入的劃片功率,因此會(huì)直接影響劃片深度和劃片寬度,。值得一提的是,,激光光斑對(duì)劃片槽區(qū)域硅材料切割線可以看成是一個(gè)又一個(gè)光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當(dāng)?shù)乃俣瓤梢缘玫街旅?、均勻的切割痕跡,,速度太快或頻率不足則相鄰兩個(gè)切割微圓的圓心較遠(yuǎn),芯片切割邊緣呈巨齒狀,,切割質(zhì)量下降,。所以,劃片功率,、頻率,、速度等參數(shù)共同影響了劃片寬度、劃片深度,、劃片質(zhì)量等劃片的關(guān)鍵指標(biāo),。
超通智能研發(fā)了一款超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備,與傳統(tǒng)的切割設(shè)備相比,,新型半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)的性能優(yōu)勢(shì)明顯,。首先,激光晶圓切割機(jī)采用特殊材料,、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和運(yùn)動(dòng)平臺(tái),,可在加工平臺(tái)高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)保持穩(wěn)定性和精細(xì)性,,轉(zhuǎn)速和效率較高,。其次,激光晶圓切割機(jī)采用了合適的波長,、總功率,、脈寬以及重頻的激光器,克服了激光劃片產(chǎn)生的熔渣污染,顯著提高了切割質(zhì)量,。同時(shí),,設(shè)備還采用了不同像素尺寸與感光芯片的相機(jī)和鏡頭,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品輪廓識(shí)別倍數(shù)的水平調(diào)整,。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備值得信賴,。
迭代升級(jí)后的激光晶圓隱形切割設(shè)備可自由控制激光聚焦點(diǎn)的深度、可自由控制聚焦點(diǎn)的長度,、可自由控制兩個(gè)焦點(diǎn)之間的水平間隔,,通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),,可在500mm/S的高速運(yùn)動(dòng)之下,保持高穩(wěn)定性,、高精度切割,,激光焦點(diǎn)*為0.5um,切割痕跡更細(xì)膩,,可以避免對(duì)材料表面造成損傷,,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率,、效益,。這款激光晶圓隱形切割設(shè)備可廣泛應(yīng)用于高能集成電路產(chǎn)品,包括CPU制造,、圖像處理IC,、汽車電子、傳感器,、內(nèi)存等領(lǐng)域的制造,,對(duì)我國實(shí)現(xiàn)**國產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈起到了積極的促進(jìn)作用,有很重要的現(xiàn)實(shí)意義,。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的價(jià)格更優(yōu)惠,。浙江智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案
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激光劃片在晶圓加工方面具備以下優(yōu)勢(shì):1.激光劃片采用的高光束質(zhì)量的光纖激光器,,對(duì)芯片的電性影響較小,,可以提供更高的劃片成品率。2.激光劃片速度為150mm/s,。劃片速度較**.激光可以切割厚度較薄的晶圓,,可以勝任不同厚度的晶圓劃片??梢郧懈钜恍┹^復(fù)雜的晶圓芯片,,如六邊形管芯等,。4.激光劃片不用去離子水,可24小時(shí)連續(xù)作業(yè)5.激光劃片具有更好的兼容性和通用性,。超通智能在激光晶圓處理上就具備豐富的經(jīng)驗(yàn),,如刀輪切割設(shè)備,外觀尺寸小型化,,占地面積小,,切割行程**功率主軸,高速高精度電機(jī),,閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制,,確保生產(chǎn)效率。山東自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)用范圍