有關(guān)推薦或參考值的應用無塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,,隨無塵室用途等具體情況而異,,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,,就工業(yè)無塵室工程而言,,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:(1)無塵室內(nèi)污染源:建筑物組件,、人員數(shù)量及操作活動,、工藝設(shè)備,、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,,根據(jù)具體情況而異,,變化很大;(2)無塵室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻,、平等的流線,,但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,,避免死角及溫度分層,;(3)自凈時間(恢復時間)的控制要求:無塵室中事故釋放或帶入污染物,。
興元環(huán)境致力于中央空調(diào)系統(tǒng)、各級別潔凈系統(tǒng),、機電安裝總包工程的方案設(shè)計,、安裝施工、售后服務,。珠海百級無塵室裝修
復合式無塵室為將亂流式及層流式予以復合或并用,,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用,。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),,ULSI制程大都采用此種型式,。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易;B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。⑵潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,,將潔凈度等級提至100級以上,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,,可節(jié)省能源,,不需人工的自動化生產(chǎn)線為**適宜使用。藥品,、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用,。⑶并裝局部無塵室(CleanSpot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺,、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類,。 清遠萬級無塵室無塵室的結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性好,。
21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,,無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,,導致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,,環(huán)境無塵化的需求也日益提高,。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于,。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,,造成半導體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化,。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路,。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素,。
進入無塵室的注意事項:一,,進入無塵室之前,必須要通知管理人,,并通過基本的訓練,;二,進入無塵室嚴禁吸煙,、吃東西,,不可以帶外來物品進去,并且嚴禁嘻鬧奔跑及組團聊天,;三,,進入無塵室之前,必須要在規(guī)定的地方脫鞋,,將鞋放在鞋柜中,,外衣放在衣柜,私人物品放在私人柜子,,而且柜子不可以放食物,;四,進入無塵室的時候必須要在更衣室換衣服,,并且按照規(guī)矩穿戴好口罩,、無塵帽、無塵衣以及鞋套,;五,,進入無塵室要進行酒精消毒等等。無塵室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/ min.人,,動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/ min/人,。
萬級無塵室,亦稱為無塵室或清凈室。在FED-STD-2里面,,無塵室被定義為具備空氣過濾,、分配、優(yōu)化,、構(gòu)造材料和裝置的房間,,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e,。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣、細菌等之污染物排除,,并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給予特別設(shè)計之房間,。世界各國均有自定規(guī)格,但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦頒布的標準【FederalStandard(FS)209E,1992】,,可將無塵室分為六級,。分別是1級、10級,、100級,、1000級、10000級,、100000級,,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為μm,,例如,,1級,、10級,、100級無塵室比較大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆,、100顆,,如果塵粒尺寸不是μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示,。如何做好無塵室的管理工作保證無塵室的潔凈度,?惠州無塵室裝修
無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。珠海百級無塵室裝修
簡易無塵室通常都是建在無塵車間內(nèi),,所以不需要考慮風淋室,、傳遞窗以及空調(diào)送風系統(tǒng),成本與無塵車間比較會有很大降低,,當然這與簡易無塵室所需材料,、大小以及潔凈級別有一定的關(guān)系。會將簡易無塵室建在無塵室之內(nèi),,但有的客戶不想單獨建無塵車間,,在簡易無塵室不考慮空調(diào)系統(tǒng)及風淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備的情況下,,簡易無塵室的成本約是無塵車間造價的40%~60%,,這取決于客戶對簡易無塵室材料的選擇,以及簡易無塵室的大小,。需要潔凈的區(qū)域越大,,簡易無塵室與無塵車間的成本相比差別會越小。
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