揚(yáng)州科動(dòng)電子有限責(zé)任公司2025-04-05

當(dāng)前大多數(shù)的電容式加速度傳感器都是由三部分硅晶體圓片構(gòu)成的,，中層是由雙層的SOI硅片制成的活動(dòng)電容極板,。 中間的活動(dòng)電容極板是由八個(gè)彎曲彈性連接梁所支撐，夾在上下層兩塊固定的電容極板之間,。提高精度很重要的一項(xiàng)措施就是采用差動(dòng)測(cè)量方式,，極大地提高了信噪比。因此,，電容式MEMS加速度傳感器幾乎全部采用差動(dòng)結(jié)構(gòu),。

本回答由 揚(yáng)州科動(dòng)電子有限責(zé)任公司 提供