成都微伺科技有限公司2025-03-27

伺服系統(tǒng)定位精度的激光干涉儀校準流程如下： 準備工作? 確保測量環(huán)境穩(wěn)定，控制溫度,、濕度和氣壓,，以減少外部因素對測量結果的影響?。 安裝激光干涉儀,，并將其與伺服系統(tǒng)的運動軸對準,，確保光路準確?。 光路校準? 調整激光干涉儀的干涉鏡和反射鏡,，使激光束與被測軸精確對準?,。 使用激光頭后方的指形輪和三腳架旋鈕,，確保兩道光束完全重合并進入回光孔?,。 數(shù)據(jù)采集? 在伺服系統(tǒng)運動軸上設置若干等距定位點，并啟動測量軟件,，輸入相關參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）?,。 采用基于位置的目標采集方式，記錄每個定位點的數(shù)據(jù),，并生成分析曲線?,。 誤差分析與補償? 通過測量軟件分析數(shù)據(jù)，繪制誤差補償圖表,，確定每個定位點的補償值?,。 將補償數(shù)據(jù)寫入伺服系統(tǒng)控制系統(tǒng)，以修正定位誤差?,。 驗證與調整? 重新測量伺服系統(tǒng)的定位精度,，驗證補償效果?。 若誤差仍超出允許范圍,，重復調整光路和補償參數(shù),，直至滿足精度要求?。 記錄與存檔? 詳細記錄校準過程中的所有步驟和結果,，便于后續(xù)復查和分析?,。 通過以上流程，可有效提升伺服系統(tǒng)的定位精度,，確保其在高精度應用中的穩(wěn)定性和可靠性?,。

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