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深圳市神州天柱科技有限公司2025-04-05
無論是大氣(常壓)等離子清洗機(jī),，還是真空(低壓)等離子清洗機(jī),，在對(duì)材料進(jìn)行表面改性的時(shí)候都會(huì)通入工藝氣體，如無水無油的干凈壓縮空氣,，有一定純度要求的氮?dú)?、氧氣、氬氣等等離子清洗機(jī)中通入的普通工藝氣體要想轉(zhuǎn)化為等離子體,，每個(gè)粒子大約需要：：（1~30eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量,，其中的粒子具有較高的活性和能量密度。
但要注意的是,，電離的氣體不一定是就是等離子體,，雖然等離子體和普通氣體存在一些共同特點(diǎn)，如它們均滿足氣體狀態(tài)方程,，但它們卻有截然不同的性質(zhì),，
PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),，輸出功率7.2W,、10.2W、29.6W三檔可調(diào),。本機(jī)主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),，對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,。
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主要特點(diǎn)： 1.通過控制面板的按鍵及開關(guān),，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉,、清洗時(shí)間,。 2.時(shí)間、功率,、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上,。 3.設(shè)有一個(gè)三通閥,，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體,。 4.選用大功率色射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn),。 參數(shù)： 1.電源：AC220V 50/60Hz 2.輸出功率：7.2W、10.2W,、29.6W 3.真空泵功率：<500W 4.總功率：<600W 5.射頻頻率：3.0MHz,，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) 6.等離子腔體：高純石英腔體，Φ160mm×190mm,，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗 7.真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵 8.極限真空度：50mtorr 9.通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,，如N2,、Ar、H2,、O2,、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)
