廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-06

通過 PID 串級控制算法,，真空度與甲酸濃度形成動態(tài)聯(lián)動：當(dāng)真空度低于 5Pa 時，自動降低甲酸流量以避免過度活化,；當(dāng)真空度高于 10Pa 時,，提升甲酸濃度補償氧化風(fēng)險,。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備可實現(xiàn)真空 - 濃度曲線的自定義編程，適應(yīng)復(fù)雜工藝需求,。

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