廣州市元奧儀器有限公司2025-04-05

超透鏡是一種通過排列亞波長納米結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的平面透鏡,，局部地向入射光傳遞透鏡狀的相移,，由于其超薄、輕量化和可定制的特性,，在有效載荷的應(yīng)用中有明顯作用,，有望其替代折射光學(xué)器件。然而,，為厘米級(jí)超透鏡制造高達(dá)數(shù)十億亞波長結(jié)構(gòu)的要求可能會(huì)限制大型透鏡的尺寸可擴(kuò)展性和批量生產(chǎn),。我們展示了使用深紫外(DUV)投影步進(jìn)光刻技術(shù)制成的、能夠在可見光波長下聚焦和成像的,、厘米級(jí)尺度的全玻璃制超透鏡,。在這里，我們通過在4英寸的熔融石英晶片平臺(tái)上制造45個(gè)直徑為1厘米的超透鏡,，來展示其尺寸可擴(kuò)展性和大規(guī)模生產(chǎn)的潛力,。該透鏡在可見光波長下的任何均勻偏振入射下均表現(xiàn)出受行射極限限制的聚焦行為。超透鏡的性能通過斯特列爾比(SR)和調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)進(jìn)行量化,，然后將其與尺寸和焦距相似的商用折射球面和非球面單透鏡進(jìn)行比較,。我們使用擁有彩色像元的sCMOS相機(jī)和掃描成像技術(shù)進(jìn)一步探究我們的超透鏡的成像能力，表明了這些超透鏡在虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)設(shè)備或生物成像技術(shù)領(lǐng)域的潛在應(yīng)用。 廣州市元奧儀器有限公司專注于sCMOS相機(jī),，歡迎隨時(shí)交流,！

本回答由 廣州市元奧儀器有限公司 提供