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RTP快速退火爐有什么特點(diǎn),?

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司2025-04-05

①紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷,;②燈管功率PID控溫,,可準(zhǔn)確控制溫度升溫,,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性;③標(biāo)配三組工藝氣體

東莞市晟鼎精密儀器有限公司
東莞市晟鼎精密儀器有限公司
簡介:晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐,、等離子清洗機(jī),、等離子去膠機(jī)、接觸角測(cè)量等表面性能處理及檢測(cè)設(shè)備。
簡介: 晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐,、等離子清洗機(jī),、等離子去膠機(jī)、接觸角測(cè)量等表面性能處理及檢測(cè)設(shè)備,。
退火爐+等離子
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其余 1 條回答

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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2025-04-06

    ①采用平行進(jìn)氣方式,,氣體的進(jìn)入口設(shè)置在WAFER表面,避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,,保證產(chǎn)品良好的溫度均勻性,;②大氣與真空處理方式均可選擇,,進(jìn)氣前氣體凈化處理,;③可測(cè)樣品尺寸為6-12英寸

  • 晟鼎接觸角測(cè)量儀
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  • 晟鼎快速退火爐
    晟鼎快速退火爐
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  • 大氣等離子清洗機(jī)
    大氣等離子清洗機(jī)
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