新巴頓(上海)軸承銷售有限公司2025-06-10
我們始終以科學嚴謹?shù)膽B(tài)度對待軸承在腐蝕性氣體環(huán)境中的耐蝕性能設計。以下從材料體系,、表面工程,、密封技術及應用驗證四個維度,客觀闡述我司軸承的耐蝕特性:
一,、耐腐蝕材料體系的科學構建
針對半導體刻蝕,、化工等典型腐蝕性氣體環(huán)境(如 HCl、Cl?,、NF?等),,巴頓軸承構建了多層次材料解決方案:
基礎材質(zhì)選擇
不銹鋼系列:采用真空熔煉的 17-4PH 沉淀硬化不銹鋼(耐蝕性優(yōu)于 316L)和 AISI 440C 馬氏體不銹鋼(含鉻量 17-19%),其在 5% NaCl 鹽霧測試中腐蝕速率≤0.05mm/a(ISO 12944 標準 1 級完全耐蝕),。例如,,VCMP 系列軸承在模擬 HCl 氣體環(huán)境(濃度 10ppm,溫度 80℃)中連續(xù)運行 1000 小時后,,表面未出現(xiàn)點蝕或氧化跡象,。
陶瓷材料:氮化硅(Si?N?)陶瓷軸承的化學惰性明顯優(yōu)于金屬,在含氟等離子體環(huán)境中,,其腐蝕速率比鋼制軸承降低 90% 以上。VCMP-210 型號采用全陶瓷結構,,已通過 SEMI F47-0706 標準的酸性氣體兼容性測試,。
高分子材料集成
保持架采用聚醚醚酮(PEEK)或聚四氟乙烯(PTFE),,其耐酸堿性優(yōu)于傳統(tǒng)尼龍材料。例如,,VCL-1005 型號的 PTFE 保持架在 pH=2 的鹽酸溶液中浸泡 72 小時后,,質(zhì)量損失率<0.1%。
密封件選用全氟醚橡膠(FFKM),,可耐受 - 200℃至 327℃的極端溫度,,并對 Cl?、SO?等氣體具有優(yōu)異的化學穩(wěn)定性,。
二,、表面工程技術的深度應用
耐腐蝕涂層體系
DLC 類金剛石涂層:厚度 2-3μm 的 DLC 涂層硬度達 2000HV 以上,在模擬 Cl?氣體環(huán)境中,,其摩擦系數(shù)比未涂層軸承降低 40%,,且涂層附著力>50N(ASTM D3359 標準)。
MoS?固體潤滑涂層:在真空泵軸承中,,MoS?涂層可在無油環(huán)境下提供自潤滑,,同時在含硫氣體中形成鈍化膜,抑制腐蝕反應,。
鈍化與鍍膜工藝
軸承表面經(jīng)鈍化處理后,,在 3% H?SO?溶液中的腐蝕電流密度從 1.2μA/cm2 降至 0.3μA/cm2(ASTM G59 標準)。部分型號還采用離子鍍鎳技術,,鍍層厚度控制在 5-10μm,,鹽霧測試壽命延長至 1000 小時以上。
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密封與潤滑系統(tǒng)的協(xié)同防護 多重密封結構 采用內(nèi)側 PTFE 唇形密封 + 外側迷宮式密封的組合設計,在 0.1MPa 壓差下,,可有效阻隔 Cl?氣體的侵入,。實測數(shù)據(jù)顯示,該結構在含 Cl?(濃度 50ppm)的環(huán)境中運行 6 個月后,,軸承內(nèi)部潤滑劑的酸值變化<0.5mgKOH/g,。 部分高級型號集成正壓保護系統(tǒng),通過引入干燥氮氣(**≤-40℃),,在軸承外部形成氣幕,,阻止腐蝕性氣體接觸金屬表面,。 抗腐蝕潤滑方案 全氟聚醚(PFPE)油脂的飽和蒸氣壓≤10?? Pa,且在強酸環(huán)境中不發(fā)生皂化反應,。例如,,F(xiàn)omblin Z 系列油脂在 pH=1 的硝酸溶液中浸泡 30 天后,粘度變化率<5%,。 對于極端腐蝕環(huán)境,,可采用無油自潤滑設計,通過陶瓷材料的低摩擦特性(摩擦系數(shù)≤0.002)減少潤滑需求,,避免潤滑劑與腐蝕性氣體反應,。 四、行業(yè)驗證與維護策略 第三方認證與測試 部分型號通過 NACE TM0177 標準的酸性氣體腐蝕測試,,在 H?S(500ppm)+CO?(10%)環(huán)境中,,腐蝕速率≤0.01mm/a。 應用于中微公司刻蝕設備的軸承,,在模擬 10?? Pa 真空,、含 Cl?(濃度 20ppm)的環(huán)境中,以 30,000 轉(zhuǎn) / 分鐘運行超過 2000 小時,,顆粒釋放量仍≤0.1 個 /m3(≥0.3μm),。 全生命周期維護建議 環(huán)境監(jiān)測:建議每季度對軸承表面進行 X 射線光電子能譜(XPS)分析,監(jiān)測腐蝕產(chǎn)物成分變化,; 維護周期:在強酸環(huán)境中,,建議每 3 個月檢查密封完整性,每 6 個月更換潤滑劑,; 報廢處理:軸承退役時需進行化學脫附處理,,確保殘留腐蝕性氣體濃度<1ppm,避免二次污染,。 客觀聲明與技術支持 作為設備供應商,,我們始終堅持數(shù)據(jù)透明化原則: 所有腐蝕測試報告(包括鹽霧測試、酸性氣體暴露測試)均可通過新巴頓(上海)軸承銷售有限公司(電話:13331827888)獲取,,主要參數(shù)包含腐蝕速率,、涂層附著力、潤滑脂酸值變化曲線等,; 對于含 HF 等強腐蝕性氣體的極端環(huán)境,,建議聯(lián)合我司技術團隊進行定制化方案驗證,包括材料兼容性測試,、密封結構優(yōu)化等,。
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